나선형자기선형전동공구 document_id 1019960700222

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 나선형 자기 구동부는 상기 축의 전체길이를 따라서 연장하도록있는것을특징으로 하는자기 전동기구. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 지지 나사 세그먼트는 나선형 자기 구동부의 섹션에 연결되어 상기 섹션에 평행한방향연장하는것을특징으로 하는자기 전동기구. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 나선형 자기 구동부는 연속적인 나선형 자기 구동부를 선택적으로 형성하도록 축상에 일반적으로 나란히 배치된다수의자기소자포함하는것을특징으로 하는자기 전동기구. [청구항 5] 제4항에 있어서,연속 자기 구동소자는 최외단에서인접자기구동소자와반대의극성가지는것을특징으로 하는자기 전동기구. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 지지 구조체 자기 나사 세그먼트는 연속 자석 나사 세그먼트를 형성하도록 일반적으로 나란히 배치된다수의자기소자포함하는것을특징으로 하는자기 전동기구. [청구항 7] 제6항에 있어서,연속 자기 나사 세그먼트 소자는 최외단에서 인접한자기나사 세그먼트소자와반대의극성가지는것을특징으로 하는자기 전동기구. [청구항 8] 제6항에 있어서,적어도 하나의 나사 세그먼트 소자는 반대극성을 가진 자기 구동소자에 자기적으로 끌어당겨져 지지구조체를 구동부를 자기적으로 연결하며, 나사 세그먼트 소자가 축이 회전할 때 다른 연속 구동소자에 자기적으로 연결되도록 자기 구동부의 길이를 따라서 추가로 배치되어 있는 반대극성을 가진 다른 연속 자기 나사 세그먼트 소자에 나사 세그먼트 소자를 노출하는 축의 회전은 축이 회전될 때 축에 평행하게 선형으로웨이퍼지지체이동시키는것을특징으로 하는자기 전동기구. [청구항 9] 제4항에 있어서,상기 축은 강자성 물질로 만들어지고 적어도 하나의 나선형 형상 홈을 포함하며, 상기 자기소자는 나선형 자기 구동부를 선택적으로 형성하도록 상기 홈의 내측의 자기인력에 의해축부착하는것을특징으로 하는자기 전동기구. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 전동 구조체는 구조체의 길이를 따라서 서로 이격된 다수의 자기 나사 세그먼트를 포함하며, 상기 다수의 나사 세그먼트중 적어도 두개가 처리챔버를 통해 웨이퍼 지지구조체를 선형으로 부드럽게 이동시키고 동시에 나선형 자기 구동부에자기적연결되는것을특징으로 하는자기 전동기구. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 다수의 나사 세그먼트의 각각nan은나선형자기구동부연결되는것을특징으로 하는자기 전동기구. [청구항 12] 제1항에 있어서,상기 자기 구동부를 보호하기 위해서 축과 나선형 자기 구동부위에 배치된 비자성 물질로 만들어진슬리브를추가포함하는것을특징으로 하는자기 전동기구. [청구항 13] 제1항에 있어서,자기 구동부는 축의 길이를 따라서 균일한 안내각을 유지하도록 축둘레로나선형있는것을특징으로 하는자기 전동기구. [청구항 14] 제13항에 있어서,다수의 나사 세그먼트를 추가로 포함하며, 상기 나사 세그먼트는 상기 지지구조체의 길이를 따라서 서로 동등한 간격으로 웨이퍼 지지구조체상에 배치되고, 나사 세그먼트를 구동부에 보다 강하게 연결하도록 나사 세그먼트와 직면하는 나선형 구동부의 각진 섹션과 정렬하여 축의 길이방향 축선으로부터 각형성하여서로평행하게한것을특징으로 하는자기 전동기구. [청구항 15] 제1항에 있어서,다수의 긴 자기 구동부를 추가로 포함하는데, 각각은 축의 한 단부의 주변둘레에 이격된 점에서 시작하고, 상기 구동부는 서로 끼워져서 인접 구동섹션이 서로 교차하지 않도록 동일한 안내각을 유지하도록 축둘레로나선형있는것을특징으로 하는자기 전동기구. [청구항 16] 제5항에 있어서,다수의 나선형 자기 구동부의 주변 시발점은 원통형 축의 적어도 한 단부의 주변 둘레에등거리이격되어있는것을특징으로 하는자기 전동기구. [청구항 17] 제15항에 있어서,상기 전동 지지체는 다수의 자기 나사 세그먼트와 다수의 나사 세그먼트중 적어도 두개는 나선형 자기 구동부에자기적연결되는것을특징으로 하는자기 전동기구. [청구항 18] 제17항에 있어서,다수의 나사 세그먼트의 각 나사 세그먼트는 축상의 나선형 자기 구동부의 섹션에자기적연결되는것을특징으로 하는자기 전동기구. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 자기구동수단은 상기 통로에 평행하게 연장하고 챔버벽의 다른 측면에 인접한 길이방향 축선상에 회전하도록 장착된 긴 원통형 축과, 축의 회전이 자기 피동수단을 축의 길이를 따라서 추가로 배치한 자기구동수단의 다른 연속 섹션에 노출함으로서 상기 피동수단과 웨이퍼 지지구조체를 긴 축에 평행한 통로를 따라서 선형으로 구동되도록, 연속 구동 섹션에 연결되도록 축과 함게 회전하기 위해 축둘레로 나선형으로 감겨진 연속 구동섹션을 포함하는 적어도 긴자기구동부포함하는것을특징으로 하는자기 전동기구. [청구항 21] 제19항에 있어서,상기 자기 피동장치는 나란히 배치되어 있는 다수의 자기 피동 소자를 포함하는데, 상기 각 소자의 최외단은 인접피동 소자와 반대의 자극을 가지며, 상기 자기 구동수단은 나란히 배치되어 있는 다수의 자기 구동소자를 포함하는데, 상기 각 구동소자의 최외단은 인접 구동소자와 반대의 자극을 가지며, 적어도 하나의 피동 소자는 반대극성의 구동소자를 구동하도록 자기적으로 끌어당겨져서 자기 피동장치를 자기 구동기에자기적연결하는것을특징으로 하는자기 전동기구. [청구항 23] 제22항에 있어서,상기 나선형 자기 나사 구동부는 일반적으로 연속 나선형 자기 구동부를 선택적으로 형성하도록 축에 나란히 배된 다수의 자기 소자를 포함하며, 상기 각 연속 자기 구동소자는 최외단에서 인접한자기소자와반대의극성가지는것을특징으로 하는웨이퍼 처리 라인. [청구항 24] 제22항에 있어서,상기 지지 구조체 자기 나사 세그먼트는 연속 자기 나사 세그먼트를 형성하도록 나란히 배치된 다수의 자기소자를 포함하며, 각 연속 자기 나사 세그먼트 소자는 최외단에서 상기 소자와 반대의 극성을 가지며, 적어도 하나의 나사 세그먼트 소자는 반대극성을 가진 자기 구동소자에 자기적으로 끌어당겨져 지지구조체를 구동부를 자기적으로 연결하며, 나사 세그먼트소자가 축이 회전할 때 다른 연속 구동소자에 자기적으로 연결되도록 자기 구동부의 길이를 따라서 추가로 배치되어 있는 반대극성을 가진 다른 연속 자기 나사 세그먼트 소자에 나사 세그먼트 소자를 노출하는 축의 회전은 축이 회전될 때 축에 평행하게 선형으로웨이퍼지지체이동시키는것을특징으로 하는웨이퍼 처리 라인. [청구항 25] 제22항에 있어서,상기 지지 구조체는 구조체의 길이를 따라서 서로 이격된 다수의 자기 나사 세그먼트를 포함하며, 상기 다수의 나사 세그먼트중 적어도 두개가 하우징을 통해 웨이퍼 지지구조체를 선형으로 부드럽게 이동시키고 동시에 나선형 자기 구동부에자기적연결되는것을특징으로 하는웨이퍼 처리 라인. [청구항 26] 제22항에 있어서,다수의 긴 자기 구동부를 추가로 포함하는데, 각각은 축의 한 단부의 주변둘레에 이격된 점에서 시작하고, 상기 구동부는 서로 끼워져서 인접 구동섹션이 서로 교차하지 않도록 동일한 안내각을 유지하도록 축둘레로나선형있는것을특징으로 하는웨이퍼 처리 라인. [청구항 27] 제22항에 있어서,상기 자기 전동기구는 웨이퍼가 하우징의 각각을 통해 이동될 수 있도록 일련으로 연결된하우징의각각연관되어있는것을특징으로 하는웨이퍼 처리 라인. [청구항 28] 제27항에 있어서,상기 웨이퍼 지지구조체의 전단부상의 나사 세그먼트가 하우징의 자기 구동부에 연결되고 지지구조체의 후단부에 있는 나사 세그먼트가 처리 라인을 따라서 하우징으로부터 하우징으로 지지구조체를 연속적으로 이동하기 위해서 앞의 하우징의 구동부에 연결되도록, 상기 웨이퍼 지지구조체는 다수의 나사 세그먼트를 가지며 인접 일련의 하우징사이로 연장하도록치수형성되어있는것을특징으로 하는웨이퍼 처리 라인. [청구항 29] 제22항에 있어서,연속 구동섹션을 가진 적어도 하나의 긴 원통형 축은 적어도 두개의 일련으로 연결된 하우징에 인접하게 연장하므로서, 웨이퍼 지지구조체(24)는 두개의 일련으로 연결된 하우징을 통해서 이동할 때 동일한 축에자기적연결되는것을특징으로 하는웨이퍼 처리 라인.