문맥 (context)
[청구항1]
확산공정이 진행되는 원통형의 석영관, 상기 석영관과 이격되면서 상기 석영관을 감싸고 있는 원통형의 히터, 상기 히터 양쪽 가장자리부와 연결되어 상기 석영관과 외부로 이격되면서 상기 석영관을 감싸고 있는 한쌍의 원통형 베스티불 블럭, 상기 히터와 상기 석영관 사이의 이격된 공간을 채우는 석영관 패드가 구비된 반도체 제조용 수평형 확산로에 있어서,
상기 베스티불 블럭 내측면에는 상기 석영관을 상기 히터의 중심부에 위치하도록 지지하는 석영관 지지대가 설치됨을 특징으로 하는 반도체 제조용 수평형 확산로
[청구항2]
제 1 항에 있어서,상기 석영관 지지대는석영재질제작됨을특징으로 하는상기 반도체 제조용 수평형 확산로.
제1항에 있어서,상기 석영관 지지대는석영재질제작됨을특징으로 하는상기 반도체 제조용 수평형 확산로.
[청구항3]
제 1 항에 있어서,상기 석영관 지지대의 하부는 상기 베스티불 블럭 표면에 삽입되도록제작됨을특징으로 하는상기 반도체 제조용 수평형 확산로.
제1항에 있어서,상기 석영관 지지대의 하부는 상기 베스티불 블럭 표면에 삽입되도록제작됨을특징으로 하는상기 반도체 제조용 수평형 확산로.
[청구항4]
제 1 항에 있어서,상기 석영관 지지대 표면에는 상기 석영관의 외부 표면과 밀착될 수 있도록라운딩처리됨을특징으로 하는상기 반도체 제조용 수평형 확산로.
제1항에 있어서,상기 석영관 지지대 표면에는 상기 석영관의 외부 표면과 밀착될 수 있도록라운딩처리됨을특징으로 하는상기 반도체 제조용 수평형 확산로.
[청구항5]
제 1 항에 있어서,상기 석영관 지지대는 일정한 간격으로2개설치됨을특징으로 하는상기 반도체 제조용 수평형 확산로
제1항에 있어서,상기 석영관 지지대는 일정한 간격으로2개설치됨을특징으로 하는상기 반도체 제조용 수평형 확산로.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 제조용 수평형 확산로에 설치되는 석영관 지지대의 재질, 설치 위치 및 형태, 그리고 설치 수량과 관련된 특징은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation석영관 지지대의 재질, 위치, 형태, 수량에 관한 정보를 추출하여 정리해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction각 청구항에서 지지대의 재질(청구항 2), 하부 구조(청구항 3), 표면 처리(청구항 4), 설치 수량(청구항 5) 정보를 추출한다.
- 석영관 지지대는석영재질제작됨
- 석영관 지지대의 하부는 상기 베스티불 블럭 표면에 삽입되도록제작됨
- 석영관 지지대 표면에는 상기 석영관의 외부 표면과 밀착될 수 있도록라운딩처리됨
- 석영관 지지대는 일정한 간격으로2개설치됨
-
3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 재질, 위치/형태, 수량에 부합하는 근거 문구들을 선별한다.
- 석영재질
- 베스티불 블럭 표면에 삽입
- 라운딩처리됨
- 2개설치됨
-
4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 재질, 설치 방식(하부 및 표면), 수량으로 분류하여 통합한다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation석영관 지지대는 석영 재질이며, 하부는 베스티불 블럭 표면에 삽입되고 표면은 라운딩 처리되어 석영관과 밀착되며, 2개가 일정한 간격으로 설치된다는 결론을 도출한다.
- 석영관 지지대는석영재질제작됨
- 하부는 상기 베스티불 블럭 표면에 삽입되도록제작됨
- 표면에는 상기 석영관의 외부 표면과 밀착될 수 있도록라운딩처리됨
- 일정한 간격으로2개설치됨
-
6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 리스트 형식으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
석영관 지지대의 특징은 다음과 같다.
1. 재질: 석영 재질로 제작된다.
2. 설치 및 형태: 지지대의 하부는 베스티불 블럭 표면에 삽입되도록 제작되며, 표면은 석영관의 외부 표면과 밀착될 수 있도록 라운딩 처리되어 있다.
3. 설치 수량: 일정한 간격으로 2개가 설치된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
석영관 지지대는 석영 재질로, 베스티불 블럭에 삽입되는 하부 구조와 석영관 밀착을 위한 라운딩된 표면을 가지며, 2개가 일정 간격으로 배치된다.