광효율을 향상시킬 수 있는 박막형 광로 조절 장치 document_id 1019960059191

[청구항 1] m ×n(m, n은 자연수) 개의 mos 트랜지스터가 내장되고, 상기 트랜지스터의 드레인으로부터 연장되는 드레인패드(105)가 형성된 액티브매트릭스(100) 상기 액티브매트릭스(100)의 상부에 형성되며, ⅰ) 양측부가 상기 드레인패드(105)가 위치한 부분 및 이와 인접한 부분으로부터 수평하게 연장된 2개의 직사각형의 형상을 가지며, 중앙부가 사각평판의 형상을 갖는 멤브레인(120), ⅱ) 상기 멤브레인(120)의 상부에 형성된 하부전극(125), ⅲ) 상기 하부전극(125)의 상부에 형성된 변형층(130), 그리고 ⅳ) 상기 변형층(130)의 상부에 형성된 상부전극(140)을 포함하는 액츄에이터(170) 그리고 상기 멤브레인(130)의 중앙부 상에 형성된 거울(160)을 포함하는 박막형 광로조절 장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 액티브매트릭스(100)는, 상기 액티브매트릭스(100) 및 상기 드레인패드(105)의 상부에 형성되어 상기 액티브매트릭스(100)를 보호하는 보호층(110) 그리고 상기 보호층(110)의 상부에 형성되어 상기 보호층(110) 및 상기 액티브매트릭스(100)의 식각을 방지하는 식각방지층(115)을 더 포함하며, 상기 액츄에이터(170)는, 상기 변형층(130)으로부터 상기 하부전극(125), 상기 멤브레인(120), 상기 식각방지층(115) 및 상기 보호층(110)을 통하여 상기 드레인패드(105)까지 형성된 비어홀(145) 그리고 상기 비어홀(145) 내에 형성되어 상기 하부전극(125)과 상기 드레인패드(105)를 서로 연결하는비어컨택더포함하는것을특징으로 하는박막형 광로조절 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 보호층(110)은 인실리케이트유리(psg)로 구성되어 약 0.1~1.0㎛의 두께를 가지고, 상기 식각방지층(115)은 질화물로 구성되어 약 100~2000å의 두께를 가지며, 상기 멤브레인(120)은 질화물로 구성되어 약 0.1~1.0㎛의 두께를 가지고, 상기 하부전극(125)은 백금 또는 백금-탄탈륨으로 구성되어 약 0.1~1.0㎛의 두께를 가지며, 상기 변형층(130)은 압전물질로 구성되어 약 0.1~1.0㎛의 두께를 가지고, 상기 상부전극(140)은 알루미늄, 백금 또는 은으로 구성되어 약 0.1~1.0㎛의두께가지는것을특징으로 하는박막형 광로조절 장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 하부전극(125), 상기 변형층(130) 및 상기 상부전극(140)은 각기 거울상의 'ㄷ'자의형상갖는것을특징으로 하는박막형 광로조절 장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 변형층(130)은 상기 하부전극(125) 보다 작은 면적을 가지며, 상기 상부전극(140)은 상기 변형층(130) 보다 작은 면적을 가지고, 상기 하부전극(125), 상기 변형층(130) 및 상기 상부전극(140)이함께피라미드의형태적층되는것을특징으로 하는박막형 광로조절 장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 거울(160)은사각평판의형상갖는것을특징으로 하는박막형 광로조절 장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 거울(160)은 은(ag), 알루미늄(al) 또는 백금(pt)으로 구성되어 약 0.3~2.0㎛의두께갖는것을특징으로 하는박막형 광로조절 장치. [청구항 8] m ×n(m, n은 자연수)개의 mos트랜지스터가 내장되고, 상기 트랜지스터의 드레인으로부터 연장되는 드레인패드(105)가 형성된 액티브매트릭스(100) 상기 액티브매트릭스(100)의 상부에 형성되며, ⅰ) 양측부가 상기 드레인패드(105)가 위치한 부분으로부터 수평하게 연장된 2개의 직사각형의 형상을 가지며, 중앙부가 사각평판의 형상을 갖는 멤브레인(120), ⅱ) 상기 멤브레인(120)의 양측부 상에 각기 형성된 2개의 하부전극들(125), ⅲ) 상기 하부전극들(125) 상부에 각기 형성된 2개의 변형층들(130), 그리고 ⅳ) 상기 변형층들(130)의 상부에 각기 형성된 2개의 상부전극들(140)을 포함하는 액츄에이터(170) 그리고 상기 멤브레인(120)의 중앙부 상에 형성되어 사각평판의 형상을 갖는 거울(160)을 포함하는 박막형 광로조절 장치 [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 액티브매트릭스(100)는, 상기 액티브매트릭스(100) 및 상기 드레인패드(105)의 상부에 형성되어 상기 액티브매트릭스(100)를 보호하는 보호층(110) 그리고 상기 보호층(110)의 상부에 형성되어 상기 보호층(110) 및 상기 액티브매트릭스(100)의 식각을 방지하는 식각방지층(115)을 더 포함하며, 상기 액츄에이터(170)는, 상기 변형층들(130)로부터 상기 하부전극들(125), 상기 멤브레인(120), 상기 식각방지층(115) 및 상기 보호층(110)을 통하여 상기 드레인패드(105)까지 형성된 2개의 비어홀들(145) 그리고 상기 비어홀들(145) 내에 상기 하부전극들(125)과 상기 드레인패드(105)를 서로 연결하는2개의비어컨택들더포함하는것을특징으로 하는박막형 광로조절 장치. [청구항 10] 제8항에 있어서,상기 변형층들(130)은 각기 상기 상부전극들(140)보다 넓은 면적의 직사각형의 형상을 가지며, 상기 하부전극들(125)은 각기 일측이 상기 변형층(130)들 보다 길게 연장되어 상기 변형층들(130) 보다 넓은면적의직사각형의형상갖는것을특징으로 하는박막형 광로조절 장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 하부전극들(125)의 연장된 부분 상에 상기 거울(160)과 일체로 형성된거울지지들더포함하는것을특징으로 하는박막형 광로조절 장치. [청구항 12] 제8항에 있어서,상기 변형층들(130)은 상기 하부전극들(125) 보다 작은 면적을 가지며, 상기 상부전극들(140)은 상기 변형층들(130) 보다 작은 면적을 가지고, 상기 하부전극들(125), 상기 변형층들(130) 및 상기 상부전극들(140)이함께피라미드의형태적층된것을특징으로 하는박막형 광로조절 장치. [청구항 13] 제8항에 있어서,상기 거울(160)은 은(ag), 알루미늄(al) 또는 백금(pt)으로 구성되어 약 0.3~2.0㎛의두께갖는것을특징으로 하는박막형 광로조절 장치. [청구항 14] m ×n(m, n은 자연수)개의 mos트랜지스터가 내장되고, 상기 트랜지스터의 드레인으로부터 연장되는 드레인패드(105)가 형성된 액티브매트릭스(100) 상기 액티브매트릭스(100)의 상부에 형성되며, ⅰ) 양측부가 상기 드레인패드(105)가 위치한 부분으로부터 수평하게 연장된 2개의 직사각형의 형상을 가지며, 중앙부가 서로 분리된 사각 평판의 형상을 갖는 멤브레인(120), ⅱ) 상기 멤브레인(120)의 양측부 상에 각기 형성된 2개의 하부전극들(125), ⅲ) 상기 하부전극들(125)의 상부에 각기 형성된 2개의 변형층들(130), 그리고 ⅳ) 상기 변형층들(130)의 상부에 각기 형성된 2개의 상부전극들(140)을 포함하는 액츄에이터(170) 그리고 상기 멤브레인(120)의 중앙부 상에 형성되어 사각평판의 형상을 갖는 거울(160)을 포함하는 박막형 광로조절 장치 [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 액티브매트릭스(100)는, 상기 액티브매트릭스(100) 및 상기 드레인패드(105)의 상부에 형성되어 상기 액티브매트릭스(100)를 보호하는 보호층(110) 그리고 상기 보호층(110)의 상부에 형성되어 상기 보호층(110) 및 상기 액티브매트릭스(100)의 삭각을 방지하는 식각방지층(115)을 더 포함하며, 상기 액츄에이터(170)는, 각기 상기 변형층들(130)로부터 상기 하부전극들(125), 상기 멤브레인(120), 상기 식각방지층(115) 및 상기 보호층(110)을 통하여 상기 드레인패드(105)까지 형성된 2개의 비어홀들(145), 그리고 상기 비어홀들(145) 내에서 상기 하부전극들(125)과 상기 드레인패드(105)를 각기 연결하는 2개의 비어컨택들(150)을 더 포함하며, 상기 변형층들(130)은 각기 상기 상부전극들(140) 보다 넓은 면적의 직사각형의 형상을 가지며, 상기 하부전극들(125)은 각기 일측이 상기 변형층들(130) 보다 길게 연장되어 상기 변형층들(130) 보다 넓은면적의직사각형의형상갖는것을특징으로 하는박막형 광로조절 장치. [청구항 16] 제14항에 있어서,상기 변형층들(130)은 상기 상부전극들(125)보다 작은 면적을 가지며, 상기 상부전극들(140)은 상기 변형층들(130) 보다 작은 면적을 가지고, 상기 하부전극들(125), 상기 변형층들(130) 및 상기 상부전극들(140)이 함께 피라미드의 형태로 적층되며, 상기 거울(160)은 은(ag), 알루미늄(al) 또는 백금(pt)으로 구성되어 약 0.3~2.0㎛의두께갖는것을특징으로 하는박막형 광로조절 장치.