문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,01 내지약 2.0중량%의 플루오라이드 함유 첨가제포함하는기계화학적 연마 슬러리.
[청구항 3]
제1항에 있어서,플루오라이드 함유 첨가제가 플루오라이드 함유 산, 플루오라이드 염 및 이들의 혼합물선택된느 기게화학적 연마 슬러리.
[청구항 4]
제3항에 있어서,플루오라이드 함유 첨가제가 플루오르화수소산, 플루오르화규산, 플루오르화붕산, 플루오르화티탄산 및 이들의 혼합물로 이루어지는 군선택된플루오라이드 함유 산인 기계화학적 연마 슬러리.
[청구항 5]
제4항에 있어서,플루오라이드 함유 산이 약 0.01 내지 약 0.3 중량% 범위의 양으로 기계화학적 연마 슬러리존재하는기계화학적 연마 슬러리.
[청구항 6]
제3항에 있어서,플루오라이드 함유 첨가제가 암모늄 플루오라이드, 칼륨 플루오라이드, 암모늄 수소 디플루오라이드, 칼륨 수소 디플루오라이드, 및 이들의 혼합물로 이루어지는 군선택되는플루오라이드 염인 기계화학적 연마 슬러리.
[청구항 7]
제6항에 있어서,플루오라이드 염이 약 0.2 내지 약 1.0 중량% 범위의 양으로 슬러리존재하는기계화학적 염마 슬러리.
[청구항 8]
제1항에 있어서,산화제가 철 염, 칼륨 염, 암모늄 염, 4차 암모늄 염, 포스포늄 염, 과산화물, 염소산염, 과염소산염, 질산염, 과망간산염, 과황산염 및 이들의 혼합물로 이루어지는 군선택되는기계화학적 연마 슬러리.
[청구항 10]
제9항에 있어서,5 내지약 3.0의 ph를갖는기계화학적 연마 슬러리.
[청구항 11]
제1항에 있어서,0 내지약 5.0의 ph를갖는기계화학적 연마 슬러리.
[청구항 12]
제1항에 있어서,플루오라이드 함유 첨가제가 플루오르화수소산인기계화학적 연마 슬러리.
[청구항 13]
제12항에 있어서,플루오르화수소산이 슬러리 중에 약 0.01 내지 약 0.3 중량% 범위의 양존재하는기계화학적 연마 슬러리.
[청구항 14]
제1항에 있어서,마모제가 금속산화물인기계화학적 연마 슬러리.
[청구항 15]
제14항에 있어서,금속 산화물 마모제가 알루미나, 세리아, 게르마니아, 실리카, 티타니아, 지르코니아 및 이들의 혼합물을 포함하는 군선택되는기계화학적 연마 슬러리.
[청구항 16]
제1항에 있어서,마모제가 금속 산화물의 수분산액인기계화학적 연마 슬러리.
[청구항 17]
제1항에 있어서,마모제가알루미나인기계화학적 연마 슬러리.
[청구항 18]
제17항에 있어서,알루미나가 훈연알루미나인기계화학적 연마 슬러리.
[청구항 19]
제1항에 있어서,마모제가 미세금속 산화물 입자로 이루어지는기계화학적 연마 슬러리.
[청구항 20]
제19항에 있어서,미세 금속 산화물 입자가 침전된 알루미나 또는 훈연 알루미나포함하는기게화학적 연마 슬러리.
[청구항 21]
제1항에 있어서,계면활성제를더 포함하는기계화학적 연마 슬러리.
[청구항 22]
제1항에 있어서,유기산, 유기산의 염 및 이들의 혼합물로 이루어지는 군으로부터 선택도는 화합물더 포함하는기계화학적 연마 슬러리.
[청구항 23]
제1항에 있어서,무기 산, 무기 염 및 이들의 혼합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 화합물더 포함하는기계화학적 연마 슬러리.
[청구항 25]
제24항에 있어서,플루오라이드 함유 첨가제가 플루오라이드 함유 산, 플루오라이드 염 및 이들의 혼합물로 부터선택되는기계화학적 연마 슬러리.
[청구항 27]
제24항에 있어서,알루미나가 알루미나의 수분산액인기계화학적 연마 슬러리.
[청구항 28]
제24항에 있어서,알루미나가 훈연알루미나인기계호학적 연마 슬러리.
[청구항 29]
제24항에 있어서,1 내지약 1:2의 텅스텐 대 티타늄 연마 선택도갖는기계호학적 연마 슬러리.
[청구항 40]
산화제 및 플루오라이드 함유 첨가제를 포함하는 용기
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기계화학적 연마 슬러리 내에서 플루오라이드 함유 첨가제가 플루오르화수소산인 경우, 해당 산이 포함되는 중량% 범위는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation기계화학적 연마 슬러리 내에서 플루오르화수소산이 포함되는 중량% 범위를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 12항에서 플루오라이드 함유 첨가제가 플루오르화수소산인 경우를 정의하고, 청구항 13항에서 해당 산의 함량을 명시한다.
- 플루오라이드 함유 첨가제가 플루오르화수소산인기계화학적 연마 슬러리
- 플루오르화수소산이 슬러리 중에 약 0.01 내지 약 0.3 중량% 범위의 양존재하는
-
3근거 선택
evidence_selection플루오르화수소산의 함량 범위를 직접적으로 언급한 청구항 13의 구절을 선택한다.
- 약 0.01 내지 약 0.3 중량% 범위
-
4논리 통합
logical_integration청구항 12항(조건: 첨가제가 플루오르화수소산임)과 청구항 13항(결과: 함량 범위)을 결합하여 답변을 도출한다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation플루오르화수소산의 함량 범위는 약 0.01 내지 약 0.3 중량%이다.
- 약 0.01 내지 약 0.3 중량% 범위
-
6답변 생성
answer_generation질문에 대한 직접적인 수치 범위를 추출하여 답변을 생성한다.
- 약 0.01 내지 약 0.3 중량% 범위
최종 답변 (final_answer)
약 0.01 내지 약 0.3 중량% 범위
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 기계화학적 연마 슬러리 내에 플루오르화수소산을 플루오라이드 함유 첨가제로 사용할 경우, 그 최적의 함량 범위를 약 0.01 내지 약 0.3 중량%로 규정하고 있다.