매엽식처리장치 document_id 1019960030659

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 가스분출영역의 최대길이가상기지지부품의최대길이와실질적동일한것을특징으로 하는매엽식 처리장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 가열부가 복수의 가열수단을 갖고, 상기 가열수단이 상기 지지부품과 같은 점을 중심으로 하여 서로 동심상으로 간격을 두고 배치되며, 그중의 1개가상기지지부품의둘레틀부설치되어있는것을특징으로 하는매엽식 처리장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 지지부품의 둘레틀부에 설치되어 있는 상기 가열수단의 외부틀의 최대길이가상기가스분출영역의최대길이와실질적동일한것을특징으로 하는매엽식 처리장치. [청구항 5] 제3항에 있어서,상기 지지부품의 둘레틀부에 설치된 상기 가열수단이상기지지부품의측벽면있는것을특징으로 하는매엽식 처리장치. [청구항 6] 제3항에 있어서,복수의 상기 가열수단을 따로 따로 독립하여 제어 가능한제어수단구비하는것을특징으로 하는매엽식 처리장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 제어수단이 상기 지지부품의 둘레틀부에 설치되어 있는 상기 가열수단에 의해 가열되는 부분의 온도가 다른 상기 가열수단에 의해 가열되는 부분의 온도보다보 높아지도록복수의상기가열수단제어하는것을특징으로 하는매엽식 처리장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 복수의 가스분출구멍이 상기 가스분출영역내에 단위면적당의 개구율이 실질적으로동일형성되어있는것을특징으로 하는매엽식 처리장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 복수의 가스분출구멍의 직경이 실질적으로 동일하며 상기 복수의 가스분출구멍이 상기 가스분출영역 내에 단위면적당의 수가 실질적으로동일형성되어있는것을특징으로 하는매엽식 처리장치. [청구항 10] 제8항 또는 제9항에 있어서,상기 복수의 가스분출구멍이 상기 가스분출영역 내에 실질적으로 동일한피치배열되어있는것을특징으로 하는매엽식 처리장치. [청구항 11] 제8항 또는 제9항에 있어서,복수의 가스분출구멍이井자형상배열되어있는것을특징으로 하는매엽식 처리장치. [청구항 12] 제8항 또는 제9항에 있어서,상기 복수의 가스분출구멍이 상기 가스분출영역 내에 동심원상으로 실질적으로 동일한 간격을 두고 배치된 가상의 원의 위에 나열하고, 또한 동일한 원의 위에 나열해 있는 가스분출구멍은 실질적으로 동일한 피치로 나열해 있으며, 또한 1개의 원의 위에 나열한 가스분출구멍의 갯수는 해당원의원주와정비례관계에있는것을특징으로 하는매엽식 처리장치. [청구항 13] 제1항에 있어서,상기 샤워헤드부의 내부가복수의가스실분할되어있는것을특징으로 하는매엽식 처리장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 복수의 가스실에 처리가스를 공급하는처리가스공급계따로따로접속되어있는것을특징으로 하는매엽식 처리장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 복수의 가열수단이 상기 지지부품과 동일한 점을 중심으로 하여 서로 동심상으로간격배치되어있는것을특징으로 하는매엽식 처리장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 복수의 가열수단 중 1개가상기지지부품의둘레틀부설치되어있는것을특징으로 하는매엽식 처리장치. [청구항 18] 제16항에 있어서,상기 지지부품의 둘레틀부에 설치된 상기 가열수단이상기지지부품의측벽면있는것을특징으로 하는매엽식 처리장치. [청구항 19] 제15항에 있어서,상기 샤워헤드부의 상기 지지부품에 대향하는 면 중 상기 복수의 가스분출구멍이 형성된 가스분출영역의 최대길이가 상기 처리가스가 반응을 일으키는 온도 이상으로 상기 가열수단으로 가열된가스반응영역의최대길이와실질적동일한것을특징으로 하는매엽식 처리장치. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 가스분출영역의 최대길이가상기지지부품의최대길이와실질적동일한것을특징으로 하는매엽식 처리장치. [청구항 21] 제19항에 있어서,상기 지지부품의 둘레틀부에 설치되어 있는 상기 가열수단의 외부틀의 최대길이가상기가스분출영역의최대길이와실질적동일한것을특징으로 하는매엽식 처리장치. [청구항 22] 제17항에 있어서,상기 제어수단이 상기 지지부품의 둘레틀부에 설치되어 있는 상기 가열수단에 의해 가열되는 부분의 온도가 다른 상기 가열수단에 의해 가열되는 부분의 온도보다도 높아지도록복수의상기가열수단제어하는것을특징으로 하는매엽식 처리장치. [청구항 23] 제15항에 있어서,상기 복수의 가스분출구멍이 상기 가스분출영역 내에 단위면적당의 개구율이 실질적으로동일형성되어있는것을특징으로 하는매엽식 처리장치. [청구항 24] 제23항에 있어서,상기 복수의 가스분출구멍의 직경이 실질적으로 동일하며, 상기 복수의 가스분출구멍이 상기 가스분출영역 내에 단위면적당의 수가 실질적으로동일형성되어있는것을특징으로 하는매엽식 처리장치. [청구항 25] 제23항 또는 제24항에 있어서,상기 복수의 가스분출구멍이 상기 가스분출영역 내에 실질적으로 동일한피치배열되어있는것을특징으로 하는매엽식 처리장치. [청구항 26] 제23항 또는 제24항에 있어서,복수의 가스분출구멍이井자형상배열되어있는것을특징으로 하는매엽식 처리장치. [청구항 27] 제23항 또는 제24항에 있어서,상기 복수의 가스분출구멍이 상기 가스분출영역 내에 동심원상으로 실질적으로 동일한 간격을 두고 배치된 가상의 원의 위에 나열하고, 또한 동일한 원의 위에 나열해 있는 가스분출구멍은 실질적으로 동일한 피치로 나열해 있으며, 또한 1개의 원의 위에 나열한 가스분출구멍의 갯수는 해당원의원주와정비례관계에있는것을특징으로 하는매엽식 처리장치. [청구항 28] 제15항에 있어서,상기 샤워헤드부의 내부가복수의가스실분할되어있는것을특징으로 하는매엽식 처리장치. [청구항 29] 제28항에 있어서,상기 복수의 가스실에 처리가스를 공급하는처리가스공급계따로접속되어있는것을특징으로 하는매엽식 처리장치.