문맥 (context)
[청구항1]
웨이퍼 도핑조의 일단에 상기 웨이퍼 도핑조와 연통되게 형성된 소오스 튜브와,
상기 소오스 튜브의 하부 일측에 소오스 튜브와 연통되게 형성된 가스 유입관과,
상기 가스 유입관에 착탈 가능하게 설치되어 불순물이 채워진 소오스 용기와,
상기 가스 유입관에 착탈 가능하게 설치되어 소오스 용기를 감싸는 커버와,
상기 커버 내벽에 설치되어 전원을 공급받아 발열하는 발열체와,
상기 소오스 튜브의 일단에 끼워져 발열체의 발열에 따라 증발된 불순물을 웨이퍼 도핑조내를 공급시키기 위해 캐리어 가스를 공급하는 캐리어 가스관으로 구성하여서 됨을 특징으로 하는 화학기상증착 장비의 불순물 공급장치
[청구항2]
제 1 항에 있어서,상기 가스 유입관에 제 1 마개를 나사 결합하고, 상기 제 1 마개에는 소오스 용기를 나사 결합함에 따라 상기 소오스 용기가 가스 유입관에 착탈 가능하게설치됨을특징으로 하는화학기상증착 장비의 불순물 공급장치.
제 1 항에 있어서,상기 가스 유입관에 제 1 마개를 나사 결합하고, 상기 제 1 마개에는 소오스용기를 나사 결합함에 따라 상기 소오스 용기가 가스 유입판에 착탈 가능하게설치됨을특징으로 하는화학기상증착 장비의 불순물 공급장치.
[청구항3]
제 1 항에 있어서,상기 제 1 마개와 소오스 용기 상단 사이에기밀부재끼워서특징으로 하는화학기상증착 장비의 불순물 공급장치.
제 1 항에 있어서,상기 제 1 마개와 소오스 용기 상단 사이에기밀부재끼워서특징으로 하는화학기상증착 장비의 불순물 공급장치.
[청구항4]
제 3 항에 있어서,상기 기밀부재는 그라포일특징으로 하는화학기상증착 장비의 불순물 공급장치.
제 3 항에 있어서,상기 기밀부재는 그라포일특징으로 하는화학기상증착 장비의 불순물 공급장치.
[청구항5]
제 1 항에 있어서,상기 가스 유입관에 제 2 마개를 나사 결합하고, 상기 제 2 마개에 커버를 나사 결합함에 따라 상기 커버가 가스 유입관에 착탈가능하게설치됨을특징으로 하는화학기상증착 장비의 불순물 공급장치.
제 1 항에 있어서,상기 가스 유입관에 제 2 마개를 나사 결합하고,상기 제 2 마개에 커버를 나사 결합함에 따라 상기 커버가 가스 유입관에 착탈가능하게설치됨을특징으로 하는화학기상증착 장비의 불순물 공급장치.
[청구항6]
제 1 항에 있어서,상기 소오스 용기의 하부에투입구마개를나사결합하여서특징으로 하는화학기상증착 장비의 불순물 공급장치.
제 1 항에 있어서,상기 소오스 용기의 하부에투입구마개를나사결합하여서특징으로 하는화학기상증착 장비의 불순물 공급장치.
[청구항7]
제 1 항에 있어서,커버내에적어도1개이상의열전대설치하여서특징으로 하는화학기상증착 장비의 불순물 공급장치.
제 1 항에 있어서,커버내에적어도1개이상의열전대설치하여서특징으로 하는화학기상증착 장비의 불순물 공급장치.
[청구항8]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 소오스 용기 및 제 1 마개는 스테인레스 재질특징으로 하는화학기상증착 장비의 불순물 공급장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 소오스 용기 및 제 1 마개는 스테인레스 재질특징으로 하는화학기상증착 장비의 불순물 공급장치.
[청구항9]
제 5 항에 있어서,상기 제 2 마개는 단열성 칼라임특징으로 하는화학기상증착 장비의 불순물 공급장치.
제 5 항에 있어서,상기 제 2 마개는 단열성 칼라임특징으로 하는화학기상증착 장비의 불순물 공급장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
소오스 용기가 가스 유입관에 착탈 가능하게 설치되기 위해 사용되는 결합 방식과 관련 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation소오스 용기가 가스 유입관에 착탈 가능하게 설치되는 메커니즘과 구성 요소를 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 가스 유입관, 제 1 마개, 소오스 용기 간의 결합 관계를 추출한다.
- 상기 가스 유입관에 제 1 마개를 나사 결합하고
- 상기 제 1 마개에는 소오스 용기를 나사 결합함에 따라
-
3근거 선택
evidence_selection나사 결합을 통해 착탈이 이루어진다는 핵심 문구를 선택한다.
- 상기 소오스 용기가 가스 유입관에 착탈 가능하게설치됨
-
4논리 통합
logical_integration가스 유입관에 제 1 마개가 나사 결합되고, 그 제 1 마개에 다시 소오스 용기가 나사 결합되는 구조임을 연결한다.
- 상기 가스 유입관에 제 1 마개를 나사 결합하고
- 상기 제 1 마개에는 소오스 용기를 나사 결합함
-
5결론 도출
conclusion_formulation결합 방식은 '나사 결합'이며, 구성 요소는 '가스 유입관', '제 1 마개', '소오스 용기'임을 도출한다.
- 상기 가스 유입관에 제 1 마개를 나사 결합하고
- 상기 제 1 마개에는 소오스 용기를 나사 결합함
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 답변을 작성한다.
- 상기 가스 유입관에 제 1 마개를 나사 결합하고, 상기 제 1 마개에는 소오스 용기를 나사 결합함
최종 답변 (final_answer)
소오스 용기는 가스 유입관에 제 1 마개를 나사 결합하고, 해당 제 1 마개에 소오스 용기를 다시 나사 결합하는 방식을 통해 가스 유입관에 착탈 가능하게 설치된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
가스 유입관과 소오스 용기 사이에 제 1 마개를 매개로 하여 나사 결합 구조를 형성함으로써 착탈 기능을 구현함.