개선된냉각시스템을갖는부식방지정전척 document_id 1019960000068

[청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 엣지 갭의 상기 폭(w)이 홈에서 냉각제가 약 100℃ 이하의 온도로 기판 주변부를 유지할 수 있도록 좁은폭가지는것을특징으로 하는정전 척. [청구항 3] 제 2항에 있어서,상기 엣지 갭의 상기 폭(w)이 약 7mm이하인것을특징으로 하는정전 척. [청구항 4] 제 1항에 있어서,상기 냉각 홈은 상기 절연체의 상기 상부 표면에 대해 방사적으로 연장되어 교차하는홈패턴형성하는것을특징으로 하는정전 척. [청구항 5] 제 1항에 있어서,상기 탄성 절연체는폴리이미드포함하는것을특징으로 하는정전 척. [청구항 6] 제 5항에 있어서,상기 절연체는 약 1 내지 5㎬탄성계수갖는것을특징으로 하는정전 척. [청구항 7] 제 5항에 있어서,상기 절연체의 두께는 약100내지인것을특징으로 하는정전 척. [청구항 8] 제 1항에 있어서,상기 절연체는 (i) 상기 베이스 상에 있고, 자체내에 내장된 전극을 갖는 하부 절연층, 및 (ii) 자체내에 상기 냉각 홈을 갖는상부절연층포함하는것을특징으로 하는정전 척. [청구항 9] 제 8항에 있어서,상기 상부 절연층의 두께는상기하부절연층의두께동일한것을특징으로 하는정전 척. [청구항 10] 제 9항에 있어서,상기 상부 절연층의 두께는 약 50㎛이상인것을특징으로하는정전 척. [청구항 11] 제 1항에 있어서,상기 절연체에서의 상기 전극은 양극성 전극으로 사용될 수 있는적어도2개이상의전극포함하는것을특징으로 하는정전 척. [청구항 12] 제 11항에 있어서,상기 2개의 전극은 동일 평면상에 있고 각각의 전극은상기절연체의약절반영역덮는것을특징으로 하는정전 척. [청구항 13] 제 12항에 있어서,각각의 전극은 100sq.cm이상의영역포함하는것을특징으로 하는정전 척. [청구항 15] 제 14항에 있어서,상기 전극nan은상기절연체의전체영역덮는것을특징으로 하는정전 척. [청구항 16] 제 15항에 있어서,상기 전극은 약 200 내지 약 400sq.cm의영역포함하는것을특징으로 하는정전 척. [청구항 17] 제 15항에 있어서,상기 전극은 양극성 전극으로 사용될 수 있는적어도2개이상의전극포함하는것을특징으로 하는정전 척. [청구항 18] 제 14항에 있어서,상기 절연체는 주변 엣지를 갖고 상기 척에 보유된 상기 기판은 중심부와 주변부를 갖고, 상기 절연체에서 상기 냉각 홈은 냉각제가 상기 홈에 보유될 때, 상기 기판의 상기 주변부가 상기 기판의 중심부에서와 동일한 온도로 유지되도록 상기 절연체의 상기 주변 에지에 가깝게 위치되는팁갖는것을특징으로 하는정전 척. [청구항 19] 제 18항에 있어서,상기 냉각 홈의 상기 팁과 상기 절연체의 상기 주변 에지가 이들 사이에 폭(w)을 갖는 에지 갭을 형성하고상기에지갭의폭이하인것을특징으로 하는정전 척. [청구항 20] 제 19항에 있어서,기판이 상기 척에 정전기적으로 보유되고 냉각제가 냉각홈에 보유되는 경우, 상기 홈의 상기 탭으로부터 냉각제가 누설되지 않도록 상기 절연체가 상기 기판에 탄성적으로 부합되도록 상기 절연체가 탄성적이고 두꺼운 것특징으로 하는정전 척. [청구항 21] 제 20항에 있어서,상기 절연층nan은폴리이미드포함하는것을특징으로 하는정전 척. [청구항 22] 제 21항에 있어서,상기 절연체는 약 100 내지 300㎛로 두꺼운 것특징으로 하는정전 척.