커패시터의 구조 및 제조방법 document_id 1019960020639

[청구항 1] 제1트랜치와 제2트랜치를 갖는 기판 상기 제1트랜치의 밑면을 따라 상기 기판상의 일정높이까지 연장되어 형성되는 제1바디와 상기 제1바디로부터 일정길이로 연장되어 형성되는 제1프랜지를 갖는 제1스토리지 노드 상기 제2트랜치의 밑면에 따라 상기 제1바디보다 더 높게 연장되어 형성되는 제2바디와 상기 제2바디로부터 일정길이로 연장되어 형성되는 제2프랜지를 갖는 제2스토리지 노드 상기 제1,제2스토리지 노드를 전면에 형성되는 유전체막; 커패시터 [청구항 3] 제1항에 있어서,제2프랜지는 제1프랜지의상부에 위치되고 제1프랜지의 일정영역이 중첩되도록형성됨을특징으로 하는커패시터. [청구항 4] 반도체 기판; 상기 기판상에 형성되고 제1콘택홀과 제2콘택홀을 갖는 제1절연막 상기 제1절연막상에 형성되는 제2절연막 상기 제1콘택홀이 밑면을 따라 상기 제1절연막상의 일정높이까지 연장되어 형성되는 제1바디와 상기 제1바디로부터 일정길이로 연장되어 형성되는 제1프랜지를 갖는 제1스토리지 노드 상기 제2콘택홀의 밑면을 따라 상기 제1 바디보다 더 높게 연장되어 형성되는 제2 바디와 상기 제2바디로부터 일정길이로 연장되어 형성되는 제2 프랜지와 상기 제2바디와 상기 제2프랜지 사이에 배트영역을 갖는 제2 스토리지 노드 상기 제1, 제2스토리지 노드를 전면에 형성하는 유전체막 그리고 상기 유전체막상에 형성되는 플레이트 전극이 구비됨을 특징으로 하는 커패시터 [청구항 5] 제4항에 있어서,제2프랜지는팔각형형태형성됨을특징으로 하는커패시터. [청구항 6] 제4항에 있어서,제2프랜지는 제1프랜지의 상부에 위치되고 제1프랜지의 일정영역이 중첩되도록형성됨을특징으로 하는커패시터. [청구항 7] 반도체 기판; 상기 기판상에 형성되고 제1콘택홀과 제2콘팩홀을 갖는 제1절연막 상기 제1콘택홀의 밑면을 다라 상기 제1절연막상의 일정높이까지 연장되어 형성되는 제1바디로부터 일정길이로 연장되어 형성되는 제1프랜지와 상기 제1바디와 상기 제1프랜지사이에 밴트영역을 갖는 제1스토리지 노드 상기 제2콘택홀의 밑면을 따라 상기 제1프랜지 밑면과 동일한 높이로 연장되어 형성되는 제2바디와 상기 제2바디의 상면에서 일정길이 아래인 지점에서 연장되어 형성되는 제2프랜지를 갖는 제2스토리지 노드 상기 제1,제2스토리지 노드를 전면에 형성하는 유전체막 그리고 상기 유전체막상에 형성되는 플레이트 전극이 구비됨을 특징으로 하는 커패시터 [청구항 8] 제7항에 있어서,제2프랜지는팔각형형태형성됨을특징으로하는커패시터. [청구항 9] 제7항에 있어서,제1프랜지는 제2프랜지의 상부에 위치되고 제2프랜지의 일정영역이 중첩되도록형성됨을특징으로 하는커패시터. [청구항 10] 제7항에 있어서,제2프랜지는 제1스토리지 노드이 제1 바디 상면과 동일한높이형성됨을특징으로 하는커패시터.