문맥 (context)
[청구항 12]
제11항에 있어서,상기 질화 탄탈막은 반응성 스퍼터링에 의해성장되는것을특징으로 하는적층구조.
[청구항 13]
제11항에 있어서,상기 질화 탄탈막은결정갖는것을특징으로 하는적층구조.
[청구항 14]
제11항에 있어서,상기 질화탄탈막과 상기 탄탈박막이 반응성 스퍼터링에 의해 절연기판상에 순서적으로 성장되고, 상기 반응성 스퍼터링의 기체 압력은 제어되어 상기 질화탄탈막은 육방 결정 구조의 결정을 포함하고 상기 질화 탄탈막의 육방 결정 구조의 결정 격자 평면의 간격은 상기 탄탈 박막의 체심 입방 결정 구조의 격자 평면의 간격에 가까운 것특징으로 하는적층구조.
[청구항 15]
제14항에 있어서,상기 질화탄탈막의 육방 결정 구조의 결정 격자 평면의 간격은 22nm내지범위에있는것을특징으로 하는적층구조.
[청구항 16]
제14항에 있어서,상기 질화 탄탈막은 tanx(x=1)을 구비하고, x선 회절에서 (110)의결정배향갖는것을특징으로 하는적층구조.
[청구항 17]
제14항에 있어서,상기 질화 탄탈막은 tanx(x=0.8)을 구비하고, x선 회절에서 (100)의결정배향갖는것을특징으로 하는적층구조.
[청구항 18]
제14항에 있어서,상기 질화 탄탈막은 tanx(x=0.5)을 구비하고, x선 회절에서 (101)의결정배향갖는것을특징으로 하는적층구조.
[청구항 19]
제14항에 있어서,상기 질화 탄탈막은 tanx(x=0.43)을 구비하고, x선 회절에서 (111)의결정배향갖는것을특징으로 하는적층구조.
[청구항 20]
제14항에 있어서,상기 질화 탄탈막은 tanx(x=1)을 구비하고, x선 회절에서 (110)의 결정 배향을 갖는 제1결정, tanx(x=0.8)을 구비하고, x선 회절에서 (100)의 결정 배향을 갖는 제2결정, tanx(x=0.5)을 구비하고, x선 회절에서 (101)의 결정 배향을 갖는 제3결정, tanx(x=0.43)을 구비하고, x선 회절에서 (111)의 결정 배향을 갖는 제4결정으로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 2개 상이한결정포함하는것을특징으로 하는적층구조.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
제14항의 적층구조에서 질화 탄탈막의 육방 결정 구조의 결정 격자 평면 간격과 탄탈 박막의 체심 입방 결정 구조의 격자 평면 간격 사이의 관계는 어떠하며, 이를 위해 반응성 스퍼터링 시 어떠한 조건이 제어되어야 하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation질화 탄탈막의 육방 결정 구조 격자 간격과 탄탈 박막의 체심 입방 결정 구조 격자 간격 사이의 관계 및 이를 제어하기 위한 반응성 스퍼터링 조건을 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 14에서 질화 탄탈막의 격자 간격이 탄탈 박막의 격자 간격에 가깝다는 점과 기체 압력이 제어된다는 정보를 추출한다.
- 상기 질화탄탈막과 상기 탄탈박막이 반응성 스퍼터링에 의해 절연기판상에 순서적으로 성장되고, 상기 반응성 스퍼터링의 기체 압력은 제어되어 상기 질화탄탈막은 육방 결정 구조의 결정을 포함하고 상기 질화 탄탈막의 육방 결정 구조의 결정 격자 평면의 간격은 상기 탄탈 박막의 체심 입방 결정 구조의 격자 평면의 간격에 가까운 것특징으로 하는적층구조
-
3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 관계(격자 간격의 근접성)와 제어 조건(기체 압력)에 해당하는 구절을 선택한다.
- 상기 반응성 스퍼터링의 기체 압력은 제어되어 상기 질화탄탈막은 육방 결정 구조의 결정을 포함하고
-
4논리 통합
logical_integration질화 탄탈막의 격자 간격이 탄탈 박막의 격자 간격과 유사하도록 만들기 위해 반응성 스퍼터링 시 기체 압력을 제어한다는 논리적 연결을 수행한다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation두 격자 평면 간격은 서로 가까운 관계에 있으며, 이를 위해 반응성 스퍼터링의 기체 압력이 제어되어야 한다는 결론을 도출한다.
-
6답변 생성
answer_generation질문에 대해 관계와 제어 조건을 명확히 기술하여 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
질화 탄탈막의 육방 결정 구조의 결정 격자 평면 간격은 탄탈 박막의 체심 입방 결정 구조의 격자 평면 간격에 가까운 관계를 가지며, 이를 위해 반응성 스퍼터링 시 기체 압력이 제어되어야 한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
반응성 스퍼터링 공정 중 기체 압력 제어를 통해 질화 탄탈막과 탄탈 박막 간의 결정 격자 간격을 일치시켜 적층 구조를 형성하는 기술에 관한 것이다.