문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 플라즈마 가스 공급 수단은 플라즈마 가스 밸브(7)와 상기 플라즈마 가스 밸브에 연결된 플라즈마 가스 유량 제어기포함하는 것인박막 트랜지스터 액정 표시 장치용 박막 증착 장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 플라즈마 가스 공급 수단에 의하여 공급되는 플라즈마 가스는 불활성 가스포함하는 것인박막 트랜지스터 액정 표시 장치용 박막 증착 장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 마이크로파 발생 수단은 대략 300w 전력의 마이크로파발생시키는 것인박막 트랜지스터 액정 표시 장치용 박막 증착 장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 펄스 발생 수단은 27.5∼30khz인 주파수를 갖는 펄스발생시키는 것인박막 트랜지스터 액정 표시 장치용 박막 증착 장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 자장을 균일하게 분포시키기 위한 수단은 전자가 나선 운동을 하도록 자장을 만들기 위한 마그네틱 코일(11)과 상기 마그네틱 코일에 전기를 가해주어 자장이 형성되도록 하기 위한 전기 인가 수단포함하는 것인박막 트랜지스터 액정 표시 장치용 박막 증착 장치.
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기 자장이 형성되도록 하기 위한 전기 인가 수단은 875 gauss의 자장을 공급주는 것인박막 트랜지스터 액정 표시 장치용 박막 증착 장치.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기 소스 가스를 인가하기 위한 수단은 소스 가스 밸브(8)와 소스 가스 유량 제어기포함하는 것인박막 트랜지스터 액정 표시 장치용 박막 증착 장치.
[청구항 9]
제1항 또는 제8항에 있어서,상기 소스 가스는 sih4를포함하는 것인박막 트랜지스터 액정 표시 장치용 박막 증착 장치.
[청구항 11]
제10항에 있어서,상기 플라즈마 가스 공급 수단은 플라즈마 가스 밸브(7)와 플라즈마 가스 유량 제어기포함하는 것인기판 세정 장치.
[청구항 12]
제10항에 있어서,상기 플라즈마 가스 공급 수단에 의하여 공급되는 가스는 불활성 가스포함하는 것인기판 세정 장치.
[청구항 13]
제10항에 있어서,상기 마이크로파 발생 수단은 300w 전력의 마이크로파발생시키는 것인기판 세정 장치.
[청구항 14]
제10항에 있어서,상기 펄스 발생 수단은 27.5∼30khz인 주파수를 갖는 펄스발생시키는 것인기판 세정 장치.
[청구항 15]
제10항에 있어서,상기 자장을 균일하게 분포시키기 위한 수단은 전자가 나선 운동을 하도록 자장을 만들기 위한 마그네틱 코일(11)과 상기 마그네틱 코일에 전기를 가해주어 자장이 형성되도록 하기 위한 전기 인가 수단포함하는 것인기판 세정 장치.
[청구항 26]
제22항에 있어서,상기 플라즈마 형성 단계에서 공급되는 플라즈마 가스는 불활성 가스포함하는 것인기판 세정 방법.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
박막 트랜지스터 액정 표시 장치용 박막 증착 장치에서 자장을 균일하게 분포시키기 위한 수단은 어떠한 구성요소들로 이루어져 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation박막 증착 장치에서 자장을 균일하게 분포시키기 위한 수단의 구성요소를 찾는다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 6에서 '자장을 균일하게 분포시키기 위한 수단'에 대한 정의를 추출한다.
- 상기 자장을 균일하게 분포시키기 위한 수단은 전자가 나선 운동을 하도록 자장을 만들기 위한 마그네틱 코일(11)과 상기 마그네틱 코일에 전기를 가해주어 자장이 형성되도록 하기 위한 전기 인가 수단포함하는 것
-
3근거 선택
evidence_selection자장 분포 수단의 구성요소인 마그네틱 코일(11)과 전기 인가 수단을 근거로 선택한다.
- 마그네틱 코일(11)과 상기 마그네틱 코일에 전기를 가해주어 자장이 형성되도록 하기 위한 전기 인가 수단
-
4논리 통합
logical_integration추출된 두 구성요소(마그네틱 코일, 전기 인가 수단)를 결합하여 질문에 대한 답을 구성한다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation자장을 균일하게 분포시키기 위한 수단은 마그네틱 코일(11)과 전기 인가 수단으로 이루어져 있음을 도출한다.
-
6답변 생성
answer_generation질문에 따라 구성요소 리스트 형식으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
마그네틱 코일(11), 전기 인가 수단
핵심 해석 (core_interpretation)
전자의 나선 운동을 유도하여 자장을 균일하게 형성하기 위해 마그네틱 코일과 이에 전기를 공급하는 전기 인가 수단을 이용하는 기술적 구성을 나타냄.