반도체 설비의 두 단부위치들 사이에서 하나의 운반체를 이동하기 위한 장치 document_id 1019950022448

[청구항 2] 제1항에 있어서,탄발 접점들(25,26,27,58,59,60,61)을 가지는 구성(22,23,24, 54,55,56,57)이 전기적인 접촉을 일으키기 위하여 제공되며, 하나의 구성군(22,23,54,55)이 가동부분의 단부 위치들에서 고정부분상에 지지되고 그리고 적어도 하나의 다른 구성체(25,26,58,59)는 가동부분상에 지지되어 있으며 여기서 공급장치(10)와 전기적으로 연결된 고정부분에 있는 탄발 접점들(25,26,58,59)은 센서들과 작동기들에 대하여 전기적인 연결을 가지는 가동부분상에서탄발접점들있는것을특징으로 하는장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,탄발 접점들(25,26,27,58,59,60,61)은 슬리브안에서 탄력적인 방법으로 지지된 금핀형태의금접점들구성된것을특징으로 하는장치. [청구항 4] 제1항 내지 제3항중의 어느 하나의 항에 있어서,센서들과 작동기들이 승강기의 가동부분에 의해서 파지되고 그리고 상부의 제거되고 대체되는 위치로부터 하부의 내려놓는 위치로 운반물체를 수직방향으로 이동하는데 사용되는하나의판설치되는것을특징으로 하는장치. [청구항 5] 제1항 내지 제3항중의 어느 하나의 항에 있어서,센서들과 작동기들은 운반물체가 하나의 그립퍼에 의하여 대체로 수평으로 이동되는 그런그립퍼의구성부분들인것을특징으로 하는장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,그립퍼(8)의 한번의 회전운동이 가동부분의 운동의 적어도 한 부분동안에직선운동연결되는것을특징으로 하는장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,그립퍼(8)와, 그립퍼(8)가 거기에 회전운동이 가능하게 부착되고 그리고 구동부(7,41)와 연결을 형성하는 그런 하나의 그립퍼아암(17,45)이 그립퍼(8)의 회전운동과 그립퍼(8)의 직선운동을 연결하기 위하여기계적결합되어있는것을특징으로 하는장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,그립퍼 아암(17)에서 그립퍼의 회전가능한 고정부가 직선운동의 평면에 대해서는 평행하고 그리고 직선운동 그자체에 대해서는 수직으로 향하여진하나의회전축가지는것을특징으로 하는장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,그립퍼 아암(17)과 연결된 제1레버(18)가 직선운동과 그립퍼(8)의 회전운동을 기계적으로 결합하기 위하여 설치되며, 그리고 직선운동의 동안에, 어떤 높이차를 갖는 하나의 연결부재(19)를 감지하고, 상기 제1레버는 하나의 회전가능하게 고정된 결합로드(20)을 통하여 그 높이차를 전달하고 그리고 그것을 회전운동으로 전환하기 위하여 그립퍼(8)에 고정된제2레버연결되는것을특징으로 하는장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,제1레버(18)가 그립퍼(8)의 회전각도를 조절할 목적으로 레버의 유효 레버길이에 관하여조절가능한것을특징으로 하는장치. [청구항 11] 제7항에 있어서,그립퍼 아암(45)에 대하여 그립퍼(8)의 회전가능한 고정부가 직선운동의 평면에 대하여 수직으로 향하여진하나의회전축가지는특징으로 하는장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,선형운동과 그립퍼(8)의 회전운동을 기계적으로 결합할 목적으로, 편심적으로 배열된 볼-조인트 연결(50)에서 그립퍼(8)에 지지된 결합로드(50)를 위한 구동부(48)와 첫 번째 스톱퍼(49)는 볼 회전가이드(46)에 안내되고 지지된 타이로드(47)에 부착되며, 이 첫 번째 스톱퍼(49)는 첫 번째 스톱퍼(49)가 상기 고정부분에서 두 번째 스톱퍼(53)를 접촉하는 것에 의하여 그립퍼 아암(45)의 한번의 전진 직선운동 동안에 타이로드(47)와구동부억제되게하는것을특징으로 하는장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,볼-조인트 연결(51)이 스프링력에 의해서 작동되는 조절가능한스톱퍼시스템가지는것을특징으로 하는장치. [청구항 14] 제5항 내지 제13항중의 어느 하나의 항에 있어서,공압식 선형구동부(7,41)가 그립퍼(8)의 직선운동을 발생하기설치되는것을특징으로 하는장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,별도로 조절가능한 공기흐름 속도와 대응하여 동작하는 적어도 한쌍의 트로틀은 그 직선운동의 각각의 방향에서 속도를 제어하기 위한 공압식 선형구동부(7,41)의 실린더(15)에 설치되며, 그리고 그 선형운동의 방향으로 작용하는 트로틀의 수는 그 가공부분의 위치와 선형운동의 방향에 따라서 센서 신호들에 의해서제어되는것을특징으로 하는장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,트로틀들이 적절한 방법으로 배기공기를 감축 조절하며 그리고 운동방향으로 공기의 원활한 흐름을 가능케하는 트로틀체크밸브들인것을특징으로 하는장치.