피검사체의 검사장치 document_id 1019950024237

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기제1얹어놓는 대 위의 피검사체를 검사하는 사이에, 상기 제2얼라이먼트 영역에서 상기 제2얹어놓는 대로부터 검사후의 피검사체를 취출함과 동시에, 새로운 검사전의 피검사체를 상기 제2얹어놓는 대 위에 얹어놓는 한편, 상기 제2얹어놓는 대 위의 피검사체를 검사하는 사이에, 상기 제1얼라인먼트영역에서 상기 제1얹어놓는 대로부터 검사후의 피검사체를 취출함과 동시에, 새로운 검사진의 피검사체를 상기 제1얹어놓는 대 위에 얹어놓기 위한교환수단더구비하는것을특징으로 하는피검사체의 검사장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 교환수단과 상기 구동수단이 결합하여 상기 제어수단에 의해서조작되는것을특징으로 하는피검사체의 검사장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,얼라이먼트 영역이, 대응하는 얹어놓는 대에 대하여 상기 피검사체를 로드 및 언로드하는 받아넘김위치와, 상기 피검사체에 얼라이먼트 작업을 하는 얼라이먼트 작업위치를 구비하고, 상기 구동수단에 의해서 상기 각 얹어놓는 대가 상기 받아넘김위치와 상기 얼라이먼트 작업위치와의사이이동되는것을특징으로 하는피검사체의 검사장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 구동수단이, 상기 제1 및 제2얹어놓는 대를 각각 개별적으루 구동하는 제1및제2구동부구비하는것을특징으로 하는피검사체의 검사장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,구동부가, 대응의 얹어놓는 대를 상기 얼라이먼트 작업위치와 상기 검사영역과의 사이에서 이동시키는 x시프터와, 대응하는 얹어놓는 대를 상기 얼라이먼트 작업위치와 상기 받아넘김 위치와의 사이에서 이동시기는 y시프터구비하는것을특징으로 하는피검사체의 검사장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,대가 상기x 및 y시프터로 이동되는 블록 위에, 승강 및 회전부를 통해서 수직방향으로 이동이 가능하고 또한 자전이 가능하게 지지되며, 상기 제어수단이상기승강및회전부제어하는것을특징으로 하는피검사체의 검사장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 피검사체의 얼라이먼트직업에 있어서, 상기 x 및 y시프터와 상기 승강 및 회전부재가 결합하여 상기 제어수단에 의해서제어되는것을특징으로 하는피검사체의 검사장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 교환수단이 상기 피검사체를 여러개 수용하는 수용부와, 상기 수용부와 상기 얼라이먼트 영역과의 사이에 배열 설치되고, 상기 수용부와 상기 얼라이먼트 영역과의 사이에서 상기 피검사체를 반송하는반송수단구비하는것을특징으로 하는피검사체의 검사장치. [청구항 10] 제8항에 있어서,얼라이머트 작업위치에 대응하여 배열 설치된 광학적으로 상기 피검사체를 검지하는 검지수단을 더 구비하고, 검사수단으로부터의 정보가 상기 제어수단으로 입력되고,상기피검사체의얼라이먼트작업이용되는것을특징으로 하는피검사체의 검사장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 검사영역이, 상기 제1 및 제2얹어놓는 대위의 상기 피검사체를 각각 검사하기 위하여 간격을 둔 제1 및 제2검사영역을 구비하고, 상기 검사기구가 상기 제1 및 제2검사영역 사이를 이동할 수있는것을특징으로 하는피검사체의 검사장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 검지수단이 상기 검사기구의 이동에 따라서, 상기 검사기구와의 저촉을 회피하기 위해서, 사용위치와 퇴피위치와의 사이를 이동할 수 있고, 상기 검지수단의 이동이 상기 제어수단에 의해서제어되는것을특징으로 하는피검사체의 검사장치. [청구항 13] 제1항에 있어서,상기 검사상치가 lcd기판의 점등검사 시스템에 사용되는 프로우브장치이고, 상기 검사기구가 상기 피검사체인 lcd기판에 전기적 신호를 부여하는 프로우브전극을 가짐과 동시에, 상기 프로우브장치가 점등검사중에 상기 lcd기판을 광을 부여하기 위한광원더구비하는것을특징으로 하는피검사체의 검사장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 검사기구가 점등검사중에 상기 lcd기판을 인식하기 위한 카메라의 시야에 대응하여 수직으로 이어지는 개구부를 구비하고, 상기 프로우브전극은 상기 개구부의 아래끝단에서 상기 개구부를 포위하도록배열설치되는것을특징으로 하는피검사체의 검사장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 광원이 상기 각 앉어놓는 대에 배열 설치된백라이트구비하는것을특징으로 하는피검사체의 검사장치. [청구항 16] 제8항에 있어서,상기 구동수단에 의해서 상기 각 얹어놓는 대와 함께 이동되는 촬상수단과, 상기 촬상수단은 상기 검사기구의 소정의 부위를 촬상가능한 것과, 상기 각 얼라이먼트 작업위치에 대응하여 배열 설치되고, 상기 피검사체에 설치된 제1 및 제2마크상을 상기 촬상수단으로 이끄는 광학계와, 상기 촬상수단으로부터의 상기 마크상을 이용하여 상기 제어수단이 상기 피검사체의 얼라이먼트작업을 제어하는 것을더구비하는것을특징으로 하는피검사체의 검사장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 광학계가, 상기 얹어놓는 대가 상기 얼라이먼트 적업위치로 반송된 상태에서, 상기 촬상수단에 대하여 대향하는 제1반사부재와, 제1마크상을 상기 제1반사부재측을 향하여 반사하고, 상기 제1반사부재를 통해서 상기 촬상수단으로 전송하고, 상기 촬상수단으로부터 먼 상기 제1마크에 대하여 대향하는 제2반사부재와, 제2마크상을 상기 제1반사부재측을 향하여 반사하고, 상기 제1반사부재를 동해서 상기 촬상수단으로 전송하고, 상기 제1반사부재와 제2반사부재와의 사이의 광로내에서, 또 상기 촬상수단에 가까운 제2마크에 대하여 대향하는 제3반사부재와, 상기 제3반사부재를 상기 제1반사부재와 제2반사부재와의 사이의 광로내로 삽입시킨 세트위치와, 상기 광로바깥으로 이동시킨 대기위치와의 사이에 전환조작하는전환수단구비하는것을특징으로 하는피검사체의 검사장치. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기 전환수단이 상기 제3반사부재를 상기 제1반사부재와 제2반사부재와의 사이의 광로에 대하여 직교하는방향이동시키는것을특징으로 하는피검사체의 검사장치. [청구항 19] 제17항에 있어서,상기 전환수단이 상기 제3반사부재를 상기 세트위치와 상기 대기위치와의사이선회시키는것을특징으로 하는피검사체의 검사장치. [청구항 20] 제17항에 있어서,상기 제2반사부재 및 제3반사부재 중어느 한쪽이, 이것을 수평방향으로 이동하기 위한구동부재지지되는것을특징으로 하는피검사체의 검사장치.