가열 제어 장치 document_id 1019970018487

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 피가열재의 이동에 따른 열손실량을 보충하기 위해서상기특정위치가열수단의출력변화시키는것을특징으로 하는가열 제어 장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 반송 수단이 상기 피 가열재와 가열 수단을 대면시킬수 있는 개구부를 구비하고, 상기 개구부에서의 반송 방향의 후단에 가열을 미치게 하는 가열 수단의 출력을 피 가열재의 이동에 따라순차정지시키는것을특징으로 하는가열 제어 장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 피가열재가 반도체 소자를 형성하기 위한기판인것을특징으로 하는가열 제어 장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 가열 범위에 포함되는 복수의 가열 수단 내, 상기 특정위치 가열 수단을 제외하는 가열 수단의 출력을 거의 일정하게유지하는것을특징으로 하는가열 제어 장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 피 가열재가 반송되고, 그 선단면과 상기 가열 수단의 임의의 하나의 선단면이 일치한 시간을 기준으로 하는 경과 시간을 t [s], 상기 가열수단의 배치 간격을 lr [m], 상기 피 가열재의 반송 방향 길이를 lg [m], 상기 반송 수단에 의한 피가열재의 반송 속도를 v [m/s], 임의의 경과 시간 t [s]에서의 상기 가열 수단의 출력을 h(t) [w/m2]로 하였을 때, 경과 시간 t [s]가 0≤t≤lr/v [s] 및 (lg-2lr)/v≤t≤(lg-lr)/v [s]일 경우에는, 상기 피 가열재의 반송에 따르는 열손실량을 보충하기 위해 상기 가열 수단의 출력 h(t) [w/m2]를 변화시키고, 경과 시간 t [s]가 lr/v≤t≤(lg-2lr)/v [s]일 경우에는, 상기 가열 수단의 출력 h(t) [w/m2]를 거의 일정하게유지하는것을특징으로 하는가열 제어 장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 피 가열재는 선단면 및 후단면이 가열 수단의 폭 방향과 평행한 직사각형을 이루고, 상기 피 가열재를 균일한 소정 온도로 유지하기 위해 필요한 단위 면적당의 상기 가열 수단의 일정 출력을 hs [w/m2], 상기 피 가열재를 반송할 경우, 0≤t≤lr/v[s] 및 (lg-2lr)/v≤t≤(lg-lr)/v [s]에서의 상기 가열수단의 출력을 hv(t) [w/m2]로 하였을 때, 상기 가열 수단의 출력은, 경과 시간t [s]가, 0≤t≤lr/v [s]일 경우에는 다음의 수학식을 만족시키는 hv(t) [w/m2],[수학식]경과 시간 t [s]가, lr/v≤t≤(lg-2lr)/v [s]일 경우에는 hs [w/m2]경과 시간 t [s]가, (lg-2lr)/v≤t≤lg-lr)/v [s]일 경우에는, 다음의 수학식을 만족시키는 hv(t) [w/m2],[수학식주어지는것을특징으로 하는가열 제어 장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 피 가열재는 상기 반송 수단과 일체적으로 이동하는 판 형상 부재 상에 배치되어 반송됨과 동시에, 상기 가열 수단은 상기 피 가열재를 상기 판 형상 부재를 통해서가열하는것을특징으로 하는가열 제어 장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 반송 수단과 일체적으로 이동하는 단열재가피가열재의주연부근방배치되어있는것을특징으로 하는가열 제어 장치. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 피가열재의 피 가열 면을 상기 피 가열 면 보다 크게, 또 상기 반송 수단과 일체적으로 이동하는 판 항상 부재의 중앙 영역에 밀접(密接시키는것을특징으로 하는가열 제어 장치. [청구항 11] 제9항에 있어서,상기 피가열재의 피 가열 면을 상기 피 가열 면 보다 큰 판 형상 부재의 중앙 영역에 밀접시킴과 동시에,상기단열재를판 형상부재의외주연부와피가열재의외주연부사이설치한것을특징으로 하는가열 제어 장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 피가열재의 피 가열 면을 상기 피 가열 면 보다 크고, 또 상기 반송 수단과 일체적으로 이동하는 판 형상 부재의 중앙 영역에 밀접시켜,상기단열재를판 형상부재의외주연부와피가열재의외주연부사이설치한것을특징으로 하는가열 제어 장치. [청구항 14] 제1항에 있어서,상기 가열 수단은 피 가열재의 반송 방향에 수직인 폭 방향으로 배치된 가열용 램프와, 이 가열용 램프의 열을 반사하고 상기 피 가열재에 조사하는반사부재구성되어있는것을특징으로 하는가열 제어 장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 가열용 램프는등간격배치되어있는것을특징으로 하는가열 제어 장치. [청구항 16] 제3항에 있어서,상기 피 가열재는 상기 반송 수단 상의 개구부를 덮도록 배치된균열판위탑재되는것을특징으로 하는가열 제어 장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 균열판의 외주연부와 피 가열재의 외주연부 사이에단열재설치되어있는것을특징으로 하는가열 제어장치.