문맥 (context)
[청구항1]
챔버와, 상기 챔버 내부에 설치된 인너 벽과, 상기 인너 벽 외부에 설치된 엘리베이터와, 상기 엘리베이터에 연결되며 상기 인너 벽 내부에 위치하여 상기 엘리베이터에 의해 승하강되는 서셉터 암과, 상기 서셉터 암 상부에 설치된 서셉터와, 상기 서셉터 하부에 설치된 서셉터 조절부와, 상기 인너 벽 상부에 설치된 수평바를 구비한 레벨 툴을 포함하는 절연막 증착 설비에 있어서,
상기 레벨 툴은 상기 서셉터의 평형상태를 감지하는 감지수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 서셉터의 평형도를 향상시키기 위한 절연막 증착 설비
[청구항2]
제 2 항에 있어서,상기 감지수단은 상기 수평바 하부면에 설치되고 상기 서셉터와의 접촉력에 의해서 이동가능한 적어도 2개 이상의 접촉 핀과, 상기 접촉 핀의 이동 길이를 디스플레이시키는 제어부와, 상기 이동길이를 표시하는 디스플레이부로 구성된 것을 특징으로 하는 서셉터의 평형도향상시키기 위한절연막 증착 설비.
[청구항3]
제 2 항에 있어서,상기 접촉 핀은 푸쉬 버튼인 것을 특징으로 하는 서셉터의 평형도향상시키기 위한절연막 증착 설비.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
서셉터의 평형 상태를 감지하는 레벨 툴 내의 감지수단은 어떠한 구성요소들로 이루어져 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation레벨 툴의 감지수단을 구성하는 요소들을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 감지수단의 구성을 설명하는 문구를 추출한다.
- 상기 감지수단은 상기 수평바 하부면에 설치되고 상기 서셉터와의 접촉력에 의해서 이동가능한 적어도 2개 이상의 접촉 핀과, 상기 접촉 핀의 이동 길이를 디스플레이시키는 제어부와, 상기 이동길이를 표시하는 디스플레이부로 구성된 것을 특징으로 하는
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3근거 선택
evidence_selection감지수단의 구성요소인 접촉 핀, 제어부, 디스플레이부를 특정한다.
- 적어도 2개 이상의 접촉 핀
- 제어부
- 디스플레이부
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4논리 통합
logical_integration추출된 세 가지 구성요소가 감지수단을 이루는 핵심 요소임을 확인한다.
- 상기 감지수단은 상기 수평바 하부면에 설치되고 상기 서셉터와의 접촉력에 의해서 이동가능한 적어도 2개 이상의 접촉 핀과, 상기 접촉 핀의 이동 길이를 디스플레이시키는 제어부와, 상기 이동길이를 표시하는 디스플레이부로 구성된 것을 특징으로 하는
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5결론 도출
conclusion_formulation감지수단은 접촉 핀, 제어부, 디스플레이부로 구성된다는 결론을 도출한다.
- 접촉 핀과, 상기 접촉 핀의 이동 길이를 디스플레이시키는 제어부와, 상기 이동길이를 표시하는 디스플레이부로 구성된
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 리스트 형식으로 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
감지수단은 다음과 같은 구성요소로 이루어져 있다.
1. 상기 수평바 하부면에 설치되고 서셉터와의 접촉력에 의해 이동 가능한 적어도 2개 이상의 접촉 핀
2. 상기 접촉 핀의 이동 길이를 디스플레이시키는 제어부
3. 상기 이동 길이를 표시하는 디스플레이부
핵심 해석 (core_interpretation)
레벨 툴의 감지수단은 접촉 핀, 제어부, 디스플레이부의 세 가지 핵심 요소로 구성되어 서셉터의 평형 상태를 감지한다.