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반도체 클린룸의 기류조정장치 document_id 1019960049285

출원번호
1019960049285
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 개구비 조절수단은, 상기 셔터 고정판에 상기 셔터 이동판의 이동방향을 따라 길게 연장형성된 제4 관통홀을 관통하며 상기 셔터 이동판의 하부측에 조립되는 래크; 및상기 그레이팅에 형성된 제1 관통홀, 상기 셔터 이동판에 그 이동방향에 따라 길게 연장형성된 제2 관통홀 및 상기 셔터 고정판에서 상기 제4 관통홀에 근접되어 형성된 제3 관통홀을 관통하며, 그 말단부에 상기 래크와 대응하는 피니온을 구비한개구비조절나사구비하여이루어진것을특징으로 하는상기 반도체 클린룸의 기류조정장치. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 개구비 조절나사는 말단부에 형성된 상기 피니온이나사본체조립식으로된것을특징으로 하는상기 반도체 클린룸의 기류조정장치. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 셔터 고정판의 제3 관통홀에 걸리도록 상기 피니온의 외경이 상기 제3 관통홀의 직경보다 큰 것특징으로 하는상기 반도체 클린룸의 기류조정장치. [청구항 5] 제 2 항에 있어서,레이팅에 형성된 제1 관통홀은 그 중간에 단턱이 형성되어 있으며, 상기 개구비 조절나사의 나사머리가 상기 그레이팅의 표면에 노출되지 않고 상기 단턱된것을특징으로 하는상기 반도체 클린룸의 기류조정장치. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기 개구비 조절나사의 나사머리에는일자홈또는십자홈형성되어있는것을특징으로 하는상기 반도체 클린룸의 기류조정장치. [청구항 7] 제 2 항에 있어서,상기 셔터 이동판의 제1 개구부와 셔터 고정판의 제2 개구부는 각 판에 매트릭스 형태로 서로 대응하여 배치되어각기장방형으로된것을특징으로 하는상기 반도체 클린룸의 기류조정장치. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 래크가 상기 셔터 고정판에 연장형성된 제4 관통홀의 일단에 위치할 때 상기 제1 개구부와 제2 개구부가 서로 일치하여 셔터가 오픈되며, 상기 제4 관통홀의 타단에 위치할 때 상기 제1 개구부와 제2 개구부의 위치가 어긋나셔터클로즈되는것을특징으로 하는상기 반도체 클린룸의 기류조정장치. [청구항 9] 제 2 항에 있어서,상기 셔터 고정판상에는 복수개의 가이드돌기가 형성되며, 상기 가이드돌기에 대응하여 상기 셔터 이동판에는 가이드홈이 형성되어, 상기 가이드돌기가 상기 가이드홈에 삽입되어 셔터 이동판의 이동을 안내하도록구성된것을특징으로 하는상기 반도체 클린룸의 기류조정장치. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 가이드홈은 상기 셔터 고정판의 제4 관통홀과 같은 방향으로 같은 길이만큼 길게연장형성된것을특징으로 하는상기 반도체 클린룸의 기류조정장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기류조정장치의 개구비 조절수단은 어떠한 구성요소들로 이루어져 있으며, 래크와 피니온은 각각 어떤 관통홀들을 관통하며 조립되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    기류조정장치의 개구비 조절수단의 구성요소와 래크 및 피니온이 관통하는 관통홀의 종류를 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 2에서 개구비 조절수단의 구성요소인 래크와 개구비 조절나사(피니온 포함)를 추출하고, 각 부품이 관통하는 관통홀 정보를 추출한다.

    • 상기 개구비 조절수단은, 상기 셔터 고정판에 상기 셔터 이동판의 이동방향을 따라 길게 연장형성된 제4 관통홀을 관통하며 상기 셔터 이동판의 하부측에 조립되는 래크; 및상기 그레이팅에 형성된 제1 관통홀, 상기 셔터 이동판에 그 이동방향에 따라 길게 연장형성된 제2 관통홀 및 상기 셔터 고정판에서 상기 제4 관통홀에 근접되어 형성된 제3 관통홀을 관통하며, 그 말단부에 상기 래크와 대응하는 피니온을 구비한개구비조절나사구비하여이루어진것
  3. 3근거 선택evidence_selection

    래크가 관통하는 제4 관통홀과, 피니온을 포함한 개구비 조절나사가 관통하는 제1, 제2, 제3 관통홀에 관한 구절을 선택한다.

    • 제4 관통홀을 관통하며 상기 셔터 이동판의 하부측에 조립되는 래크; 및상기 그레이팅에 형성된 제1 관통홀, 상기 셔터 이동판에 그 이동방향에 따라 길게 연장형성된 제2 관통홀 및 상기 셔터 고정판에서 상기 제4 관통홀에 근접되어 형성된 제3 관통홀을 관통하며, 그 말단부에 상기 래크와 대응하는 피니온을 구비한개구비조절나사
  4. 4논리 통합logical_integration

    개구비 조절수단은 래크와 개구비 조절나사로 구성되며, 래크는 제4 관통홀을, 개구비 조절나사(피니온)는 제1, 제2, 제3 관통홀을 관통함을 연결한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    질문에 따라 구성요소 리스트와 각 부품의 관통홀 정보를 정리하여 결론을 도출한다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    최종 답변을 리스트 형식으로 작성한다.

최종 답변 (final_answer)
1. 개구비 조절수단의 구성요소: 래크, 개구비 조절나사(피니온 구비) 2. 래크가 관통하는 관통홀: 제4 관통홀 3. 피니온(개구비 조절나사)이 관통하는 관통홀: 제1 관통홀, 제2 관통홀, 제3 관통홀
핵심 해석 (core_interpretation)
기류조정장치의 개구비를 조절하기 위해 래크와 피니온 구조를 사용하며, 각 부품이 셔터 고정판, 셔터 이동판, 그레이팅에 형성된 특정 관통홀들을 관통하여 조립되는 기계적 구성 관계를 나타냄.