문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,2개의 동력 전달측인 타겟원판 구동용 모터축 및 타겟 구동용 모터축이 서로 평행하게구성된것을특징으로 하는펄스 레이저 증착장치용 멀티 타겟 구동장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,2개의 동력 전달축인 타겟원판 구동용 모터축 및 타겟 구동용 모터축이 서로 수직하게구성된것을특징으로 하는펄스 레이저 증착장치용 멀티 타겟 구동장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,구동축의 회전시 축의 중심에서의 흔들림을 없애고, 타겟 원판에 지지되었을 때 항상 수직을 유지할 수 있도록, 타겟 원판과 접촉하는 각각의 타겟 구동축의 전후에 각각 2개의 진공 베어링인 전방 타겟 구동축지지 베어링과 후방 타겟구동축지지베어링설치한것을특징으로 하는펄스 레이저 증착장치용 멀티 타겟 구동장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,구동축의 회전시 축의 중심에서의 흔들림을 없애고, 타겟 원판에 지지되었을 때 항상 수직을 유지할 수 있도록, 서로 일정간격 일격된 2개의 타겟 원판을 설치하고, 상기한 2개의 타겟 원판과의 접촉 부의에 진공 베어링인 전방 타겟 구동축 지지 베어링과 후방 타겟구동축지지베어링을각각1개씩설치한것을특징으로 하는펄스 레이저 증착 장치용 멀티 타겟 구동장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,홀더 고정용 스터브로부터 타겟 홀더를 분리하기 용이하게 하기 위하여, 고정용 스크류가 고정되는 타겟 홀더의 위치에 일단이 개방된스크류홈형성한것을특징으로 하는펄스 레이저 증착 장치용 멀티 타겟 구동장치.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기한 타겟 구동축 타단의 타겟 홀더 고정용 스터브의 후단에 부설되어 열원으로부터 장치를 보호하기 위한 방열판과, 그 일단은 타겟원판에 고정되고 타단은 상기한 방열판에 고정되어 방열판을 정 위치에 고정시키기 위한복수의간격유지용로드를추가포함하는것을특징으로 하는펄스 레이저 증측장치용 멀티 타겟 구동장치.
[청구항 8]
제1항에 있어서,열에 의한 구조물의 면형시 균일한 변형을 유도하기 위하여, 타겟 원판과 타겟원판 구동축을 동일 재질로 구성하고, 타겟 원판과 타겟 원판 구동축의 결합부를 용접이나 볼트 체결을 사용하여일체형구성한것을특징으로 하는펄스 레이저 증착장치용 멀티 타겟 구동장치.
[청구항 9]
제1항에 있어서,상기한 머리부 지지용 프레임은 일면이 개방된 원통형 또는 삼각 트러스형 구조로 형성하고, 프레임과 설치 프랜지의 결합부를 용접이나 볼트 체결을 사용하여일체형형성한것을특징으로 하는펄스 레이저 증착장치용 멀티 타겟 구동장치.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기한 프레임의 양단에 타겟원판 구동축을 지지할 수 있는지지 베어링을 타겟원판 구동축의 전방과 후방에적어도2개이상설치한것을특징으로 하는펄스 레이저 증착장치용 멀티 타겟 구동장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
펄스 레이저 증착장치용 멀티 타겟 구동장치에서 구동축 회전 시 축 중심의 흔들림을 방지하고 타겟 원판에 지지되었을 때 수직을 유지하기 위해 설치되는 베어링의 구성은 어떠한가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation구동축 회전 시 흔들림 방지 및 수직 유지를 위해 설치되는 베어링의 구성을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4와 5에서 흔들림 방지 및 수직 유지를 위한 베어링에 관한 기술적 특징을 추출한다.
- 구동축의 회전시 축의 중심에서의 흔들림을 없애고, 타겟 원판에 지지되었을 때 항상 수직을 유지할 수 있도록
- 타겟 원판과 접촉하는 각각의 타겟 구동축의 전후에 각각 2개의 진공 베어링인 전방 타겟 구동축지지 베어링과 후방 타겟구동축지지베어링설치
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3근거 선택
evidence_selection베어링의 구체적인 명칭과 구성이 명시된 청구항 4의 내용을 선택한다.
- 타겟 원판과 접촉하는 각각의 타겟 구동축의 전후에 각각 2개의 진공 베어링인 전방 타겟 구동축지지 베어링과 후방 타겟구동축지지베어링설치
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4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 바탕으로, 타겟 구동축의 전후에 전방 및 후방 타겟 구동축 지지 베어링이 각각 설치된다는 점을 연결한다.
- 타겟 원판과 접촉하는 각각의 타겟 구동축의 전후에 각각 2개의 진공 베어링인 전방 타겟 구동축지지 베어링과 후방 타겟구동축지지베어링설치
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 타겟 구동축의 전후에 각각 2개의 진공 베어링인 전방 타겟 구동축지지 베어링과 후방 타겟구동축지지베어링이 설치된다는 결론을 도출한다.
- 타겟 원판과 접촉하는 각각의 타겟 구동축의 전후에 각각 2개의 진공 베어링인 전방 타겟 구동축지지 베어링과 후방 타겟구동축지지베어링설치
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6답변 생성
answer_generation청구항의 문구를 그대로 사용하여 최종 답변을 생성한다.
- 타겟 원판과 접촉하는 각각의 타겟 구동축의 전후에 각각 2개의 진공 베어링인 전방 타겟 구동축지지 베어링과 후방 타겟구동축지지베어링설치
최종 답변 (final_answer)
타겟 원판과 접촉하는 각각의 타겟 구동축의 전후에 각각 2개의 진공 베어링인 전방 타겟 구동축지지 베어링과 후방 타겟구동축지지베어링이 설치된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
구동축의 흔들림 방지 및 수직 유지를 위해 타겟 구동축의 전후에 전방 및 후방 타겟 구동축 지지 베어링을 각각 설치하여 안정성을 확보하는 기술이다.