청정기능을보유한제조장치및그청정방법 document_id 1019970010588

[청구항 3] 제1항에 있어서,상기 피처리물의 주위로 청정기체를 선형상 또는 커튼형상으로 형성하고, 외부환경보다 국부적으로 청정도가 높은 처리공간을 형성하는수단구비한것을특징으로 하는제조장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,장치내의 청정도를 검지하는 검지수단과, 상기 검지수단에 의하여 검지된 청정도의 데이터에 의하여, 상기 순환수단 혹은 공급수단의 적어도 하나를 제어하고, 장치 내 공간의 청정도를 유지하는제어수단구비한것을특징으로 하는제조장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,분진 혹은 불필요한 성분물질을 제거하는 기능을 보유하는 물질의 증기, 액적 또는 기체를 청정기체 중에 혼합하는혼합수단구비한것을특징으로 하는제조장치. [청구항 8] 제6항에 있어서,분진 혹은 불필요한 성분물질을 제거하는 기능을 보유하는 물질의 증기, 액적 또는 기체를 청정기체 중에 혼합하는혼합수단구비한것을특징으로 하는제조장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 송풍구가 상기 피처리물을 덮어 가리는 크기인 것을 특징으로 하는 청정기능보유한로봇장치. [청구항 11] 제9항에 있어서,상기 송풍구가 상기 피처리물로 향하도록 상기 제1노즐을 상기 아암에 고정하는 제1노즐 고정수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 청정기능보유한로봇장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,변보다 긴 지름을 보유한 송풍구를 보유하고, 상기 피처리물을 에워싸는 기체를 상기 흡입구로부터 흡입하는 제2노즐과, 상기 흡입구가 상기 송풍구와 마주보도록 상기 제2노즐을 상기 아암에 고정하는 제2노즐 고정수단을 구비하고, 상기 유지부가 상기 송풍구와 상기 흡입구와의 사이의 공간에서 상기 피처리물을 유지시키는 것을 특징으로 하는 청정기능보유한로봇장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 흡입구가 상기 피처리물을 덮어 가리는 크기인 것을 특징으로 하는 청정기능보유한로봇장치. [청구항 14] 제12항 또는 제13항에 있어서,상기 제2노즐에 흡입된 기체로부터 분진 또는 불필요한 성분물질을 제거하여 상기 청정기체로서 상기 제1노즐로부터 송풍하는 순환수단을 구비한 것을 특징으로 하는 청정기능보유한로봇장치. [청구항 15] 제12항 또는 제13항에 있어서,상기 유지부가 상기 송풍구와 상기 흡입구와의 사이의 공간으로부터 나와 피처리물을 유지시킨 후, 상기 공간에 상기 피처리물이 위치하도록 움직이는 것을 특징으로 하는 청정기능보유한로봇장치. [청구항 16] 제9항 내지 제13항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 송풍구로부터 송풍된 청정기체를 관형상으로 에워싸도록, 청정기체를 선형상 또는 커튼 형상으로 형성하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 청정기능보유한로봇장치. [청구항 17] 제9항 내지 제13항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 송풍구와 상기 흡입구의 사이 공간의 분진 또는 불필요한 성분 물질의 농도, 온도, 습도로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 하나의 하나를 제어하는 제어수단을 구비한 것을 특징으로 하는 청정기능보유한로봇장치. [청구항 18] 제9항 내지 제13항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 청정기체로서 질소가스 또는 공기를 공급하는 공급수단을 구비한 것을 특징으로 하는 청정기능보유한로봇장치. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 개구부가 상기 피처리물을 덮어 가리는 크기인 것을 특징으로 하는 청정기능보유한로봇장치. [청구항 21] 제19항에 있어서,상기 후드가 상기 개구부에 상기 수용공간 내의 청정기체를 덮도록 청정기체를 선상 또는 커튼형상으로 형성하는 수단과, 청정기체를 흡입하는 흡입구를 보유하는 것을 특징으로 하는 청정기능보유한로봇장치. [청구항 22] 제21항에 있어서,상기 흡입구가 상기 피처리물의 긴 변보다 긴 지름을 보유하는 것을 특징으로 하는 청정기능보유한로봇장치. [청구항 23] 제22항에 있어서,상기 흡입구로부터 흡입된 기체에서 분진 또는 불필요한 성분물질을 제거하여 상기 청정기체로서 상기 송풍구로부터 송풍하는 순환수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 청정기능보유한로봇장치. [청구항 24] 제19항, 제20항, 제22항 또는 제23항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 유지부가, 상기 개구부로터 나와서 피처리물을 유지시킨 후, 상기 수용공간으로 상기 피처리물을 수용하도록 움직이는 것을 특징으로 하는 청정기능보유한로봇장치. [청구항 25] 제19항, 제20항, 제22항 또는 제23항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 수용공간의 분진 또는 불필요한 성분물질의 농도, 습도로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 제어하는 제어수단을 구비한 것을 특징으로 하는 청정기능보유한로봇장치. [청구항 26] 제19항, 제20항, 제22항 또는 제23항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 청정기체로서 질소가스 또는 공기를 공급하는 공급수단을 구비한 것을 특징으로 하는 청정기능보유한로봇장치. [청구항 43] 제2항에 있어서,상기 피처리물의 주위로 청정기체를 선형상 또는 커튼형상으로 형성하고, 외부환경보다 국부적으로 청정도가 높은 처리공간을 형성하는수단구비한것을특징으로 하는제조장치. [청구항 44] 제2항에 있어서,장치내의 청정도를 검지하는 검지수단과, 강기 검지수단에 의하여 검지된 청정도의 데이터에 의하여 상기 순환장치 혹은 공급수단의 적어도 하나를 제어하고, 장치내 공간의 청정도를 유지하는제어수단구비한것을특징으로 하는제조장치. [청구항 45] 제2항에 있어서,분진 혹은 불필요한 성분물질을 제거하는 기능을 보유하는 물질의 증기, 액적 또는 기체를 청정기체 중에 혼합하는혼합수단구비한것을특징으로 하는제조장치. [청구항 46] 제7항에 있어서,분진 혹은 불필요한 성분물질을 제거하는 기능을 보유하는물질의 증기, 액적 또는 기체를 청정기체 중에 혼합하는혼합수단구비한것을특징으로 하는제조장치.