직교도 측정방법과 스테이지 장치 및 노광장치 document_id 1019960055517

[청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기 스테이지가 제 3 방향으로 소정 거리 (l) 만큼 이동하였을 때에, 제 2 간섭계로부터 얻어진 제 2 축방향의 상기 스테이지의 이동량을 s로 하고, 제1 연산기가 직교도 오차(θ)를 상기 각도(β)를 이용하여, θ= tan-1 [ (lcosβ - s ) / lcosβ]로산출하는것을특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 7] 제 5 항에 있어서,상기 제 1 연산기가 이 연산기에 의해 계산된 직교도 오차(θ) 로부터 직교도 보정값을 구하고, 상기 제어계가 상기 보정값에 근거하여상기스테이지의2차원방향의이동제어하는것을특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 8] 제 5 항에 있어서,상기 제 1 간섭계의 출력, 상기 제 3 간섭계의 출력 및 상기 각도(β) 에 근거하여 상기 스테이지의 요잉각(ø)을 산출하는 제 2 연산기를 추가로 구비하며, 상기 제 1 연산기가 상기 제 1 간섭계의 출력, 상기 제 3 간섭계의 출력, 상기 각도(β), 및 상기 요잉각(ø)을 사용하여 기하학적인 계산에 의해 상기 제 1 및 제 2 간섭계의 이동거울의 직교도오차산출하는것을특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 스테이지가 제 3 방향으로 소정 거리 (l) 만큼 이동하였을 때에, 소정거리 (l) 의 상기 제 1 축방향성분을 d로 하고, 상기 제 1 간섭계의 계측값을 d'로 하였을 때에,요잉각구하는것을특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 10] 제 7 항에 있어서,상기 제 1 연산기가 이 연산기에 의해 계산된 직교도 오차(θ) 로부터 직교도 보정값을 구하고, 상기 제어계가 상기 보정값에 근거하여상기스테이지의2차원방향의이동제어하는것을특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 11] 제 8 항에 있어서,상기 반사면이제1간섭계용의이동거울의일부형성되어있는것을특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 12] 제 8 항에 있어서,상기 제 3축이 상기 제 1 간섭계로부터의 광빔과 제 2 간섭계로부터의광빔의광로의교점설정되어있는것을특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 14] 제 13 항에 있어서,상기 스테이지가 제 3 방향으로 소정 거리 (l) 만큼 이동하였을 때에, 제 2 간섭계로부터 얻어진 제 2 축방향의 상기 스테이지의 이동량을 s로 하고, 제1 연산기가 직교도 오차(θ)를 상기 각도(β)를 이용하여, θ= tan-1 [ (lcosβ - s ) / lcosβ]로산출하는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 15] 제 13 항에 있어서,상기 제 1 연산기가 이 연산기에 의해 계산된 직교도 오차(θ) 로부터 직교도 보정값을 구하고, 상기 제어계가 상기 보정값에 근거하여상기스테이지의2차원방향의이동제어하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 16] 제 13 항에 있어서,상기 제 1 간섭계의 출력, 상기 제 3 간섭계의 출력 및, 상기 각도(β) 에 근거하여 상기 스테이지의 요잉각(ø)을 산출하는 제 2 연산기를 추가로 구비하고, 상기 제 1 연산기가 상기 제 1 간섭계의 출력, 상기 제 3 간섭계의 출력, 상기 각도(β), 및 상기 요잉각(ø)을 사용하여 기하학적인 계산에 의해 상기 제 1 및 제 2 간섭계의 이동거울의 직교도오차산출하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 17] 제 16 항에 있어서,상기 제 1 연산기가 이 연산기에 의해 계산된 직교도 오차(θ) 로부터 직교도 보정값을 구하고, 상기 제어계가 상기 보정값에 근거하여상기스테이지의2차원방향의이동제어하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 18] 제 13 항에 있어서,상기 반사면이제1간섭계용의이동거울의일부형성되어있는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 19] 제 13 항에 있어서,상기 기판스테이지는, 투영광학계의 광축과 수직인 면내에서 상호 직교하는 제 1 축 및 제 2 축을 따라서 2차원 이동하는 스테이지이며, 또한 상기 스테이지의 상기 제 1 축방향의 위치를 계측하는 제 1 간섭계와, 상기 스테이지의 상기 제 2 축방향의 위치를 계측하는 제 2 간섭계와, 상기 스테이지상에 상기 제 1 축, 제 2 축에 각각 직교하여 배치된 제 1 간섭계용의 이동거울 및 제 2 간섭계용의 이동거울과, 상기 스테이지에 형성되어 제 1 축과 각도(β)를 이루는 반사면과, 상기 반사면과 직교하는 제 3 축방향을 따라서 광빔을 조사하고 상기 반사면에서의 반사광을 수광하여 상기 스테이지의 상기 제 3 축방향의 위치를 계측하는 제 3 간섭계와, 상기 스테이지의 제 1 축, 제 2 축 및 제 3 축방향의 이동을 제어하는 제어계와, 상기 제 1 간섭계의 출력, 상기 제 3 간섭계의 출력 및 상기 각도(β)에 근거하여 상기 스테이지의 요잉각(ø) 을 산출하는 연산기와, 상기 제1 간섭계의 출력, 상기 제 3 간섭계의 출력 및 상기 각도(β), 및 상기 요잉각(ø) 을 사용하여 기하학적인 계산에 의해 상기 제 1 및 제 2 간섭계의 이동거울의 직교도 오차(θ)를 산출하는연산기구비하는것을특징으로 하는노광장치. [청구항 20] 제 13 항에 있어서,상기 노광장치는, 일괄노광형 노광장치, 일괄주사형 노광장치, 및 주사형 노광장치로 구성되는 군에서 선택되는일종의노광장치인것을특징으로 하는노광장치.