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증착용 다목적 진공챔버 document_id 1019950056119

출원번호
1019950056119
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 회전써클(1)은 자신의 회전을 원활하게 하기 위해서하중분산용밸러서가지는것을특징으로 하는증착용 다목적 진공챔버. [청구항 3] 제 1항에 있어서,상기 회전 지지대(2)는 회전기구(3)와 평기어(11) 및 회전써클(1)을 지지하여 결합하도록있는것을특징으로 하는증착용 다목적 진공챔버. [청구항 4] 제 1항에 있어서,상기 회전기구(3)는 메니플레이터(12)와 워엄 드라이버(13)로 구성되며, 메니플레이터(12)의 핸들(3a)을 시계방향 혹은 반시계방향으로 회전시킴으로써, 메니플레이터(12)에 부착된 워엄 드라이버(13)와 맞물려있는 회전지지대(2)의 평기어(11)를 구동하여 회전써클(1)이 회전하도록있는것을특징으로 하는증착용 다목적 진공챔버. [청구항 5] 제 1항에 있어서,상기 진공챔버(4)는 하단에 증발기가 부착되기 위한플랜지가지는것을특징으로 하는증착용 다목적 진공챔버. [청구항 6] 제 1항에 있어서,상기 로크챔버(5)는 오일을 사용하지 않는 배기펌프를 이용하여배기시키는것을특징으로 하는증착용 다목적 진공챔버. [청구항 7] 제 1항에 있어서,상기 로크챔버(5)에는 홀더 결합구(17)를 가지는 홀더스틱(15)및스틱홀더내장되는것을특징으로 하는증착용 다목적 진공챔버. [청구항 8] 제 6항에 있어서,상기 홀더 결합구(17)는 상기 스틱홀더(16)의 걸림봉(16a)에 결합하기 위한걸림홈형성되어있는것을특징으로 하는증착용 다목적 진공챔버. [청구항 9] 제 1항에 있어서,홀더(6)는 증착시에 광학글라스(9)를 통하여 입사되는 레이저 빔의 입사각이 45도를 유지하도록 하고, 타겟에서 발생된 플룸의 수직 상방향에 기판홀더(7)가 위치하도록 하며, 증착속도를 측정하기 위하여 박막두께 측정게이지(8)를 기판홀더(7)측가까이위치시킨것을특징으로 하는증착용 다목적 진공챔버. [청구항 10] 제 1항에 있어서,홀더(6)는 타겟의 방향을 타겟의 로드축을 중심으로 좌우 45 도까지 변화시킬 수 있고, 증착속도를 조정하기 위하여 로드의 길이조정가능한것을특징으로 하는증착용 다목적 진공챔버. [청구항 11] 제 1항에 있어서,상기 기판홀더(7)의 이면에는 텅스텐 필라멘트(20)를 부착시켜 기판을 가열하면서 증착할 수 있게 한 것특징으로 하는증착용 다목적 진공챔버. [청구항 12] 제 1항에 있어서,상기 회전써클(1)은 상기 진공챔버(4) 내의 공간을 유효적절하게 이용하기 위하여반원형상형성되는것을특징으로 하는증착용 다목적 진공챔버. [청구항 13] 제 1항에 있어서,상기 광학글라스(9)는, 자신의 임의교환 및 입사시의 빔에너지 저하를 방지하기 위한광학글라스용홀더더욱포함하는것을특징으로 하는증착용 다목적 진공챔버.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
증착용 다목적 진공챔버에서 메니플레이터(12)의 핸들(3a)을 회전시켰을 때, 회전써클(1)이 회전하게 되는 구동 메커니즘의 과정을 설명하시오.
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    메니플레이터의 핸들을 회전시켰을 때 회전써클이 회전하게 되는 구동 메커니즘의 단계를 설명해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    핸들(3a)의 회전, 메니플레이터(12)와 워엄 드라이버(13)의 구성, 평기어(11)와의 맞물림, 회전써클(1)의 회전 관계를 추출한다.

    • 메니플레이터(12)의 핸들(3a)을 시계방향 혹은 반시계방향으로 회전시킴으로써, 메니플레이터(12)에 부착된 워엄 드라이버(13)와 맞물려있는 회전지지대(2)의 평기어(11)를 구동하여 회전써클(1)이 회전하도록
  3. 3근거 선택evidence_selection

    핸들 회전이 워엄 드라이버를 통해 평기어를 구동하고, 이것이 최종적으로 회전써클을 회전시킨다는 구절을 선택한다.

    • 메니플레이터(12)의 핸들(3a)을 시계방향 혹은 반시계방향으로 회전시킴으로써, 메니플레이터(12)에 부착된 워엄 드라이버(13)와 맞물려있는 회전지지대(2)의 평기어(11)를 구동하여 회전써클(1)이 회전하도록
  4. 4논리 통합logical_integration

    핸들(3a) 회전 → 메니플레이터(12)에 부착된 워엄 드라이버(13) 구동 → 워엄 드라이버와 맞물린 평기어(11) 구동 → 회전써클(1) 회전의 순서로 논리를 연결한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    핸들 회전이 워엄 드라이버를 거쳐 평기어를 구동함으로써 회전써클이 회전한다는 메커니즘을 정리한다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 논리적 단계를 바탕으로 질문에 대한 답변을 작성한다.

최종 답변 (final_answer)
메니플레이터(12)의 핸들(3a)을 시계방향 혹은 반시계방향으로 회전시키면, 메니플레이터(12)에 부착된 워엄 드라이버(13)가 구동된다. 이 워엄 드라이버(13)가 회전지지대(2)의 평기어(11)와 맞물려 이를 구동함으로써 최종적으로 회전써클(1)이 회전하게 된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
메니플레이터의 핸들 조작을 통해 워엄 드라이버와 평기어 간의 맞물림을 이용하여 회전써클을 구동하는 기계적 메커니즘을 나타낸다.