다층의 프린트회로 기판용의 제조라인 document_id 1019960041216

[청구항 2] 제 1항에 있어서,특정의 처리부가 노광처리부이고 공통영역이 클린영역인제조라인. [청구항 3] 제 1항에 있어서,특정의 처리부가 급수와 배수를 요하는 습식처리부이고, 공통영역은 습식처리부의 각각의 공급과 배출을 공통으로 처리할 수 있는 급수 및 배수시스템구성되는제조라인. [청구항 4] 제 1항에 있어서,필드내에 배치된 다수의 서브라인으로 분할되고, 특정의 처리부가 적어도 2개의 서브라인에 개별적배치되는제조라인. [청구항 5] 제 4항에 있어서,서브라인의 입구와 출구가 필드의 국소영역배치되는제조라인. [청구항 6] 제 5항에 있어서,서브라인의 각각이 입구부와 출구부사이에서 거의 u자형형성되는제조라인. [청구항 7] 제 4항에 있어서,특정의 처리부를 포함하는 서브라인중 하나가 기판상에 금속호일을 패턴화하고 패턴화된 금속호일상에 절연막을 통하여 다른 금속호일을 형성하는 단계를 반복할 수가 있고, 서브라인중 다른 하나는 기판상에 관통공을 형성하고 금속호일을 패턴화하여 기판을 프린트회로기판완성하는제조라인. [청구항 8] 제 1항에 있어서,기판이 그 표면에 배치된 금속호일을 갖고, 직렬로 배치된 다수의 처리부가 기판의 표면상의 금속호일을 조면처리하는 연마처리부를 포함하고, 이 연마 처리부는 기판을 반송하는 반송롤러, 기판의 위치를 검출하는 센서, 반송된 기판의 표면과 접촉된 상태에서 기판의 반송방향에 대하여 각각 순방향과 역방향으로 회전시키는 제1 및 제2 연마롤러, 기판의 후단이 제1 연마롤러에서 해제되기 전에 제1 연마롤러를 일시 정지하고 기판의 후단이 해제된 후에 제 1 연마롤러를 구동하고, 기판의 선단이 제2 연마롤러와 접촉되기 전에 제2 연마롤러를 일시 정지하고, 기판의 선단이 접촉된 후에 제2 연마롤러를 구동하는 제어기구성되는제조라인. [청구항 9] 제 1항에 있어서,직렬로 배치된 다수의 처리부가 기판의 표면상에 포토레지스트막을 형성하는 침지도포부를 포함하고, 이 침지도포부는 레지스트액을 저장하는 레지스트조(槽)와 기판의 표면을 수직으로 하여 기판을 레지스트액에 침지하여 위로 올리는 승강기를 구비하되, 이 승강기는 레지스트액에 침지한 기판을 도중까지 끌어올리고 다시 하강시킨 후에, 레지스트액에서기판인출하도록구성되는제조라인. [청구항 10] 제 1항에 있어서,기판이 그 표면상에 배치된 구리호일를 갖고, 직렬로 배치된 다수의 처리부가 구리호일의 표면을 흑색산화처리하는 산화처리부를 포함하고 이 산화처리부가 기판을 산화처리액중에서 침지하면서 수평으로 연속 운송하는 액조(液구비하는제조라인. [청구항 11] 제 10항에 있어서,산화처리부가 기판의 표면을 물로 적시고 기판을 액조에 순차적으로 공급하는 전처리부더 구성되는제조라인. [청구항 12] 제 10항에 있어서,직렬로 배치된 다수의 처리부가 산화처리부에 다음의 구성부로서 산화처리부에서 처리된 기판의 표면상에 액상수지를 도포하여 절연층을 형성하는 절연층형성부를 포함하고, 이 절연층형성부는 기판을 탑재하여 반송하는 테이블과 반송방향으로 기판의 크기에 대응하는 길이로 기판의 표면상의 밴드(band)형 액상수지를 토출하는 토출헤드로 구성되고, 토출된 수지가 반송방향과 직교하는 방향으로 기판의 크기에 대응하는 폭갖는제조라인. [청구항 13] 제 1항에 있어서,직렬로 배치된 다수의 처리부가 기판의 표면상에 포토레지스트막을 형성하는 분사도포부를 포함하고, 이 분사도포부가 기판을 각각 반입(搬入)하고 반출(搬出)하는 반입 및 반출부, 반입부에서 반입된 기판을, 도전성을 갖는 서스펜더(suspender)로 기판을 매달고 반입부로 복귀시키면서 반출부로의 반송동작을 반복시키는 서스펜션(susoension) 반송부, 반입부에서 반출부로 반송된기판에 서스팬더를 통하여 전압을 인가하여 분사에 의해 액상 레지스트를 정전도포하는 정전도포부, 및 반출부에서 반입부로 복귀되는 서스펜더를 세정하는 세정부구성되는제조라인. [청구항 14] 제 1항에 있어서,직렬로 배치된 다수의 처리부가 기판상에 관통공을 형성하는 처리부와 기판의 관통공에 충전재가 충전되는 충전부를 포함하고, 이 충전부는 기판을 수평으로 지지하여 반송하는 반송부, 기판의 하면에서 충전재를 도포하여 관통공에 충전재를 충전하는 도포롤러, 및 기판의 상면에 관통공을 통하여 토출한 불필요한 충전재와 하면에 도포된 불필요한 충전재를 각각 제거하는 상부스퀴지(squeegee)와 하부 스퀴지로 구성되며, 하부 스퀴지가 기판의 반송방향으로 상부 스퀴지의 하류측배치되는제조라인. [청구항 15] 제 2항에 있어서,직렬로 배치된 다수의 처리부가 기판의 종류를 나타내는 식별자를 기판에 미리 부가하는 식별자부가부를 포함하고, 노광처리부의 이전 구성부로서와 식별자부가부의 다음의 구성부로서 식별자를 판독하는 식별부포함하는제조라인. [청구항 16] 제 15항에 있어서,식별자가 기판상에 형성된 관통공으로 구성되어, 시각검사에 의해 기판의 종류를 식별할 수 있고광학적판독수단에의해서식별할 수가 있는 제조라인. [청구항 17] 제 1항에 있어서,직렬로 배치된 다수의 처리부가 표면에 수지층이 배치된 다수의 기판상으로 금속호일을 연속적으로 공급하여 각 기판상에 금속호일을 적층하는 적층처리부를 포함하고, 이 적층처리부가 기판상으로 연속적으로 공급된 금속호일의 선단을 접합하는 접합부, 기판의 길이에 따라 연속적으로 공급된 금속호일을 절단하는 절단부, 및 기판상에 절단된 금속호일을 접합하는 가압부구성되는제조라인. [청구항 19] 제 18항에 있어서,스토크부는 1개의 기판이 제조라인을 완전히 통하는 데 소요되는 시간이 t라고 할때, 처리의 시작에서 약 t/2시간후에 기판이 도달하는 위치배치되는제조라인. [청구항 20] 제 18항 또는 제 19항에 있어서,스토크부가 각각 기판을 별개로 저장하고 배출할 수 있는 다수의 서브스토크구성되는제조라인.