문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 코일의 길이는 상기 고주파 전력 파장의 1/4의 정수배에 대하여 ±7%의범위내에있는것을특징으로 하는고주파 전력 인가장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 코일의 길이는상기고주파전력파장의대략인것을특징으로 하는고주파 전력 인가장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 코일의 길이는 상기 고주파 전력 파장의 1/4 또는 1/2에 대하여 ±7%의범위내에있는것을특징으로 하는고주파 전력 인가장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 고주파 전력의 주파수는 30㎒∼300㎒인것을특징으로 하는고주파 전력 인가장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 임피던스 정합기는적어도2개의가변콘덴서구성되는것을특징으로 하는고주파 전력 인가장치.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 코일은 각각 상기 고주파 전력 파장의 1/4의 대략 정수배의 길이를 갖는 동시에, 코일 중심에 대하여 점대칭으로 배치된복수의코일부분구성되는것을특징으로 하는고주파 전력 인가장치.
[청구항 8]
제7항에 있어서,상기 복수의 코일 부분은 동일 원주상에 위치하는원호부각각갖는것을특징으로 하는고주파 전력 인가장치.
[청구항 9]
제1항에 있어서,상기 코일은 평면적인와권형형성되는것을특징으로 하는고주파 전력 인가장치.
[청구항 10]
제1항에 있어서,상기 코일은 입체적인와권형또는나선형형성되는것을특징으로 하는고주파 전력 인가장치.
[청구항 13]
제12항에 있어서,상기 챔버와 전기적으로 절연된 고주파 전압 및 정전압 중 적어도 하나의 전압을 상기 시료대에 인가하는 전압 인가수단을추가구비하는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 14]
제13항에 있어서,상기 고주파 전력 발생원에서 발생하는 고주파 전력을 펄스 변조하는 제1펄스 변조기와, 상기 전압 인가수단에 의해 인가되는 전압을 펄스 변조하는제2펄스변조기를추가구비하는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 28]
제27항에 있어서,상기 코일에 인가되는 고주파 전력을 펄스 변조하는 공정과, 상기 시료대에 인가하는 전압을 펄스 변조하는공정을추가포함하는것을특징으로 하는플라즈마 처리방법.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마 처리장치에서 시료대에 인가되는 전압을 펄스 변조하기 위해 추가로 구비되는 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation플라즈마 처리장치에서 시료대에 인가되는 전압을 펄스 변조하기 위해 추가되는 구성 요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 14에서 시료대에 인가되는 전압을 펄스 변조하는 구성 요소에 대한 언급을 추출한다.
- 상기 전압 인가수단에 의해 인가되는 전압을 펄스 변조하는제2펄스변조기를추가구비하는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '시료대에 인가되는 전압을 펄스 변조'하는 목적과 일치하는 '제2펄스변조기'를 근거로 선택한다.
- 상기 전압 인가수단에 의해 인가되는 전압을 펄스 변조하는제2펄스변조기
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4논리 통합
logical_integration청구항 13의 전압 인가수단과 청구항 14의 제2펄스변조기 관계를 통해, 전압을 펄스 변조하는 구체적 구성 요소가 제2펄스변조기임을 확인한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 직접적인 답변으로 '제2펄스변조기'를 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 핵심 용어를 사용하여 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
제2펄스변조기
핵심 해석 (core_interpretation)
플라즈마 처리장치에서 시료대에 인가되는 전압의 제어를 위해 제2펄스변조기를 추가로 구비하여 전압을 펄스 변조할 수 있음을 나타낸다.