반도체 확산 설비의 확산로 고정장치 document_id 1019970030803

[청구항1] 확산로를 지지하며 상기 확산로의 외주면과 대향되게 소정 형상의 홈이 형성되어 있는 받침대와 상기 받침대를 지지하는 지지판과 상기 확산로의 유동을 방지하기 위해서 결합부재에 의해 양측단부가 상기 지지판의 양측단부에 고정되는 밴딩부와 상기 지지판의 높낮이를 조절하는 높낮이 조절부와 상기 높낮이 조절부를 지지고정하는 고정판를 포함하는 반도체 확산 설비의 확산로 고정장치에 있어서, 상기 지지판의 양측단부 중에서 적어도 어느 한 단부에 상기 지지판의 적어도 일측단부가 상기 밴딩부에 결합된 결합부재를 착탈가능하게 수용하도록 상기 지지판의 일측단부에 일측이 개구된 리세스부가 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 확산 설비의 확산로 고정장치 상기 지지부의 양측단부 중에서 적어도 어느 한 단부에 상기 결합부재가 고정될 수 있도록 일방향으로 소정 폭을 갖는 리세스부가 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 확산 설비의 확산로 고정장치 [청구항2] 확산로를 지지하며 상기 확산로의 외주면과 대향되게 소정 형상의 홈이 형성되어 있는 받침대와 상기 받침대를 지지하는 지지판과 상기 확산로의 유동을 방지하기 위해서 결합부재에 의해 양측단부가 상기 지지판의 양측단부에 고정되는 밴딩부와 상기 지지판의 높낮이를 조절하는 높낮이 조절부와 상기 높낮이 조절부를 지지고정하는 고정판를 포함하 반도체 확산 설비의 확산로 로 고정장치에 있어서, 상기 밴딩부의 양측단부 중에서 적어도 어느 한 단부에 상기 밴딩부의 적어도 일측단부가 상기 지지판에 결합된 결합부재를 착탈가능하게 수용하도록 상기 밴딩부의 일측단부에 일측이 개구 리세스부가 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 확산 설비의 확산로 고정장치 [청구항3] 제 2 항에 있어서,상기 결합부재는 상기 밴딩부 상부에서부터 상기 밴딩부의리세스부체결되는것을특징으로 하는반도체 확산 설비의 확산로 고정장치.