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감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 패턴의 형성방법 document_id 1019960038751

출원번호
1019960038751
분류
화학(C섹션)
문맥 (context)
[청구항1] 광경화성 고분자, 감광제 및 순수를 포함하는 감광성 수지 조성물에 있어서, 상기 광경화성 고분자를 기준으로 하여 0.1 내지 20중량%의 아질산 금속염을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물 [청구항2] 제1항에 있어서,상기 광경화성 고분자가 폴리(아크릴아미드-코-디아세콘아크릴아미드) 및 폴리비닐피롤리딘으로 이루어진군선택되는것을특징으로 하는감광성 수지 조성물. [청구항3] 제1항에 있어서,상기 아질산 금속염이 아질산나트륨, 아질산칼륨, 아질산암모늄 및 아질산마그네슘으로 이루어진군선택되는것을특징으로 하는감광성 수지 조성물. [청구항4] 제1항에 있어서,상기 감광제가 4,4'-디아지도-2,2'-스틸벤설포네이트 소듐염, 4,4'-디아조-2,2'-디벤잘아세톤 디설포네이트 디소듐염, 2,5-비스(4-아지도-2-설포벤질리덴)사이클로펜타논 디소듐염 및 4,4'-디아지도-2,2'-디시나밀리덴아세톤 술폰산염으로 이루어진 군으로부터 선택된비스아지드화계감광제인것을특징으로 하는감광성 수지 조성물. [청구항5] 제1항에 있어서,상기 감광제는 상기 광경화성 고분자에 대하여5내지20중량인것을특징으로 하는감광성 수지 조성물.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
감광성 수지 조성물의 구성 성분은 무엇이며, 아질산 금속염의 함량 조건과 감광제의 종류 및 함량 조건은 각각 어떻게 정의되어 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    감광성 수지 조성물의 구성 성분, 아질산 금속염의 함량, 감광제의 종류 및 함량 조건을 모두 추출하여 정리해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 1, 4, 5에서 기본 성분, 감광제의 종류, 함량 정보를 추출한다.

    • 광경화성 고분자, 감광제 및 순수를 포함하는 감광성 수지 조성물
    • 0.1 내지 20중량%의 아질산 금속염
    • 4,4'-디아지도-2,2'-스틸벤설포네이트 소듐염, 4,4'-디아조-2,2'-디벤잘아세톤 디설포네이트 디소듐염, 2,5-비스(4-아지도-2-설포벤질리덴)사이클로펜타논 디소듐염 및 4,4'-디아지도-2,2'-디시나밀리덴아세톤 술폰산염으로 이루어진 군으로부터 선택된비스아지드화계감광제
    • 상기 감광제는 상기 광경화성 고분자에 대하여5내지20중량
  3. 3근거 선택evidence_selection

    질문에서 요구하는 아질산 금속염 함량(청구항 1), 감광제 종류(청구항 4), 감광제 함량(청구항 5)에 해당하는 근거를 선택한다.

    • 0.1 내지 20중량%의 아질산 금속염
    • 4,4'-디아지도-2,2'-스틸벤설포네이트 소듐염, 4,4'-디아조-2,2'-디벤잘아세톤 디설포네이트 디소듐염, 2,5-비스(4-아지도-2-설포벤질리덴)사이클로펜타논 디소듐염 및 4,4'-디아지도-2,2'-디시나밀리덴아세톤 술폰산염으로 이루어진 군으로부터 선택된비스아지드화계감광제
    • 상기 감광제는 상기 광경화성 고분자에 대하여5내지20중량
  4. 4논리 통합logical_integration

    추출된 정보를 구성 성분, 아질산 금속염 조건, 감광제 조건으로 분류하여 통합한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    조성물은 광경화성 고분자, 감광제, 순수, 아질산 금속염으로 구성되며, 아질산 금속염은 0.1~20중량%, 감광제는 특정 비스아지드화계이며 5~20중량%임을 도출한다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 답변하기 위해 구조화된 형식으로 최종 답변을 작성한다.

최종 답변 (final_answer)
감광성 수지 조성물의 구성 및 조건은 다음과 같다. 1. 구성 성분: 광경화성 고분자, 감광제, 순수, 아질산 금속염 2. 아질산 금속염 함량: 광경화성 고분자 기준 0.1 내지 20중량% 3. 감광제 종류: 4,4'-디아지도-2,2'-스틸벤설포네이트 소듐염, 4,4'-디아조-2,2'-디벤잘아세톤 디설포네이트 디소듐염, 2,5-비스(4-아지도-2-설포벤질리덴)사이클로펜타논 디소듐염 및 4,4'-디아지도-2,2'-디시나밀리덴아세톤 술폰산염으로 이루어진 군으로부터 선택된 비스아지드화계 감광제 4. 감광제 함량: 광경화성 고분자 대비 5 내지 20중량
핵심 해석 (core_interpretation)
감광성 수지 조성물은 광경화성 고분자, 감광제, 순수 및 특정 함량의 아질산 금속염으로 구성되며, 감광제는 특정 비스아지드화계 화합물 중 하나를 사용하고 광경화성 고분자 대비 일정 중량비를 가진다.