전기분해를 이용한 고순도 물의 제조장치 document_id 1019950039267

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 전기분해장치에 의해 얻은 전해수인 아노드수와 캐소드수를 세정대상인 2차 순수처리장치에 번갈아서 공급하는전환장치갖는것을특징으로 하는고순도 물의 제조장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 전기분해장치에 의해 얻은 전해수인 아노드수와 캐소드수 중 어느 하나를 세정대상인2차순수처리장치공급하는것을특징으로 하는고순도 물의 제조장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 전기분해장치에 의해 얻은 전해수인 아노드수에 의해 세정대상인 2차 순수처리장치를 세정하고, 얻어진 세정 배수에캐소드수혼합하는것을특징으로 하는고순도 물의 제조장치. [청구항 5] 제3항에 있어서,상기 전기분해장치에 의해 얻은 전해수인 캐소드수에 의해 세정대상인 2차 순수처리장치를 세정하고, 얻어진 세정 배수에아노드수혼합하는것을특징으로 하는고순도 물의 제조장치. [청구항 6] 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 전기분해장치는 1차 순수를 원수로 하여전기분해하는것을특징으로 하는고순도 물의 제조장치. [청구항 7] 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 전기분해장치는 2차 순수를 원수로 하여전기분해하는것을특징으로 하는고순도 물의 제조장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,2차 순수의 일부를 2차 순수처리장치의 전단으로 순환하는 순환배관을 더 갖고, 상기 전기분해장치는 이 순환배관내의 2차 순수를 원수로 하여 전기분해를 하여 얻어진 전해수를 순환배관에 의해2차순수처리장치의전단순환하는것을특징으로 하는고순도 물의 제조장치. [청구항 9] 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 2차 순수처리장치는 자외선 조사장치를 갖고, 상기 전기분해장치에 의해 얻은 아노드수를 이 자외선 조사장치에 공급하여자외선 조사장치세정하는것을특징으로 하는고순도 물의 제조장치. [청구항 10] 제13항에 있어서,2차 순수의 일부를 2차 순수처리장치의 전단으로 순환하는 순환배관을 더 갖고, 상기 전기분해장치는 이 순환배관내의 2차 순수를 원수로 하여 전기분해를 하여 얻어진아노드수를상기자외선 조사장치공급하는것을특징으로 하는고순도 물의 제조장치. [청구항 11] 제9항에 있어서,상기 2차 순수처리장치는 자외선 조사장치의 전단으로탈산소장치갖는것을특징으로 하는고순도 물의 제조장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 탈산소장치는 전기분해장치에서 얻어진 캐소드를 자외선 조사장치의 처리수와 혼합하는 혼합장치와, 이 혼합장치의 후단에 설치된 수소화 촉매에 의한수소화처리장치포함하는것을특징으로 하는고순도 물의 제조장치. [청구항 13] 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,기분해장치는 전기분해를 하는 원수에 대해서 전해질을 첨가하여전기분해하는것을특징으로 하는고순도 물의 제조장치. [청구항 14] 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 2차 순수처리장치는 이온교환처리를 하는 이온교환장치와, 이 이온교환장치를 바이패스하는 바이패스로를 갖고, 전해수를 2차 순수처리장치에 공급할때는 전해수를 상기 바이패스로에 흐르게 하고이온교환장치바이패스하는것을특징으로 하는고순도 물의 제조장치. [청구항 15] 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 전기분해장치는 아노드가 수용되는 아노드실과, 캐소드가 수용되는 캐소드실과, 이 아노드실과 캐소드실의 중간에 위치하는 중간실을 갖고, 아노드실과 중간실과의 사이 및 캐소드실과 중간실과의 사이는 이온교환막으로 구분되어 있으며, 적어도 중간실에는 이온교환수지가 충전되어 있고, 아노드는 아노드실내에 있어서 중간실과의 사이에 설치된 이온교환막과 접하고 있으며, 캐소드는 캐소드실내에 있어서 중간실과의 사이에 설치된이온교환막과접하는것을특징으로 하는고순도 물의 제조장치. [청구항 16] 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 전기분해장치는 전기분해하여 얻은 전해수를 여과하는필터갖는것을특징으로 하는고순도 물의 제조장치.