회전식 기판도포장치 document_id 1019960028567

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 지지회전수단은, 그 회전축의 외주면에 접동하여 회전시 축의 흔들림을 억제하는 베어링을 구비하고, 상기 기류통로는, 상기 회전축을 둘러싸도록 상기 비산방지컵과 상기 베어링의 사이에 형성되어 있음과 동시에, 상기 회전축과 상기 베어링의 접동부를 향해 조절기류를유출하는미소개구부형성되어있는것을특징으로 하는회전식 기판도포장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 기류통로는, 그 유로 단면적을 가변하는댐퍼구비하고있는것을특징으로 하는회전식 기판도포장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 유로단면적은, 기판 사이즈 및 상기 지지회전 수단에 의한 기판의 최대회전수에 의거하여 일정하게설정되는것을특징으로 하는회전식 기판도포장치. [청구항 5] 제3항에 있어서,상기 유로단면적은, 기판 사이즈 및 상기 지지회전수단에 의한 기판의 회전수에 따라서가변설정되는것을특징으로 하는회전식 기판도포장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 조절기류 공급수단은, 상부중앙부근의 개구에서 유입하는 기류와는 다른 기류를 소정온도로 조절함과 동시에 소정습도로 조절하여 상기 기류통로에조절기류공급하는것을특징으로 하는회전식 기판도포장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 조절기류 공급수단은, 상부중앙부근의 개구에서 유입하는 기류와는 다른 기류의 풍량을 소정풍량으로 조절하여 상기 기류통로에조절기류공급하는것을특징으로 하는회전식 기판도포장치. [청구항 8] 제6항에 있어서,상기 조절기류 공급수단은, 상기 기류통로에 연통 접속되어 상부중앙부근의 개구에서 유입하는 기류와는 다른 조절기류로서 방출하는 방출구와, 기류를 받아들이는 기류 취입구를 가지고, 상기 기류 취입구에서 상기 방출구를 향해 냉동부, 가열부, 가습부를구비하는것을특징으로 하는회전식 기판도포장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 가습부는, 증기취출식에 의해가습하는것을특징으로 하는회전식 기판도포장치. [청구항 10] 제8항에 있어서,상기 가습부는, 기화식에 의해가습하는것을특징으로 하는회전식 기판도포장치. [청구항 11] 제7항에 있어서,상기 소정 풍량은, 기판 사이즈 및 상기 지지회전수단에 의한 기판의 최대 회전수에 의거하며 일정하게설정되는것을특징으로 하는회전식 기판도포장치. [청구항 12] 제7항에 있어서,상기 소정 풍량은, 기판 사이즈 및 상기 지지회전 수단에 의한 기판의 최대 회전수에 따라서가변설정되는것을특징으로 하는회전식 기판도포장치. [청구항 13] 제1항에 있어서,상기 조절기류 공급수단은, 상부중앙부근의 개구에서 유입하는 기류와는 다른 기류의 풍량을 소정 풍량으로 조절하여 상기 기류통로에조절기류공급하는것을특징으로 하는회전식 기판도포장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 소정풍량은, 기판사이즈 및 상기 지지회전수단에 의한 기판의 최대 회전수에 의거하여 일정하게설정되는것을특징으로 하는회전식 기판도포장치. [청구항 15] 제13항에 있어서,상기 소정풍량은, 기판 사이즈 및 상기 지지회전수단에 의한 기판의 회전수에 따라서가변설정되는것을특징으로 하는회전식 기판도포장치. [청구항 16] 제1항에 있어서,상기 기류통로는, 평면에서 볼때상기지지회전수단과상기기판의주변테두리부사이형성되어있는것을특징으로 하는회전식 기판도포장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 기류통로는, 그 유로 단면적을 가변하는댐퍼구비하고있는것을특징으로 하는회전식 기판도포장치. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기 유로단면적은, 기판사이즈 및 상기 지지회전수단에 의한 기판의 최대회전수에 의거하여 일정하게설정되는것을특징으로 하는회전식 기판도포장치. [청구항 19] 제17항에 있어서,상기 유로단면적은, 기판사이즈 및 상기 지지회전수단에 의한 기판의 회전수에 따라서가변설정되는것을특징으로 하는회전식 기판도포장치.