문맥 (context)
[청구항 1]
브러쉬아암(16)에 연결된 브러쉬축(15)에 의해서 고정된 브러쉬(14)를 회전시켜서 웨이퍼(12)상에 있는 파티클을 제거하는 파티클제거장치에 있어서
상기 브러쉬(14)가 상기 웨이퍼(12)의 표면에 접촉하는 압력을 검출하여 대응하는 전기적신호를 출력하는 검출수단(20)과
상기 검출수단에서 출력된 전기신호를 입력하여, 적정의 브러쉬갭에 대응하는 기준신호와 비교하여 서 모터제어신호를 출력하는 신호처리수단(30)과
상기 모터제어신호에 따라 상기 브러쉬아암(16)의 높이를 조절하는 갭조절수단(60)을 포함하여, 상기 브러쉬아암(16)의 높이조절에 따 상기 브러쉬갭이 조절되는 것을 특징으로 하는 파티클제거장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 갭조절수단(60)은 상기 모터제어신호에 응답하여 대응하는 회전력을 발생하는 스텝모터(62)와, 상기 스텝모터(62)의 회전축에 연결되어서 회전력에 대응하여 회전되는 구동기어(64)와, 상기 구동기어(64)의 회전에 따라 회전되어서 상기 브러쉬아암(16)을 상하방향으로 이동되게 하는동작기어포함하는것을특징으로 하는파티클제거장치.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 구동기어(62)에 대한 상기 동작기어(66)의 회전비가 상대적으로 큰 것특징으로 하는파티클제거장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 모터제어신호를 입력하여 대응하는 모터구동신호를 출력하는 모터구동부(40)와 상기 모터구동신호를 입력하여 대응하는 디지탈신호를 출력하여 상기 스텝모터(62)로 제공하는모터인코더부가하는것을특징으로 하는파티클제거장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 검출수단은 상기 브러쉬아암과 상기 브러쉬축사이에 설치되어 있는압전센서인것을특징으로 하는파티클제거장치.
[청구항 6]
제5항에 있어서,상기 압전센서는 약1㎎-1g의 범위를 갖는 무게를 측정할 수있는것을특징으로 하는파티클제거장치.
[청구항 8]
제7항에 있어서,상기 브러쉬아암(16)의 조절단계는 상기 비교결과에 응답하여 발생하는 모터의 정역회전 신호에 따라 상기 브러쉬아암(16)이 상하로 이동되게 하는단계포함하는것을특징으로 하는파티클제거장치의 갭조절방법.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
파티클제거장치에서 브러쉬가 웨이퍼 표면에 접촉할 때 발생하는 압력을 검출하여 브러쉬갭을 조절하기 위해, 신호처리수단(30)이 수행하는 비교 및 제어 과정은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation신호처리수단(30)이 브러쉬 접촉 압력을 바탕으로 브러쉬갭을 조절하기 위해 수행하는 비교 및 제어 과정을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction검출수단(20)은 브러쉬가 웨이퍼 표면에 접촉하는 압력을 검출하여 전기적 신호를 출력하며, 신호처리수단(30)은 이 신호를 입력받는다.
- 상기 브러쉬(14)가 상기 웨이퍼(12)의 표면에 접촉하는 압력을 검출하여 대응하는 전기적신호를 출력하는 검출수단(20)과 상기 검출수단에서 출력된 전기신호를 입력하여
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3근거 선택
evidence_selection신호처리수단(30)의 구체적인 동작인 '기준신호와 비교' 및 '모터제어신호 출력'에 관한 구절을 선택한다.
- 적정의 브러쉬갭에 대응하는 기준신호와 비교하여 서 모터제어신호를 출력하는 신호처리수단(30)과
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4논리 통합
logical_integration검출수단으로부터 받은 전기적 신호를 적정 브러쉬갭에 해당하는 기준신호와 비교한 후, 그 결과에 따라 모터제어신호를 출력하는 절차를 도출한다.
- 상기 검출수단에서 출력된 전기신호를 입력하여, 적정의 브러쉬갭에 대응하는 기준신호와 비교하여 서 모터제어신호를 출력하는 신호처리수단(30)
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5결론 도출
conclusion_formulation신호처리수단은 입력된 전기적 신호를 기준신호와 비교하여 모터제어신호를 출력함으로써 제어 과정을 수행한다.
- 적정의 브러쉬갭에 대응하는 기준신호와 비교하여 서 모터제어신호를 출력하는 신호처리수단(30)
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 신호처리수단의 비교 및 제어 과정을 요약하여 답변을 작성한다.
- 적정의 브러쉬갭에 대응하는 기준신호와 비교하여 서 모터제어신호를 출력하는 신호처리수단(30)
최종 답변 (final_answer)
신호처리수단(30)은 검출수단(20)으로부터 입력된 브러쉬 접촉 압력에 대응하는 전기적 신호를 적정의 브러쉬갭에 대응하는 기준신호와 비교하고, 그 결과에 따라 모터제어신호를 출력하는 과정을 수행한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
브러쉬의 접촉 압력을 전기적 신호로 변환하여 기준 신호와 비교함으로써, 브러쉬갭을 최적으로 유지하기 위한 모터 제어 신호를 생성하는 기술이다.