문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,의 세정액 노즐은, 상기 액체밀폐 링보다 안쪽위지하는현상처리장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,적어도 4개의 제2의 세정액 노즐이 상기 액체밀폐 링의 안배치되어 있는현상처리장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,액막형성부는, 그 폭이 5∼15㎜의 범위로 형성되고, 상기 간극이 0.5∼1,5㎜의 범위배치되는현상처리장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,액막형성부는, 제2의 세정액노즐로 부터 간극으로 공급되는 세정액을 포착하고, 고리형상으로 세정액의 액막형성하는현상처리장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,의 벽부는, 액막형성부에 오목한 부위 및 볼록한 부위형성하는현상처리장치.
[청구항 7]
제1항에 있어서,기판은 오리엔테이션 플랫을 가지는 반도체 웨이퍼이며, 상기 액막형성부는 오리엔테이션 플랫보다 안쪽의 웨이퍼 뒷면대면하고 있는현상처리장치.
[청구항 8]
제1항에 있어서,의 액막형성부는 상기 액막형성부의 바깥쪽에 동심원 헝상으로 설치되며, 이 제2의 액막형성부는 기판 뒷면으로부터 뒷면으로 돌아들어오는 현상액포착하는현상처리장치.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기제1 및 제2의 액막형성부의 사이에 홈형성되어 있는현상처리장치.
[청구항 10]
제9항에 있어서,폐액통로가 상기 컵의 하부에 형성되며, 이 폐액통로는 상기 홈있는현상처리장치.
[청구항 12]
제11항에 있어서,상기 액막형성부의 평탄면은, 기판의 뒷면과 실질적평행인현상처리장치.
[청구항 13]
제11항에 있어서,상기 액막형성부의 평탄면은,기판의 뒷면에 대하여실질적경사져있는현상처리장치.
[청구항 19]
제17항에 있어서,간극이 0.5∼1.5㎜의 범위내에 들어가도록, 상기 액막형성수단을 기판 뒷면에 근접대면시키는현상처리방법.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
현상처리장치에서 제2의 세정액 노즐로부터 간극을 통해 공급되는 세정액을 포착하여 고리 형상의 액막을 형성하는 구성요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제2의 세정액 노즐로부터 공급되는 세정액을 포착하여 고리 형상의 액막을 형성하는 구성요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 5에서 제2의 세정액 노즐로부터 간극으로 공급되는 세정액을 포착하고 고리 형상의 액막을 형성하는 구성요소에 대한 설명을 추출한다.
- 액막형성부는, 제2의 세정액노즐로 부터 간극으로 공급되는 세정액을 포착하고, 고리형상으로 세정액의 액막형성하는
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 기능(세정액 포착 및 고리 형상 액막 형성)과 직접적으로 일치하는 구절을 선택한다.
- 액막형성부는, 제2의 세정액노즐로 부터 간극으로 공급되는 세정액을 포착하고, 고리형상으로 세정액의 액막형성하는
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4논리 통합
logical_integration추출된 구절에 따르면, 해당 기능을 수행하는 주체는 '액막형성부'임을 알 수 있다.
- 액막형성부는, 제2의 세정액노즐로 부터 간극으로 공급되는 세정액을 포착하고, 고리형상으로 세정액의 액막형성하는
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 '액막형성부'를 도출한다.
- 액막형성부는, 제2의 세정액노즐로 부터 간극으로 공급되는 세정액을 포착하고, 고리형상으로 세정액의 액막형성하는
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6답변 생성
answer_generation추출된 정답인 '액막형성부'를 최종 답변으로 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
액막형성부
핵심 해석 (core_interpretation)
현상처리장치 내에서 제2의 세정액 노즐을 통해 공급되는 세정액을 포착하여 고리 형태의 액막을 형성하는 액막형성부의 기능을 정의하고 있다.