스트리머 코로나 방전에 의한 플라즈마 전리기체 발생장치 document_id 1019970008123

[청구항 1] 직류 또는 교류전압을 제어하기 위한 전압제어장치(11)와, 교류전압을 승압하는 고전압 변압기(12)와, 승압된 교류고전압을 직류고전압으로 변환하는 고전압 정류기(13)와, 펄스방전을 위한 충전용 콘덴서(c2)와, 불꽃방전을 발생하는 스파크갭스위치와, 플라즈마를 발생하는 플라즈마반응기(16)를 구비한 플라즈마 발생장치에 있어서, 상기 스파크갭스위치에서 발생되는 불꽃방전을 임의적으로 단속되게하는 방전단속수단과, 상기 수단에 의해 출력되는 고전압을 전달받고, 플라즈마반응기(16)의 부하임피턴스 및 정전용량에 따른 lc공진에 의해서 첨예한 고전압펄스 코로나 방전이 되게하는 고주파리액터(l2)를 포함하는 것을 특징으로하는 스트리머 코로나 방전에 의한 플라즈마 전리기체 발생장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 방전단속수단(20)은 스파크갭스위치(15')의 방전단자(15a', 15b') 사이에서 소요의 구멍(28)이 형성된 회전원판(25)에 의해서 불꽃방전이 단속되게 한 것을특징으로하는스트리머 코로나 방전에 의한플라즈마 전리기체 발생장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 회전원판(25)은 절연으로된 원판에 일정갯수의 구멍(28)이 형성되고, 상기 스파크갭스위치(15')의 방전단자(15a', 15b') 사이에 설치되되, 회전원판(25)의 구멍(28)과 방전단자(15a', 15b')가 일치되게 한 것을특징으로하는스트리머 코로나 방전에 의한플라즈마 전리기체 발생장치. [청구항 4] 제2항 또는 3항에 있어서,상기 구멍(28) 속에 삽입된 도전체를 포함하는 것을특징으로하는스트리머 코로나 방전에 의한플라즈마 전리기체 발생장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 방전단속수단(40)은 스파크갭스위치(15'')의 방전단자(15a'', 15b'') 사이에서 기체관(43)에 연결된 분사노즐(42)을 통하여 출력되는 기체에 의해서 불꽃방전이 단속되게 한 것을특징으로하는스트리머 코로나 방전에 의한플라즈마 전리기체 발생장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 분사노즐(42)은 콤퓨레셔(35)를 통하여 공급되는 기체가 기체관(43)을 통하여 전달되게 상기 스파크갭스위치(15)의 방전단자(15a, 15b) 사이의 중앙 하단에 설치되되, 방전단자(15a'', 15b'') 사이에 발생되는 불꽃방전이 분사기체에 의해 단속되게 설치한 것을특징으로하는스트리머 코로나 방전에 의한플라즈마 전리기체 발생장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 방전단속수단(50)은 스파크갭스위치(15''')의 방전단자(15a''', 15b''') 사이에서 회전원판(25)에 형성된 구멍(28)과 분사노즐(42)에 의한 분사기체에 의해서 불꽃방전이 단속되게 한 것을특징으로하는스트리머 코로나 방전에 의한플라즈마전리기체 발생장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 고전압 정류기(13)에서 출력되는 고전압을 안정된 dc 전압으로 공급하기 위해 직렬 연결한 고전압콘덴서(c1)에서 출력되는 고전압을 제어하기위해 직렬 연결된 리액터(l1)를 포함하는 것을특징으로하는스트리머 코로나 방전에 의한플라즈마 전리기체 발생장치. [청구항 9] 제 1항에 있어서,스파크갭스위치에 상기 방전단속수단이 1개이상 직렬연결되게 한 것을특징으로하는스트리머 코로나 방전에 의한플라즈마 전리기체 발생장치. [청구항 10] 제1항에 있어서,방전전극(17)과 대향전극(18)의 극성을 바꾸기 위해 상기 고전압정류기(13)의 극성이 양(+)극성 또는 음(-)극성으로 구성된 것을특징으로하는스트리머 코로나 방전에 의한플라즈마 전리기체 발생장치. [청구항 11] 제1항에 있어서,상기 전압제어장치(11)에 직류전압이 공급될시 인버터를 이용하여 교류전압으로 변환되게하는 것을특징으로하는스트리머 코로나 방전에 의한플라즈마 전리기체 발생장치.