처리 장치 및 처리 시스템과 기판 반송장치 및 기판 반송방법 document_id 1019970001966

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 분위기 변동을 완화하는 수단은, 상기 피처리체 반송공간에 다운플로우를 형성하는 수단과, 다운플로우 풍량을 제어하는 수단과, 상기 피처리체 공간의 압력을 제어하는수단가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 분위기 변동을 완화하는 수단은, 상기 피처리체 반송공간의 온도를 제어하는온도 제어수단더가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 분위기 변동을 완화하는 수단은, 상기 반송부재의 연직방향의 이동에 의해 압축된 공기를 배출하는배출수단가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 배출수단은, 배기구와,배기관가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 6] 제4항에 있어서,상기 배출수단은, 상기 반송수단의 위끝단부 및 아래 끝단부에 각각 설치된 배기구와, 이들 배기구에 각각 대응하는 배기팬과, 상기 반송부재의 상승시에는, 상기 위끝단부의 배기구에 대응하는 배기팬의 출력을 크게 하고, 상기 반송부재의 하강시에는, 상기 아래끝단부의 배기구에 대응하는 배기팬의 출력을 크게 하는수단가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 7] 제4항에 있어서,상기 배출수단은, 연직방향을 따라서 설치된 복수의 배기구와, 이들 배기구에 각각 대응하는 복수의 배기팬을 가지며, 최하부의 배기구에 대응하는배기팬의배기량최대인것을특징으로 하는처리장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 반송수단nan은복수의반송부재가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 피처리체 반송공간의 압력이,장치외의압력설정되는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 공기의 유입을 저지하는 수단은, 상기 피처리체 반송공간에 연직방향을 따라서 설치된 덕트와, 상기 피처리체 반송공간의 공기를 상기 덕트에 배출하는배출수단가지는것을특징으로 하는처리 장치. [청구항 12] 제10항에 있어서,상기 공기의 유입을 저지하는 수단은, 상기 각 처리 유니트 중으로부터 상기 피처리체 반송공간으로 향하는 청정공기의 흐름을 형성하는수단가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 13] 제10항에 있어서,상기 반송수단nan은복수의반송부재가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 14] 제10항에 있어서,상기 피처리체 반송공간의 압력이,장치외부의압력설정되는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,순환하는 청정공기의 풍량을 제어하는 풍량제어수단더가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 풍량제어수단은, 외부공기를 도입하는 외부공기 도입부와, 외부공기 도입부에 설치된댐퍼가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 18] 제16항에 있어서,상기 피처리체 반송공간의 압력을 제어하는압력제어수단더가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 19] 제16항에 있어서,상기 피처리체 반송공간의 온도를 제어하는온도제어수단더가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 20] 제16항에 있어서,상기 반송수단은, 상기 피처리체 반송공간의 연직방향을 따라서 연재하는, 반송부재를 지지하기 위한 지지부재를 가지며, 이 지지부재는, 그 연직방향을 따라서 설치된 덕트와, 상기 피처리체 반송공간의 공기를 상기 덕트에 배출하는배출수단가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 21] 제20항에 있어서,상기 배출수단은, 배기구와,배기덕트가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 22] 제20항에 있어서,상기 배출수단은, 연직방향을 따라서 설치된 복수의 배기구와, 이들 배기구에 각각 대응하는 복수의 배기팬을 가지며, 최하부의 배기구에 대응하는배기팬의배기량최대인것을특징으로 하는처리장치. [청구항 23] 제15항에 있어서,상기 반송수단nan은복수의반송부재가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 24] 제15항에 있어서,상기 피처리체 반송공간의 압력이,장치외부의압력설정되는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 26] 제25항에 있어서,상기 배출수단은, 배기구와,배기팬가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 27] 제26항에 있어서,상기 배출수단은, 상기 덕트의 위끝단부 및 아래끝단부에 각각 설치된 배기구와, 이들 배기구에 각각 대응하는 배기팬과, 상기 반송부재의 상승시에는, 상기 위끝단부의 배기구에 대응하는 배기팬의 출력을 크게 하고, 상기 반송부재의 하강시에는, 상기 아래끝단부의 배기구에 대응하는 배기팬의 출력을 크게 하는수단가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 28] 제25항에 있어서,상기 배출수단은, 연직방향을 따라서 설치된 복수의 배기구와, 이들 배기구에 각각 대응하는 복수의 배기팬을 가지며, 최하부의 배기구에 대응하는배기팬의배기량최대인것을특징으로 하는처리장치. [청구항 29] 제27항에 있어서,상기 배출수단은, 상기 덕트의 위끝단부에 다른배기구가지는특징으로 하는처리장치. [청구항 30] 제25항에 있어서,상기 반송수단nan은복수의반송부재가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 31] 제25항에 있어서,상기 반송수단은, 상기 반송체의 이동범위를 둘러싸는관체가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 32] 제25항에 있어서,상기 피처리체 반송공간의 압력이,장치외부의압력설정되는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 34] 제33항에 있어서,상기 관체는원통형상이루는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 35] 제33항에 있어서,상기 관체 중의 압력이, 피처리체 반송공간의 다른 부분의 압력보다도 낮은 것특징으로 하는처리장치. [청구항 36] 제33항에 있어서,상기 관체의 상부에 청정공기를 도입하는도입구가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 37] 제36항에 있어서,상기 도입구는, 도입하는 공기량을 조절하기 위한조절수단가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 38] 제33항에 있어서,상기 반송수단nan은복수의반송부재가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 40] 제39항에 있어서,상기 피처리체 반송공간의 분위기 변동을 완화하는수단더가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 41] 제39항에 있어서,상기 피처리체 반송공간의 청정공기의 다운플로우를 형성하는 수단과; 상기 피처리체 반송공간으로부터, 상기 각 처리 유니트로의 공기의 유입을 저지하는수단더가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 43] 제42항에 있어서,상기 제2처리 유니트는, 상기 쿨링 유니트와 상기 베이킹 유니트와의 사이에 상기 엑스텐션 유니트가 위치하는 것과 같은배치가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 44] 제42항에 있어서,상기 피처리체 반송공간의 분위기 변동을 완화하는수단더욱가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 45] 제42항에 있어서,상기 피처리체 반송공간에 청정공기의 다운플로우를 형성하는 수단과; 상기 피처리체 반송공간으로부터, 상기 각 처리 유니트로의 공기의 유입을 저지하는수단더가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 47] 제46항에 있어서,상기 제2처리 유니트는, 상기 쿨링 유니트와 상기 베이킹 유니트와의 사이에 상기 엑스텐션 유니트가 위치하는 것과 같은배치가지는것을특징으로 하는처리시스템. [청구항 48] 제46항에 있어서,상기 피처리체 반송공간의 분위기 변동을 완화하는수단더욱가지는것을특징으로 하는처리시스템. [청구항 49] 제46항에 있어서,상기 피처리체 반송공간에 청정공기의 다운플로우를 형성하는 수단과; 상기 피처리체 반송공간으로부터, 상기 각 처리 유니트로의 공기의 유입을 저지하는수단더욱가지는것을특징으로 하는처리시스템.