기판처리장치 document_id 1019960032496

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 기판반송기가 상기 기판을 실질적으로 수평방향으로 반송가능한기판반송기인것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 3] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 기밀부재가 탄성체로 구성되어 있고, 상기 접속부재가 상기 기밀부재에 의해 피복되어 있고, 상기 접속부재가 상기 기밀부재내를 이동가능하고, 상기 기밀부재의 일단부가 상기 소정면과 진공적으로 기밀하게 접속되어 있고, 상기 기밀부재의 타단부가 상기 접속부재와 진공적으로 기밀하게접속되어있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 기밀부재가벨로우즈인것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 5] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 고정부가 나사축이고, 상기 승강부는 너트를 구비하고, 상기 나사축과 상기 너트에 의해 볼나사구성하고있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 기판반송실의 소정면이 상기 기판반송실의 저면이고, 상기 볼 나사가상기기판반송실의하측설치되어있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 7] 제5항에 있어서,상기 기판반송실의 상기 소정면이 상기 기판반송실의 상부면이고, 상기 볼 나사가상기기판반송실의상측설치되어있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 8] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 기판반송기가 구동부와 상기 구동부에 의해 실질적으로 수평방향으로 이동가능한 기판반송부와 진공적으로 기밀성의 구동부 수용 용기를 구비하고 있고, 상기 구동부가상기구동부수용용기내수용되어있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 강체의 접속부재의 일단부와 상기 구동부 수용 용기의 상기 기판반송부측의 단부 근방이접속되어있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 10] 제8항에 있어서,상기 기판반송실의 상기 소정면이 상기 기판반송실의 저면 및 상부면의 어느 한쪽이고, 상기 기판 반송실의 상기 소정면이 상기 기판반송실의 저면인 경우에는 상기 저면에 상기 구동부 수용 용기의 외형에 맞춘 볼록부를 형성하고, 상기 기판 반송실의 상기 소정면이 상기 기판반송실의 상부면인 경우에는 상기 상면부에 상기 구동부 수용 용기의 외형에 맞춘 볼록부를 형성하고, 상기 볼록부내에상기구동부수용용기를수용가능하게한것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 기판반송실의 상기 소정면이상기기판반송실저면인것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 12] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 기판수용실과 상기 기판반송실과의 사이에는 닫힌 경우에 상기 기판수용실과 상기 기판반송실과의 사이를 진공적으로 기밀하게 할 수 있고, 열린 경우에는 상기 기판이 그 내부를 통하여 이동가능한 제2 밸브가 설치되어 있고, 상기 기판수용실이 상기 기판반송실과 독립하여감압가능한것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 기판수용실의 상기 기판 반송실이 설치된 쪽과는 다른 쪽에 배치된 대기압부와, 상기 기판수용실과 상기 대기압부와의 사이에 설치되며 닫힌 경우에는 상기 기판 수용실과 상기 대기압부와의 사이를 진공적으로 기밀하게 할 수 있고, 열린 경우에는 상기 기판이 그 내부를 통하여 이동 가능한제3밸브를추가구비하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 14] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 기판반송실의 상기 제2 측벽에 다수의 기판수용실이 수직방향으로 적층되어 설치되어 있고, 상기 다수의 기판수용실과 상기 기판반송실과의 사이가 닫힌 경우에는 상기 다수의 기판수용실과 상기 기판반송실과의 사이를 각각 진공적으로 기밀하게 할 수 있고, 열린 경우에는 상기 기판이 그 내부를 통하여 이동 가능한 다수의 제4밸브가 각각 설치되어 있고, 상기 다수의 기판수용실의 각각이 다른 기판수용실과 독립해서 감압 가능하고, 상기 다수의 기판수용실의 각각과 상기 기판반송실이 상호 독립해서감압가능한것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 15] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 기판수용실의 상기 기판반송실이 형성된 쪽과는 다른쪽에 배치된 대기압부와, 상기 대기압부에 설치된 카셋 지지수단과, 상기 대기압부에 설치되며, 상기 카셋 지지수단에 지지되는 카셋과 상기 기판수용부와의 사이에서 상기 기판을 반송가능한기판반송수단을추가구비하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 기판처리실과, 상기 기판반송실과, 상기 기판수용실과, 상기 기판반송수단과 상기 카셋 지지수단을 수용하는하우징을추가구비하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 17] 제10항에 있어서,적어도 상기 기판 반송실과 상기 다수의 기판처리실과 상기 기판수용실을 수용하는 하우징을 추가로 구비하고, 상기 기판반송실의 상기 볼록부, 상기 승강수단 및 상기 접속부재의 적어도 일부가 상기 하우징으로 부터 돌출하여설치된것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 18] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 기판수용실에 설치된내열성의제1기판지지수단추가로가지는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 19] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 기판을 지지하며 상기 기판수용실내에 설치된 제1 기판지지수단과, 상기 기판을 지지하며 상기 기판처리실내에 설치된 제2 기판지지수단을 추가로 구비하고, 상기 제2 기판지지수단이 다수매의 기판을 지지가능하고, 상기 제1 기판 지지수단이 다수매의 기판을 지지가능하고, 상기 제1 기판지지수단에 지지되는 기판 사이의 피치가 상기 제2 기판지지수단에 의해 지지되는 기판 사이의 피치와 실질적으로 같은 것특징으로 하는기판처리장치. [청구항 20] 제15항에 있어서,상기 기판을 지지하도록 상기 기판 수용실내에 설치된 제1 기판지지수단과, 상기 기판을 지지하도록 상기 기판처리실내에 설치된 제2 기판지지수단을 추가로 구비하고, 상기 제2 기판지지수단이 다수매의 기판을 지지가능하고, 상기 제1 기판지지수단이 다수매의 기판을 지지가능하며, 상기 제1지지기판수단에 지지되는 기판사이의 피치가 상기 제2기판지지수단에 의해 지지되는 기판 사이의 피치와 실질적으로 같고, 상기 기판 반송 수단이 다수매의 상기 기판을 동시에 반송 가능하고, 상기다수매의기판사이의피치가변인것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 21] 제19항에 있어서,상기 기판반송기가 감압하에서 다수매의 상기 기판을 동시에반송가능한것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 22] 제18항에 있어서,상기 제1 기판지지수단이 상기 기판처리실의 각각에서 한번에 처리되는상기기판매수의적어도2배이상매수의기판을지지가능한것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 23] 제19항에 있어서,상기 제1 기판지지수단이 상기 제2 기판지지수단보다도적어도2배이상매수의기판을지지가능한것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 24] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 기판반송실의 상기 제1측벽과 상기 제2측벽이 상호 대향하고 있고, 상기 기판처리실과, 상기 기판반송실과, 상기 기판수용실이 실질적으로일직선상배치되어있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 25] 제24항에 있어서,상기 기판반송실이 평면도적으로는장방형상인것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 26] 제15항에 있어서,상기 카셋 지지수단이 상기 기판 수수실에 대해 상기 기판반송실과는반대측배치되어있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 27] 제3항에 있어서,상기 고정부가 나사축이고, 상기 승강부는 너트를 구비하고, 상기 나사축과 상기 너트에 의해 볼나사구성하고있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 28] 제4항에 있어서,상기 고정부가 나사축이고, 상기 승강부는 너트를 구비하고, 상기 나사축과 상기 너트에 의해 볼나사구성하고있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 29] 제27항에 있어서,상기 기판반송실의 소정면이 상기 기판반송실의 저면이고, 상기 볼 나사가상기기판반송실의하측설치되어있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 30] 제28항에 있어서,상기 기판반송실의 소정면이 상기 기판 반송실의 저면이고, 상기 볼 나사가상기기판반송실의하측설치되어있는것을특징으로 하는기판처리장치.