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플라즈마 시스템용 평형 소스 document_id 1019970021840

출원번호
1019970021840
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 1] 고주파 전원에 결합된 플라즈마 시스템에 있어서 동작중에 플라즈마가 발생하는 내부 공동을 규정하는 챔버와 제1단자 및 제2단자를 구비하여 동작 중 상기 전원으로부터의 전력을 상기 챔버 내부의 플라즈마 에 공급하는 코일과 상기 제1단자와 기준전 위 사이에 결합되는 제1캐패시터와 상기 제2단자와 전원 사시에 결합되 제2캐패시터를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시스템 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 코일nan은챔버내부의내부공동의외측위치되는것을특징으로 하는플라즈마 시스템. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 전원은 주파수 f에서 동작하며, 상기 코일은 챔버 내부에 플라즈마가 존재할 때 인덕턴스 l을 갖고, 상기 제1, 제2캐패시터는 각각 c1, c2의 캐패시턴스를 가지며, 제1, 제2캐패시터와 코일의 조합은 공진 주파수가 (2π)-1(lc)-1/2, c가 1/{(c1)-1+(c2)-1}이며, 상기 공진 주파수는 f에 근접하도록선택되는것을특징으로 하는플라즈마 시스템. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 챔버는 유전체 재료로 된 돔을 포함하고, 상기 코일은상기돔의외부둘러싸는것을특징으로 하는플라즈마 시스템. [청구항 5] 제3항에 있어서,상기 챔버는 반도체 재료로된 돔을 포함하고, 상기 코일은상기돔의외부둘러싸는것을특징으로 하는플라즈마 시스템. [청구항 6] 제3항에 있어서,상기 전원과 제2캐패시터 사이에 접속되는 정합 회론망을 추가로 포함하는데, 상기 전원으로부터의 전력은 상기 정합 회로망과 제2캐패시터를 통하여코일전달되는것을특징으로 하는플라즈마 시스템. [청구항 7] 제3항에 있어서,상기 기준전위는접지전원인것을특징으로 하는플라즈마 시스템. [청구항 8] 제3항에 있어서,상기 제2캐패시터는 제1, 제2단자를 구비하고, 상기 제2캐패시터의 제2단자는 코일의 제2단자에 접속되며, 상기 플라즈마 시스템은 상기 제2캐패시터의 제1단자와 제2기준전위 사이에 접속되는분류캐패시터를추가하는것을특징으로 하는플라즈마 시스템. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 제2기준전위는접지전위인것을특징으로 하는플라즈마 시스템. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기제1, 제2캐패시터의 값은 의 값을 만족시키도록 선택되고, 상기 식에서 이고 l은 플라즈마가 존재할 때 코일의 인덕턴스, ω는전원라디안 주파수인것을특징으로 하는플라즈마 시스템. [청구항 11] 제3항에 있어서,상기제1, 제2캐패시터의 적어도 하나는가변패캐시터인것을특징으로 하는플라즈마 시스템. [청구항 12] 제10항에 있어서,상기제1, 제2캐패시터는 모두 가변 패캐시터이고, 그들의 값은 의 값을 만족시키도록 조정되고, 상기 식에서 이고, 플라즈마가 존재할 때 코일의 인덕턴스, ω는전원라디안 주파수인것을특징으로 하는플라즈마 시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마 시스템에서 전원의 동작 주파수 f와 공진 주파수가 근접하도록 하기 위해, 코일의 인덕턴스 l과 제1, 제2캐패시터의 캐패시턴스 c1, c2가 형성하는 조합의 공진 주파수는 어떻게 정의되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    전원의 동작 주파수 f와 공진 주파수가 근접하도록 하는 코일 l과 제1, 제2캐패시터 c1, c2의 조합에 의한 공진 주파수 정의식을 찾는 것이다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 3에서 코일의 인덕턴스 l, 제1/제2캐패시터의 캐패시턴스 c1, c2 및 이들의 조합에 의한 공진 주파수 식을 추출한다.

    • 상기 코일은 챔버 내부에 플라즈마가 존재할 때 인덕턴스 l을 갖고, 상기 제1, 제2캐패시터는 각각 c1, c2의 캐패시턴스를 가지며, 제1, 제2캐패시터와 코일의 조합은 공진 주파수가 (2π)-1(lc)-1/2, c가 1/{(c1)-1+(c2)-1}이며
  3. 3근거 선택evidence_selection

    공진 주파수 정의와 관련된 수식 구절을 선택한다.

    • 제1, 제2캐패시터와 코일의 조합은 공진 주파수가 (2π)-1(lc)-1/2, c가 1/{(c1)-1+(c2)-1}
  4. 4논리 통합logical_integration

    추출된 수식에서 공진 주파수는 (2π)-1(lc)-1/2이며, 여기서 c는 1/{(c1)-1+(c2)-1}로 정의됨을 결합한다.

    • 제1, 제2캐패시터와 코일의 조합은 공진 주파수가 (2π)-1(lc)-1/2, c가 1/{(c1)-1+(c2)-1}
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    질문에서 요구하는 공진 주파수의 정의를 수식 형태로 정리한다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    최종 답변을 수식 형태로 작성한다.

최종 답변 (final_answer)
공진 주파수는 (2π)-1(lc)-1/2이며, c는 1/{(c1)-1+(c2)-1}이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
플라즈마 시스템의 전원 주파수와 공진 주파수를 일치시키기 위해 코일의 인덕턴스와 두 캐패시터의 캐패시턴스 값을 이용한 공진 주파수 산출식을 정의하고 있다.