세정장치 document_id 1019960015345

[청구항 2] 제1항상기 아암과 상기 서포트를 연결하는리니어 가이드더포함하는것을특징으로 하는세정장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 서포트의 최대하강량을 규정하는스톱퍼더가지는것을특징으로 하는세정장치. [청구항 4] 제1항상기 탄성부재가 , 상기 브러시 및 상기 아암의 하중을 받는압축스프링으로이루어지는것을특징으로 하는세정장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 탄성부재의 윗쪽에 위치하도록 상기 아암에 부착된, 상기 브러시를 회전시키기 위한 모터와, 상기 모터의 구동력을 상기 브러시에 전달하기 위해서, 상기 아암을 따라서 배열설치된트랜스미션더구비하는것을특징으로 하는세정장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 브러시가 , 상기 스핀척에 유지된 상기 피처리체의 위쪽으로부터 벗어난 대기위치와 상기 스핀척에 유지된 상기 피처리체 위쪽의 제1위치와의 사이에 이동이 가능해지도록, 상기 서포트가 상기 수평 드라이버에 의해서이동되는것을특징으로 하는세정장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 수평 드라이버가, 상기 대기위치와 상기 제1위치와의 사이에상기아암선회시키는것을특징으로 하는세정장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 아암에 지지된 상기 브러시에 세정액을 공급하는공급수단더구비하는것을특징으로 하는세정장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 공급수단이, 상기 브러시 등부에 배열설치된 세정액 받음부와, 상기 세정액 받음부에 세정액을 공급하는 관과, 상기 세정액 받음부와 상기 브러시와의 사이에 형성된세정액유통구멍구비한것을특징으로 하는세정장치. [청구항 10] 제8항에 있어서,상기 처리실내에서 상기 스핀척을 포위하는 상하에 이동이 가능한 제1컵부와, 상기 제1컵부를, 그 윗끝단이 상기 스핀척에 유지된 상기 피처리체보다도 위에 오는 상측위치와, 그 윗끝단이 상기 스핀척에 유지된 상기 피처리체보다도 아래에 오는 하측위치와의 사이를 수직방향으로 이동시키는 컵 드라이버와, 상기 제1컵부가 상기 상측위치에 왔을 때, 상기 제1컵부 아래측에 발생하는 틈을 덮기 위해서, 상기 처리실에 대하여 고정된제2컵부더구비하는것을특징으로 하는세정장치. [청구항 12] 제11항에 있어서 , 상기 스폰지 기둥이 여러개의 큰 지름의 제1스폰지 기둥과 여러개의 작은 지름의 제2스폰지 기둥을 구비하고, 상기 제1 및 제2스폰지 기둥이 교대로배열설치되는것을특징으로 하는세정장치. [청구항 13] 제11항에 있어서,상기 아암에 지지된, 상기 브러시에 세정액을 공급하는공급수단더구비하는것을특징으로 하는세정장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 공급수단이 , 상기 브러시 등부에 배열설치된 세정액 받음부와, 상기 세정액 받음부에 세정액을 공급하는 관과, 상기 세정액 받음부와 상기 브러시와의 사이에 형성된세정액유통구멍구비하는것을특징으로 하는세정장치. [청구항 15] 제13항에 있어서,상기 처리실내에서 상기 스핀척을 포위하는 상하에 이동이 가능한 제1컵부와 상기 제1컵부를, 그 윗끝단이 상기 스핀척에 유지된 상기 웨이퍼보다도 위에 오는 상측위치와, 그 윗끝단이 상기 스핀척에 유지된 상기 웨이퍼보다도 아래에 오는 하측위치와의 사이를 수직방향으로 이동시키는 컵 드라이버와, 상기 제1컵부가 상기 상측위치에 왔을 때, 상기 제1컵부의 아래측에 발생하는 틈을 덮기 위해서, 상기 처리실에 대하여 고정된제2컵부더구비하는것을특징으로 하는세정장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 스폰지 기둥이 방사방향으로 연장되는 여러개의 홈을 형성하도록 배열설치되고, 상기 식모다발이 상기 홈내에배열설치되는것을특징으로 하는세정장치. [청구항 18] 제16항에 있어서,상기 아암에 지지된, 상기 브러시에 세정액을 공급하는공급수단더구비하는것을특징으로 하는세정장치. [청구항 19] 제18항에 있어서,상기 공급수단이 , 상기 브러시 등부에 배열설치된 세정액 받음부와, 상기 세정액 받음부에 세정액을 공급하는 관과, 상기 세정액 받음부와 상기 브러시와의 사이에 형성된세정액유통구멍구비하는것을특징으로 하는세정장치. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 처리실내에서 상기 스핀척을 포위하는 상하에 이동이 가능한 제1컵부와, 상기 제1컵부를, 그 윗끝단이 상기 스핀척에 유지된 상기 웨이퍼보다도 위에 오는 상측위치와, 그 윗끝단이 상기 스핀척에 유지된 상기 웨이퍼보다도 아래에 오는 하측위치와의 사이를 수직방향으로 이동시키는 컵 드라이버와, 상기 제1컵부가 상기 상측위치에 왔을 때, 상기 제1컵부 하측에 발생하는 틈을 덮기 위해서, 상기 처리실에 대하여 고정된제2컵부더구비하는것을특징으로 하는세정장치.