피라미드 에러 보정방식과 그의 장치 document_id 1019950703011

[청구항 6] 제5항에 있어서,함수 발생기(52)가 있어서 광속(5)이 추가편향의 부여각도에 대한 전기적 출력양을 발생시키며 가산기회로(53)가 있어서 가산을 시켜주는데 여기서 교정편향을 조절하기 위한 제어변수가 함수발생기(52)의 전기적 출력양에 가산될 수 있으며 이 합은따라서편향장치관여할수있는 것을특징으로 장치. [청구항 7] 제5항 또는 제6항에 있어서,편향장치(9,10)는 전기적으로 조정이 가능한 회전각도를 가진 회전경(10) 및 각도 조정을 위한구동회포함하는것을특징으로 하는장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,구동회로(54)는 입력양의 함수로서의 회전각을 참조 값으로 규제하는 pid제어장치를 가지고 있는데 여기에서 미적분 규정의 시간정수가 회전경(10)의개계적관성력적응되는것을특징으로 하는장치. [청구항 9] 제7항 또는 제8항에 있어서,회전경(10) 및 이를 제어하는 전자장치(53, 54)가 라인-주사 주파수의 최소2배가 되는한계주파수가지는것을특징으로 하는장치. [청구항 10] 제5항내지 제9항중의 어느 하나의 항에 있어서 계측장치(13)는 계측광속(19)을 방사하는 레이저(17)를 포함하고 있으며 이러한 레이저(17)는 계측광속(19)이 각각의 통과하고 있는 각면(16)의 계측위치에서 반사되도록배치되어있는것을특징으로 하는장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,광반응 위치검출기(18)는 최소한도 이따금 통과하는 가면(16)에서 반사되는 계측광속(20)을 받아서 그의 차이가 각면경사도의 함수가 되는 두 전위차(u1, u2)를발생주는것을특징으로 하는장치. [청구항 12] 제10항 또는 제11항에 있어서,레이저는 계측광속(19)과 다각형(8)의 회전반경에 대하여 "0"이 아닌 각도로 뻗쳐 있도록위치있는것을특징으로 하는장치. [청구항 13] 제11항 또는 제12항에 있어서,광-반응위치 검출기(18)는 다각경(8)과 레이저(17)에 대하여 각면(16)에서 반사되어 위치 검출기에서 "0"의 전위차를 내는 계측광속(19)이 레이저(17)로 부터 나온 계측 광속(19)과 90˚±10˚의 각도(β)를 포함하도록배치되어있는것을특징으로 하는장치. [청구항 14] 제10항 내지 제13항중의 어느 하나의 항에 있어서,레이저(17)에 의하여 발생되 계측광(19)의 직경은 다각경에서 편향되는 광속(5)의 편향각면(12)상 초점의 1.5 와 0.5배범위인것을특징으로 하는장치. [청구항 15] 제10항 내지 제14항중의 어느 하나의 항에 있어서,레이저(17)는 이로부터 나오는 계측광속 중심이 편향광속(15)도 또한 반사될 각면(16)의 동일역내의 각면(16)상의 한점있는것을특징으로 하는장치. [청구항 16] 제10항 내지 제15항중으 어느 하나의 항에 있어서,레이저(17)는 해당 계측위치(15)를 포함하는 각면(16)이 회전방향에서 90˚±45˚각도로 광속(5)을 편향시키는 각면(12)을 앞서가도록 되어 있으며 제어장치(31, 36, 37, 53, 54)는 다각경(8) 회전의 결과 계측위치(15)로부터 편향광속(5)의 입사점에 이르기까지의 각면(11, 12, 16)이 통과하는데 소요되는 시간과 사실상 동일한 시간만큼 제어변수의 출력을 지체시켜주는지연회로포함하고있는것을특징으로 하는장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,지연회로(32)가 고정지여 시간을 가진지연라인가지는것을특징으로 하는장치. [청구항 18] 제1항에 있어서,지연회로(37)는 디지탈회로(50, 51, 38)이라는 것특징으로 하는장치. [청구항 19] 제18항에 있어서,샘플홀드 회로(38)에 의하여 적기에 지속적으로 공급되는 제어변수들은 입력변환신호(43)가 나타날때 다중 장소의 하나에 저장이 되며, 이매 경사각의 광학적 교정에 요구되는 해당제어 변수는 출력 취인 신호(45)가 나다날 때 저장소로 부터 추출되며 출력신호는 디지탈 회로(50, 51)에 의한 입력변환신호에 비례하여지연되는것을특징으로 하는장치. [청구항 20] 제18항 또는 제19항에 있어서,장치는 두 전위차가 각면 경사도의 함수가 되는 광-반응위치 검출기(18)의 두 전위의 합으로부터 디지탈 지연(37)의 시각펄스를 발생시켜주는시각발생회로포함하는것을특징으로 하는장치. [청구항 21] 제20항에 있어서,시각 발생회로(33) 또한 특히 비교기나 슈미트 트리거의 적용에 따르는 펄스-형성회로가지는것을특징으로 하는장치.