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반도체장치 제조용 청정실의 대기중의 수용성 오염물질 분석방법 및 분석장치 document_id 1019970021338

출원번호
1019970021338
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 10] 제9항에 있어서,상기 응축기는 시료공기중의 수분을 응축하여 액화시키기 위한 냉매관, 상기 냉매관과 접촉하도록 하여 시료공기를 흐르도록 하는 시료공기관, 응축된 수적을 수집하기 위한 수적수집기 및 수집된 수적을 응축기 외부로 인출하기 위한 수적인출관을 포함하며, 상기 냉매관에는 냉매인입관과 냉매 인출관이 형성되어 냉매의 순환에 의하여 항상 저온으로 유지될 수구성됨을특징으로 하는상기 분석장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 응축기는 냉매관이시료공기관형성됨을특징으로 하는상기 분석장치. [청구항 12] 제10항에 있어서 상기 응축기는시료공기관의냉매관형성됨을특징으로 하는상기 분석장치. [청구항 13] 제10항에 있어서,상기 응축기는 냉매관과 시료공기관이 서로 연설되도록 하여 판형으로 적층되도록형성됨을특징으로 하는상기 분석장치. [청구항 14] 제10항에 있어서,상기 냉매가 저온으로 유지되는 냉각수특징으로 하는상기 분석장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 냉매가 0 내지 10℃의온도범위이내의저온유지됨을특징으로 하는상기 분석장치. [청구항 16] 제9항에 있어서,상기 가압펌프가 연동펌프특징으로 하는상기 분석장치. [청구항 17] 제9항에 있어서,상기 분석기기가 이온교환크로마토크래피임특징으로 하는상기 분석장치. [청구항 19] 제18항에 있어서,상기 습도조절장치가 가습기와 제습기특징으로 하는상기 분석장치. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 습도조절장치가 가습기특징으로 하는상기 분석장치. [청구항 21] 제18항에 있어서,상기 시료공기흡입기와 상기 응축기 사이에 유로선택밸브를 통하여표준분석가스공급원과청정공기공급원더연결되어특징으로 하는상기 분석장치. [청구항 22] 제21항에 있어서,상기 표준분석가스공급원과 청정공기공급원은 서로 표준분석가스의 농도를 조절하기 위하여 청정공기와 미리 혼합되도록 연결되고, 혼합된 분석가스가 상기 유로선택밸브를 통하여 응축기로 공급될 수연결되어특징으로 하는상기 분석장치. [청구항 23] 제22항에 있어서,상기 유로선택밸브가 3방향밸브특징으로 하는상기 분석장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
분석장치의 응축기는 시료공기 중의 수분을 응축시키기 위해 어떤 구성요소들을 포함하며, 냉매의 순환을 통해 저온을 유지하기 위해 냉매관에는 무엇이 형성되어 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    분석장치 응축기의 구성요소와 냉매 순환을 위해 냉매관에 형성된 구조를 찾는 질문이다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 10에서 응축기의 구성요소와 냉매관의 형성 구조에 관한 정보를 추출한다.

    • 상기 응축기는 시료공기중의 수분을 응축하여 액화시키기 위한 냉매관, 상기 냉매관과 접촉하도록 하여 시료공기를 흐르도록 하는 시료공기관, 응축된 수적을 수집하기 위한 수적수집기 및 수집된 수적을 응축기 외부로 인출하기 위한 수적인출관을 포함하며, 상기 냉매관에는 냉매인입관과 냉매 인출관이 형성되어
  3. 3근거 선택evidence_selection

    질문에 직접적으로 대응하는 구성요소(냉매관, 시료공기관, 수적수집기, 수적인출관)와 냉매관의 형성 구조(냉매인입관, 냉매인출관) 구절을 선택한다.

    • 냉매관, 상기 냉매관과 접촉하도록 하여 시료공기를 흐르도록 하는 시료공기관, 응축된 수적을 수집하기 위한 수적수집기 및 수집된 수적을 응축기 외부로 인출하기 위한 수적인출관을 포함하며, 상기 냉매관에는 냉매인입관과 냉매 인출관이 형성되어
  4. 4논리 통합logical_integration

    추출된 구성요소들을 나열하고, 냉매관에 형성된 인입관과 인출관을 결합하여 답변을 구성한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    응축기의 구성요소는 냉매관, 시료공기관, 수적수집기, 수적인출관이며, 냉매관에는 냉매인입관과 냉매인출관이 형성되어 있다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에서 요구한 두 가지 사항을 포함하여 리스트 형식으로 최종 답변을 생성한다.

최종 답변 (final_answer)
응축기는 냉매관, 시료공기관, 수적수집기, 수적인출관을 포함하며, 냉매관에는 냉매인입관과 냉매 인출관이 형성되어 있다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 냉매관과 시료공기관, 수적 수집 및 인출 구조를 갖춘 응축기를 통해 시료공기 중의 수분을 효과적으로 응축 및 분리할 수 있는 분석장치에 관한 것이다.