스테이지용진동방지장치 document_id 1019950034806

[청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 전기 작동기는음성코일모터형작동기인것을특징으로 하는진동방지장치. [청구항 3] 제 1항에 있어서,상기 전기 작동기는 스핀들, 상기 스핀들의 너트부분과 맞물리는 나사축 및 상기 나사축을 회전시키기 위한모터구비하는것을특징으로 하는진동방지장치. [청구항 5] 제 4항에 있어서,상기 전기 작동기는음성코일모터형작동기인것을특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 6] 제 4항에 있어서,상기 전기 작동기는 스핀들, 상기 스핀들의 너트부분과 맞물리는 나사축 및 상기 나사축을 회전시키기 위한모터구비하는것을특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 9] 제 8항에 있어서,상기 진동방지장치는 상기 베이스부재와 상기 설치표면 사이에 상기 다수의 진동감쇠장치와 평행하게 위치하는다수의진동제어장치더포함하는것을특징으로 하는진동방지장치. [청구항 11] 제 10항에 있어서,제 1방향에서 상기 베이스부재의 진동을 제어하는 상기 제 2진동제어장치에 대한 작용점 및 제 2방향에서 상기 베이스 부재의 진동을 제어하는 상기 제 3진동제어장치에 대한 작용점이 상기 베이스부재 및 이동가능한 스테이지를 포함하는시스템의무게중심의높이동일한것을특징으로 하는진동방지장치. [청구항 12] 제 10항에 있어서,상기 처리될 대상은 기판이며, 노광에 의해 마스크 패턴을 상기 기판상에 전달하는 장치가상기베이스부재상장착되는것을특징으로 하는진동방지장치. [청구항 14] 제 13항에 있어서,상기 제 2진동제어부재는 전자기 작동기로 구성되며상기베이스부재외부제공되는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 15] 제 14항에 있어서,상기 노광장치는:상기 제 2진동제어부재에 대한 작용점이 상기 노광시스템 및 상기 베이스부재를 포함하는 시스템의 무게중심의 높이와 동일하도록 상기 베이스 부재를 지지하기 위한부재더포함하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 16] 제 13항에 있어서,상기 노광시스템이 기판상에 마스크 패턴의 상을 노광하는 투영광시스템 및 상기 베이스상의 투영광시스템을 지지하는 프레임을 포함하며,상기 제 2진동제어부재는상기프레임접속되는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 17] 제 13항에 있어서,상기 노광장치는:상기 베이스부재에 의해 각각의 상기 3개 이상의 진동감쇠장치에 공급되는 로드를 검파하는 로드센서; 및상기 로드센서의 출력에 따라 각각의 상기 3개 이상의 진동감쇠장치의 높이를 조절하는장치더포함하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 19] 제 18항에 있어서,상기 노광유니트는 상기 제 1프레임상에 위치하는 제 2프레임 및 상기 제 2프레임상에서 상기 마스크를 지지하고 이동하는제2스테이지포함하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 20] 제 18항에 있어서,상기 제 1진동감쇠장치는 상기 베이스부재에 접속된다수의제1작동기구비하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 21] 제 20항에 있어서,상기 제 1작동기는 상기 바닥으로부터의 진동을 방지하는 비-접촉형작동기인것을특징으로 하는노광장치. [청구항 22] 제 21항에 있어서,상기 다수의 제 1작동기의 수는 4이고, 상기 제 1작동기는 상기 바닥상에 장착된베이스판상위치하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 23] 제 22항에 있어서,상기 제 1작동기는 자석과 코일을 구비하고, 상기 자석과 코일중 하나는 상기 베이스부재상에 위치하고 다른 하나는상기베이스판상위치하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 24] 제 22항에 있어서,상기 진동방지유니트는상기베이스판상위치하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 25] 제 18항에 있어서,상기 제 2진동감쇠장치는 상기 바닥상에 장착된 제 3프레임 및 상기 제 3프레임과 상기 노광유니트의 일부를 접속시키는제2작동기구비하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 26] 제 25항에 있어서,상기 제 2작동기는 상기 바닥으로부터의 진동을 방지하는 비-접촉형작동기인것을특징으로 하는노광장치. [청구항 27] 제 25항에 있어서,상기 제 2작동기는 자석 및 코일을 구비하고, 상기 자석 및 코일중 하나는 상기 제 3프레임상에 위치하며 다른 하나는상기노광유니트의상기일부상위치하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 28] 제 27항에 있어서,상기 자석 및 코일중 하나는상기제1프레임상장착되는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 29] 제 25항에 있어서,상기 제 2작동기는 상기 투영광시스템의 상기 광축에 수직인 상기 평면을 따른 제 1방향에서 상기 스테이지의 진동을 감쇠시키는 적어도 2개의 비-접촉형 작동기 및 상기 평면내 상기 제 1방향에 수직인 제 2방향에서 상기 스테이지의 진동을 감쇠시키는 적어도 한개의 비-접촉형작동기구비하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 30] 제 18항에 있어서,상기 제 1진동감쇠장치는 상기 바닥으로부터의 진동을 감쇠시키는 4개의 비-접촉형 작동기를 구비하고, 상기 제 2진동감쇠장치는 상기 바닥으로부터의 진동을 감쇠시키는 적어도 3개의 비-접촉형작동기구비하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 31] 제 18항에 있어서,상기 진동방지유니트는 상기 노광유니트를 지지하는 4개의 감쇠기를 구비하고,상기 노광장치는 상기 감쇠기의 스프링 상수 및 감쇠 계수중 적어도 하나를 변화시키도록 상기 4개의 감쇠기에 접속된제어기구비하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 33] 제 32항에 있어서,상기 베이스는 상기 부유수단에 의해 지지되고, 상기 제 1진동감쇠장치는 상기 베이스에 접속된작동기구비하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 35] 제 34항에 있어서,상기 다수의 제 1작동기의 수는 4개이고, 상기 제 1작동기는 상기 바닥상에 장착된베이스판상위치하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 36] 제 35항에 있어서,상기 제 1작동기는 자석과 코일을 구비하고, 상기 자석과 코일중 하나는 상기 베이스부재상에 위치하고 다른 하나는상기베이스판상위치하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 37] 제 35항에 있어서,상기 진동방지유니트는상기베이스판상위치하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 39] 제 38항에 있어서,상기 제 2작동기는 상기 바닥으로부터의 진동을 방지하는 비-접촉형작동기인것을특징으로 하는노광장치. [청구항 40] 제 39항에 있어서,상기 제 2작동기는 자석 및 코일을 구비하고, 상기 자석 및 코일중 하나는 상기 제 3프레임상에 위치하며 다른 하나는상기노광유니트의상기일부상위치하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 41] 제 40항에 있어서,상기 자석 및 코일중 하나는상기제1프레임상장착되는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 42] 제 38항에 있어서,상기 제 2작동기는 상기 투영광시스템의 상기 광축에 수직인 상기 평면을 따른 제 1방향에서 상기 스테이지의 진동을 감쇠시키는 적어도 2개의 비-접촉형 작동기 및 상기 평면내 상기 제 1 방향에 수직인 제 2방향에서 상기 스테이지의 진동을 감쇠시키는 적어도 한개의 비-접촉형작동기구비하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 44] 제 43항에 있어서,상기 베이스부재는상기노광광시스템지지하는것을특징으로 하는주사형 노광장치. [청구항 45] 제 43항에 있어서,상기 주사형 노광장치는:상기 제어기에 접속되며 상기 베이스부재에 가해진 가속을 검파하는 가속센싱장치를 더 포함하며,상기 제어기는 검파된 가속에 기초하여상기작동기제어하는것을특징으로 하는주사형 노광장치. [청구항 46] 제 43항에 있어서,상기 주사형 노광장치는:상기 제어기에 접속되며, 기준면으로부터 상기 베이스부재의 경사각의 편향을 검파하는 레벨센서를 더 포함하며,상기 제어기는 상기 검파된 편향에 기초하여상기작동기제어하는것을특징으로 하는주사형 노광장치. [청구항 47] 제 43항에 있어서,상기 주사형 노광장치는:상기 제어기에 접속되며 기준면으로부터 상기 베이스부재의 변위를 검파하는 변위센서를 더 포함하며,상기 제어기는 검파된 변위에 기초하여상기작동기제어하는것을특징으로 하는주사형 노광장치. [청구항 48] 제 43항에 있어서,상기 베이스부재는 다수의 위치에서 상기 설치표면상에서 지지되고, 상기 제어기는 상기 다수의 위치에서 상기 베이스부재에 기해진 힘이 상호 소정 관계를 가지도록상기작동기제어하는것을특징으로 하는주사형 노광장치. [청구항 49] 제 43항에 있어서,상기 제어기는 상기 베이스부재의 높이가 소정값을 가지도록상기작동기제어하는것을특징으로 하는주사형 노광장치. [청구항 50] 제 43항에 있어서,상기 제어기는 상기 베이스부재의 상태가 소정 조건이 되도록상기작동기제어하는것을특징으로 하는주사형 노광장치.