에너지 회수를 제공하는 펄스 전력 발생 회로 document_id 1019960705814

[청구항 1] 전하 저장을 위한 커패시티 자기적 펄스 컴프레서 회로; 상기 커패시터에 저장된 전하를 상기 컴프레서 회로에 대한 입력으로 주기적으로 인가하기 위한 스위치 인버팅된 전하를 얻도록 상기 리버스 전하를 인버팅시키기 위하여 상기 커패시터와 병렬로 연결되고, 또한 상기 인버팅된 전하를 상기 커패시터에 제공하는 인버팅 회로로 구성되고, 상기 컴프레서 회로는 그 입력에 응답하여 출력펄스를 제공하고 또한 리버스 전하를 공명적으로 제공하는 것을 특징으로 하는 펄스 전력 발생 회로 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 자기적 펄스 컴프레서 회로가 커패시터와 포화가능 인덕터로 구성된적어도하나의단계포함하는것을특징으로 하는펄스 전력 발생 회로. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 스위치에 직렬로 결합된선형 인덕터더포함하는것을특징으로 하는펄스 전력 발생 회로. [청구항 4] 제1항에 있어서,전하저장을 위한 상기 커패시터에 결합된제2커패시터더포함하는것을특징으로 하는펄스 전력 발생 회로. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기인버팅 회로가 직렬로 연결된인덕터와다이오드포함하는것을특징으로 하는펄스 전력 발생 회로. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 커패시터에 상기 전하를 제공하는전원더포함하는것을특징으로 하는펄스 전력 발생 회로. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 자기적 펄스 컴프레서 회로가부하결합되어있는것을특징으로 하는펄스 전력 발생 회로. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 부하가레이저인것을특징으로 하는펄스 전력 발생 회로. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 레이저가 횡적 방전 원리에 따라 동작할 수있는것을특징으로 하는펄스 전력 발생 회로. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 레이저가횡적엑시머레이저인것을특징으로 하는펄스 전력 발생 회로. [청구항 11] 제8항에 있어서,일차권선이 상기 자기적 펄스 컴프레서 회로의 출력에 결합되고 이차 권선이 상기 부하가 결합된변압기더포함하는것을특징으로 하는펄스 전력 발생 회로. [청구항 12] 제1항에 있어서,상기 자기적 펄스 컴프레서 회로는 각 단계가 커패시터와 포화가능 인덕터로 구성되고 출력 커패시티가 최종단계에 결합되어 있는복수의단계포함하는것을특징으로 하는펄스 전력 발생 회로. [청구항 13] 제12항에 있어서,일차 권선이 상기 복수의 단계중의 하나에 결합되고 이차 권선이 그 다음 단계에 결합되는변압기더포함하는것을특징으로 하는펄스 전력 발생 회로. [청구항 26] 전하를 공급하기 위한 전원 상기 전하를 저장하기 위한 커패시터 자기적 펄그 컴프레서 회로; 상기 커패시터에 저장된 전하를 상기 컴프레서 회로에 대한 입력으로서 주기적으로 인가하기 위한 고체상태 스위치 상기 자기적 펄그 컴프레서 회로에 결합되어 상기 출력 펄스를 수신하는 레이저 인버팅된 전하를 얻도록 상기 리버스 전하를 인버팅시키기 위하여 상기 커패시터에 병렬로 결합되고 또한 상기 인버팅된 전하를 상기 커패시터에 제공하는 인버팅 회로로 구성되고, 상기 컴프레서 회로는 그 입력에 응답하여 출력펄스를 제공하고 또한 리버스 전하를 공명적으로 제공하는 것을 특징으로 하는 고전압 펄스 전력 레이저 시스템 [청구항 27] 제26항에 있어서,상기 자기적 펄스 컴프레서 회로에 결합되어 그 회로에 바이어스 전류를 제공하는 한쌍의전류바이어스 단자더포함하는것을특징으로 하는고전압 펄스 전력 레이저 시스템. [청구항 28] 제26항에 있어서,상기 자기적 펄스 컴프레서 회로가 커패시터와 포화가능 인덕터를 포함하는적어도하나의단계포함하는것을특징으로 하는고전압 펄스 전력 레이저 시스템. [청구항 29] 제26항에 있어서,상기 스위치에 결합된선형 인덕터포함하는것을특징으로 하는고전압 펄스 전력 레이저 시스템. [청구항 30] 제26항에 있어서,전하를 저장하기 위하여 상기 커패시터에 결합된 제2커패서터포함하는것을특징으로 하는고전압 펄스 전력 레이저 시스템. [청구항 31] 제26항에 있어서,직렬로 연결된인덕터와다이오드포함하는것을특징으로 하는고전압 펄스 전력 레이저 시스템. [청구항 32] 제26항에 있어서,상기 커패시터에 상기 전하를 제공하는전원더포함하는것을특징으로 하는고전압 펄스 전력 레이저 시스템. [청구항 33] 제26항에 있어서,상기 레이저가 횡적 방전 원리에 따라 동작할 수있는것을특징으로 하는고전압 펄스 전력 레이저 시스템. [청구항 34] 제26항에 있어서,상기 일차 권선이 상기 자기적 펄스 컴프레서 회로의 출력에 결합되고 이차 권선이 상기 레이저에 결합된변압기더포함하는것을특징으로 하는고전압 펄스 전력 레이저 시스템. [청구항 35] 제26항에 있어서,상기 자기적 펄스 컴프레서 회로는 각 단계가 커패시터와 포화가능한 인덕터로 구성되고 출력 커패시터에 대한 최종단계에 결합되어 있는복수의단계포함하는것을특징으로 하는고전압 펄스 전력 레이저 시스템. [청구항 36] 제35항에 있어서,일차 권선이 상기 복수의 단계중의 하나에 결합되고 이차 권선이 그 다음 단계에 결합되는변압기더포함하는것을특징으로 하는고전압 펄스 전력 레이저 시스템. [청구항 37] 전원; 상기 전원에 결합된 고체 상태 스위치를 가진 펄스 컴프레서 회로 상기 펄스 컴프레서 회로의 출력에 결합된 레이저로 구성되고, 상기 펄스 컴프레서 회로는 상기 전원으로부터 고체상태 스위치를 통하여 입력되는 전력에 응답하여 상기 레이저에 압축된 전력을 제공하고 또한 상기 레이저에서 사용되지 않은 에너지를 회수하고 그 회수된 에너지를 상기 전원에 반환시키는 것을 특징으로 하는 고전압 펄스 전력 레이저 시스템 [청구항 38] 제37항에 있어서,상기 펄스 컴프레서 회로가 커패시터와 포화가능 인덕터를 포함하는적어도하나의단계포함하는것을특징으로 하는고전압 펄스 전력 레이저 시스템. [청구항 39] 제37항에 있어서,상기 펄스 컴프레서 회로가 상기 스위치에 직렬로 결합된선형 인덕터더포함하는것을특징으로 하는고전압 펄스 전력 레이저 시스템. [청구항 40] 제37항에 있어서,에너지를 저장하기 위하여 상기 전원에 결합된커패시터더포함하는것을특징으로 하는고전압 펄스 전력 레이저 시스템. [청구항 41] 제37항에 있어서,상기 펄스 컴프레서 20 회로가 직렬로 연결된 인덕터와 다이오드를 포함하는인버팅회로더포함하는것을특징으로 하는고전압 펄스 전력 레이저 시스템. [청구항 42] 제37항에 있어서,상기 레이저가 횡적 방전 원리에 따라 동작할 수있는것을특징으로 하는고전압 펄스 전력 레이저 시스템. [청구항 43] 제42항에 있어서,상기 레이저가 엑시머레이저인것을특징으로 하는고전압 펄스 전력 레이저 시스템. [청구항 44] 제37항에 있어서,상기 일차 권선이 상기 펄스 컴프레서 회로의 출력에 결합되고 이차 권선이 상기 레이저에 결합된변압기더포함하는것을특징으로 하는고전압 펄스 전력 레이저 시스템. [청구항 45] 제37항에 있어서,상기 펄스 컴프레서 회로는 각 단계가 커패시터와 포화가능 인덕터로 구성되고 출력 커패시터가 최종 단계에 결합되어 있는복수의단계포함하는것을특징으로 하는고전압 펄스 전력 레이저 시스템. [청구항 46] 제45항에 있어서,일차 권선이 상기 복수의 단계중의 하나에 결합되고 이차 권선이 그 다음 단계에 결합되는변압기더포함하는것을특징으로 하는고전압 펄스 전력 레이저 시스템. [청구항 57] 전원; 상기 전원에 결합된 고체상태 스위치를 가진 펄스 컴프레서 회로 상기 펄스 컴프레서 회로의 출력에 결합된 펄스 방전 레이저로 구성되고, 상기 펄스 컴프레서 회로는 상기 전원으로부터 상기 고체상태 스위치를 통하여 입력되는 전력에 응답하여 잘못된 펄스없이 상기 레이저에 압축된 펄스를 일관되게 제공하는 것을 특징으로 하는 고전압 펄스 전력 레이저 시스템 [청구항 58] 제57항에 있어서,상기 컴프레서 회로가 상기 레이저에서 사용되지 않은 에너지를 회수하고 그 회수된에너지를상기전원반환시키는것을특징으로 하는고전압 펄스 전력 레이저 시스템. [청구항 59] 제57항에 있어서,상기 레이저가횡적방전레이저인것을특징으로 하는고전압 펄스 전력 레이저 시스템. [청구항 60] 제57항에 있어서,상기 레이저가 엑시머레이저인것을특징으로 하는고전압 펄스 전력 레이저 시스템. [청구항 61] 제60항에 있어서,상기 레이저가 krf엑시머레이저인것을특징으로 하는고전압 펄스 전력 레이저 시스템. [청구항 62] 제57항에 있어서,상기 펄스 컴프레서 회로가 커패시터와 포화가능 인덕터를 포함하는적어도하나의단계포함하는것을특징으로 하는고전압 펄스 전력 레이저 시스템. [청구항 63] 제57항에 있어서,상기 펄스 컴프레서 회로는 각 단계가 커패시터와 인덕터로 구성되고 출력 커패시터가 최종 단계가 결합되어 있는복수의단계포함하는것을특징으로 하는고전압 펄스 전력 레이저 시스템. [청구항 64] 제57항에 있어서,일차 권선이 상기 복수의 단계중의 하나에 결합되고 이차 권선이 그 다음 단계에 결합되는변압기더포함하는것을특징으로 하는고전압 펄스 전력 레이저 시스템.