기판상의박막층을에칭하기위한장치및방법,그리고이를위하여기판지지부재의수용부상에기판을위치시키고클램핑시키는장치및방법 document_id 1019950020269

[청구항 2] 제1항에 있어서,적어도 하나의 상기기판 수용표면에 대해서 선택적으로 위치가능한 클램프 부재더 포함하고 있는장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 클램프 부재는 적어도 하나의 클램프 핑거포함하고 있는장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 클램프 부재는 적어도 하나의 클램프 리프트 부재더 포함하고 있는장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 클램프 부재는 상기 클램프 핑거가 상기 기판수용 표면에 기판을 고정시키도록상기기판에대해서맞물리는제1위치로 위치하능한 장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 클램프 부재는 상기 클램프 리프트 부재가 상기 지지체 부재 윗쪽으로 상기 기판을 지지하는 제2위치로도 위치가능한장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,클램프 링을 더 포함하고 있으며, 상기 클램프 리프트 부재 및 상기 클램프 핑거가 상기 클램프 링연결되어 있는장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 클램프 링과 상기 기판 지지체 부재의 중간에 배치된 클램프 바이어스 부재더 포함하고 있는장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 클램크 바이어스 부재는 상기 기판 지지체 부재로 부터 바깥쪽으로 연장하여 스프링 작용의 축포함하고 있는장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 클램프부재를 상기 제1위치와 상기 제2위치사이에서 자동시키는 클램프 작용기더 포함하고 있는장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 클램프 작용기는 상기 밀폐물을 통해 연장되는 다수의 로드포함하고 있는장치. [청구항 12] 제10항에 있어서,상기 로드는 혹 부분을 더 포함하고 그리고 상기 훅 부분은상기클램프부재와선택적맞물릴수있는장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 클램프 링은 적어도 하나의 연장되는 부분은 더 포함하고, 그리고 상기훅부분을상기연장부분과맞물릴수있는장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 기판 지지체 부재가 밀폐물 벽을 갖는 챔버내에서 위치되고, 그리고, 상기 작용부재가 상기 밀폐물 벽에서 수용되고 그리고 상기 밀폐물 벽으로 부터 선택적으로 연장 가능하여 상기 제1위치와 제2위치 사이에서 상기 리프팅 부재를 선택적위치시키는장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 기판 지지체 부재상에서 선택적으로 위치 시키는 것이 가능한 클램프 부재더 포함하고 있는장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 클램프 부재는 a)상기 기판 지지체 부재상에 수용된 기판의 외측에 관해 위치 가능한 클램프 링과 그리고 b)상기 클램프 링으로부터 연장되는 그리고 상기 기판 지지체 부재상에 수용된 기판과 맞물려서 위치가능한 다수의 클램프 핑거포함하고 있는장치. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기 리프팅 부재가 상기 클램프 링부착되는장치. [청구항 19] 제18항에 있어서,상기 리프팅 부재는 상기 클램프 링으로부터 연장되고, 상기 클램프 핑거에 관해서는 이격된 기판 수용부분을 포함하여 상기 클램프 핑거와 상기 리프팅 부재 사이에 갭제공하는장치. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 기판 지지체 부재는 상기 리프팅 부재가 선택적으로 위치 시키는 것이 가능한 리세스르포함하는장치. [청구항 21] 제20항에 있어서,상기 클램프 부재가 a)상기 리세스 내에서 리프팅 부재를 위치시키고 그리고 상기 기판 지지체 부재상에서 수용된 기판과 맞물된 상기 클램프 핑거를 위치시키는 제1위치와 b)상기 클램프 부재가 상기 기판 지지체 부재로 부터 연장되어 상기 기판의 지지체 부재로 부터 일정 거리에서 리프팅 부재상에서 기판을 위치시키는 제2위치와 그리고, c)상기 1위치와 제2위치의 중간에서 상기 블레이드 상에서 기판을 위치시키는 중간 위치 사이에서 위치조정가능한장치. [청구항 22] 제21항에 있어서,상기 기판 지지체 부재가 적어도 2개의 상기 기판 수용면을 갖는 캐소우드이고, 상기 밀폐물 벽에는 슬릿밸브가 갖춰지는데 그것을 통해 기판을 삽입하고 제거할 수 있게 하고, 그리고 상기 캐소우드는 상기 슬릿 밸브와 상기 캐소우드의 상기 기판 수용면을 배열할 수 있도록 수용가능한장치. [청구항 37] 제36항에 있어서,상기 축은 상기 하우징 내에서회전가능하게지지되는장치. [청구항 38] 제37항에 있어서,상기 하우징에 관해 상기 축을 회전시키도록 상기 축에 연결된 상기 하우징 상에서 구동 부재더 포함하는장치.