문맥 (context)
[청구항1]
챔버(12)에 세정용 가스를 주입하여 내부의 부산물을 세척하고, 세척된 부산물이 혼합된 배기물이 배기펌프(14)에 의해서 cdo 스크루버(16)에 통하여 가연배기덕트 (18)로 배기되도록 구성되어 있는 반도체소자의 제조장치에 있어서
상기 cdo 스크루버(16)와 상기 가연배기덕트(18)사이에 연결된 배관에서 분기되는 분기배관과
상기 부기배관에 연결되어 있는 산기배기덕트(32)와
상기 배관과 상기 분기배관에 각각 설치되어 있고 그리고 서로 연동하여 작동하는 제1, 2밸브(30a, 30b)를 부가하여, 막형성공정시에는 배기물이 상기 제1밸브(30a)만을 통하여 상기 가연배기덕트(18)로 제공되고 그리고 챔버세정공정시에는 상기 배기물이 상기 제2밸브(30b)만을 통하여 상기 산배기덕트(32)로 제공되도록 작동되는 것을 특징으로 하는 반도체소자의 제조장치
[청구항2]
제1항에 있어서,상기cdo스크루버(16)에서 토출되는 배기물에 부식방지제를 주입하는부식방지제주입수단부가하는것을특징으로 하는반도체소자의 제조장치.
[청구항3]
제2항에 있어서,상기 부식방지제는내부식성물질인것을특징으로 하는반도체소자의 제조장치.
[청구항4]
제2항에 있어서,상기 부식방지제는 부산물을 중화할 수 있는중화물질인것을특징으로 하는반도체소자 제조장치.
[청구항5]
제2항에 있어서,상기 부식방지제는질소가스인것을특징으로 하는반도체소자의 제조장치.
[청구항6]
제1항에 있어서,상기제1, 2밸브(30a, 30b)는 분기배관과 함께 상기 cdo 스크류버(16)내설치되어있는것을특징으로 하는반도체소자의 제조장치.
[청구항7]
제1항에 있어서,상기제1, 2밸브(30a, 30b)는 분기배관과 함께 상기 배기펌프(14)내설치되어있는것을특징으로 하는반도체소자의 제조장치.
[청구항8]
제1항에 있어서,상기 제조장치는고온시스템인것을특징으로 하는반도체소자의 제조장치.
[청구항9]
제1항에 있어서,상기세정용 가스는 hci가스인것을특징으로 하는반도체소자의 제조장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
막형성공정과 챔버세정공정 시 각각 배기물이 어떤 경로를 통해 배출되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation막형성공정과 챔버세정공정 각각의 배기 경로를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction공정별 밸브 작동 및 배출 경로에 관한 정보를 추출한다.
- 막형성공정시에는 배기물이 상기 제1밸브(30a)만을 통하여 상기 가연배기덕트(18)로 제공되고
- 챔버세정공정시에는 상기 배기물이 상기 제2밸브(30b)만을 통하여 상기 산배기덕트(32)로 제공되도록
-
3근거 선택
evidence_selection각 공정에 대응하는 밸브와 덕트 정보를 선택한다.
- 막형성공정시에는 배기물이 상기 제1밸브(30a)만을 통하여 상기 가연배기덕트(18)로 제공
- 챔버세정공정시에는 상기 배기물이 상기 제2밸브(30b)만을 통하여 상기 산배기덕트(32)로 제공
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4논리 통합
logical_integration막형성공정은 제1밸브를 통해 가연배기덕트로, 챔버세정공정은 제2밸브를 통해 산배기덕트로 연결됨을 통합한다.
- 막형성공정시에는 배기물이 상기 제1밸브(30a)만을 통하여 상기 가연배기덕트(18)로 제공
- 챔버세정공정시에는 상기 배기물이 상기 제2밸브(30b)만을 통하여 상기 산배기덕트(32)로 제공
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5결론 도출
conclusion_formulation공정별로 서로 다른 밸브와 덕트를 사용하여 배기 경로가 분리됨을 결론짓는다.
- 제1, 2밸브(30a, 30b)를 부가하여
- 막형성공정시에는 배기물이 상기 제1밸브(30a)만을 통하여 상기 가연배기덕트(18)로 제공
- 챔버세정공정시에는 상기 배기물이 상기 제2밸브(30b)만을 통하여 상기 산배기덕트(32)로 제공
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
막형성공정 시에는 배기물이 제1밸브(30a)를 통하여 가연배기덕트(18)로 제공되며, 챔버세정공정 시에는 배기물이 제2밸브(30b)를 통하여 산배기덕트(32)로 제공된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
제1, 2밸브를 이용하여 공정 종류(막형성 vs 챔버세정)에 따라 배기물의 경로를 가연배기덕트 또는 산배기덕트로 선택적으로 제어한다.