문맥 (context)
[청구항 2]
청구항 1에 있어서,상기 보조전극은, 상기 가스공급부에 부착되어 상기 기판의 방향에 향하여 연설된 원통부와, 이 원통부의 선단개구부의 주위에지에 배설된콜러부로이루어지는것을특징으로 하는열cvd장치 클리닝용 전극유니트.
[청구항 3]
청구항 1에 있어서,상기 보조전극의 재료가내식성금속재료인것을특징으로 하는열cvd장치의 클리닝용 전극유니트.
[청구항 4]
청구항 3에 있어서,상기 보조전극의 상기 원통부의 반경이상기기판의반경이하인것을특징으로 하는열 cvd장치의 클리닝용 전극유니트.
[청구항 5]
청구항 2에 있어서,상기 보조전극의 상기 콜러부의 경방향의 길이는, 상기 기판지지체 및 상기 실드부재에 부착한상기막의경방향의부착범위이상길이인것을특징으로 하는열cvd장치의 클리닝용 전극유니트.
[청구항 6]
청구항 1에 있어서,상기 보조전극은, 상기 막에 대향하는 링부와, 이 링부를 지지하는 지주(支柱이루어지는것을특징으로 하는열cvd장치의 클리닝용 전극유니트.
[청구항 7]
청구항 6에 있어서,상기 링부와 상기 지주의 내부에, 냉각수가 흐르는냉각통로배설되는것을특징으로 하는열cvd장치의 클리닝용 전극유니트.
[청구항 8]
청구항 6에 있어서,상기 링부와 상기 지주의 재료가내식성금속재료인것을특징으로 하는열cvd장치의 클리닝용 전극유니트.
[청구항 9]
청구항 6에 있어서,상기 링부의 내경이상기기판의반경이하인것을특징으로 하는열cvd장치의 클리닝용 전극유니트.
[청구항 10]
청구항 6에 있어서,상기 링부의 경방향의 길이는, 상기 기판지지체 및 상기 실드부재에 부착한상기막의경방향의부착범위이상길이인것을특징으로 하는열cvd장치의 클리닝용 전극유니트.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
열 CVD 장치 클리닝용 전극 유니트에서, 보조전극이 원통부와 콜러부로 구성될 경우 콜러부의 경방향 길이는 어떠한 조건을 만족해야 하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation보조전극이 원통부와 콜러부로 구성될 때, 콜러부의 경방향 길이에 대한 조건을 찾는다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 보조전극이 원통부와 콜러부로 구성됨을 확인하고, 청구항 5에서 콜러부의 경방향 길이에 관한 내용을 추출한다.
- 상기 보조전극은, 상기 가스공급부에 부착되어 상기 기판의 방향에 향하여 연설된 원통부와, 이 원통부의 선단개구부의 주위에지에 배설된콜러부로이루어지는것
- 상기 보조전극의 상기 콜러부의 경방향의 길이는, 상기 기판지지체 및 상기 실드부재에 부착한상기막의경방향의부착범위이상길이인것
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3근거 선택
evidence_selection콜러부의 경방향 길이에 대한 구체적인 조건이 명시된 청구항 5의 구절을 선택한다.
- 상기 보조전극의 상기 콜러부의 경방향의 길이는, 상기 기판지지체 및 상기 실드부재에 부착한상기막의경방향의부착범위이상길이인것
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4논리 통합
logical_integration보조전극의 구성 요소 중 콜러부의 경방향 길이는 기판지지체 및 실드부재에 부착된 막의 경방향 부착범위 이상이어야 한다는 관계를 도출한다.
- 상기 보조전극의 상기 콜러부의 경방향의 길이는, 상기 기판지지체 및 상기 실드부재에 부착한상기막의경방향의부착범위이상길이인것
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 콜러부의 경방향 길이는 상기 기판지지체 및 상기 실드부재에 부착한 상기 막의 경방향의 부착범위 이상이어야 함을 정리한다.
- 상기 보조전극의 상기 콜러부의 경방향의 길이는, 상기 기판지지체 및 상기 실드부재에 부착한상기막의경방향의부착범위이상길이인것
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 보조전극의 상기 콜러부의 경방향의 길이는, 상기 기판지지체 및 상기 실드부재에 부착한상기막의경방향의부착범위이상길이인것
최종 답변 (final_answer)
상기 보조전극의 상기 콜러부의 경방향의 길이는, 상기 기판지지체 및 상기 실드부재에 부착한 상기 막의 경방향의 부착범위 이상 길이여야 한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
열 CVD 장치 클리닝용 전극 유니트에서 보조전극의 콜러부가 기판지지체 및 실드부재에 형성된 막의 경방향 부착 범위를 충분히 커버할 수 있도록 그 길이를 규정하고 있다.