웨이퍼 캐리어 document_id 1019970032174

[청구항 1] 일반적으로 장방형 직립의 프레임을 함유하고, 그 프레임은 수평의 상측 프레임부 재와, 상측 프레임부재에 평행인 하측 프레임부재와, 하측 프레임부재와 상측 프레임부재의 사이에 그들과 일체로 연장하는 한쌍의 대향하며 직립의 측 면 프레임부재를 가지고 있어 상기 프레임부재들은 웨이퍼들을 받는 개방 전 면을 구성하고 상측 프레임부제와 일체이며 그로부터 후향으로 연장하는 사실상 수평의 상 측 구획 하측 프레임부재와 일체이며 그로부터 후향으로 연장하는 사실상 수평의 하 측 기저부, 로 이루어지는 컨테이너부와, 투명의 플라스틱 겉껍데기로 이루어지어, 그 겉껍데기가 상측 패널부에 접속하고, 하측 기저부에 접속하며, 그들 간에 연장하는 u형 구획을 가진 추가의 성형부, 로 이루어지는 웨이퍼 컨테이너 [청구항 2] 제1항에 있어서,상측부와 하측 기저부 간을 연장하는 복수의 웨이퍼 지지 기둥을 더 함유하고, 에이퍼 지지 기둥들은 복수의 수직으로 배열된 웨이퍼 접촉 선반으로 이루어져, 각 기둥의 웨이퍼 접촉 선반들은 복수의 수직으로 정렬된 사실상 수평이며 평행인 웨이퍼 슬롯들을 형성하게 정렬되어 사이있는,웨이퍼 캐리어. [청구항 3] 제2항에 있어서,기둥의 웨이퍼 지지 선반들이 따로 따로 형성돼 있고 각 웨이퍼 지지 기둥이 정전기 소산 재료로 성형있는웨이퍼 컨테이너. [청구항 4] 제2항에 있어서,장방형 프레임, 상측부, 기저부, 및 웨이퍼 지지 기둥들이 모두 정전기 소산 재료로 형성되어 도전적으로 접속돼 있으며 투명 재료는 비 정전기 소산 재료로 형성있는웨이퍼 컨테이너. [청구항 5] 제1항에 있어서,웨이퍼 컨테이너는 관련 장비에 잇게 적합돼 있고, 관련 장비는 접촉면부를 가지고 있으며 웨이퍼 컨테이너의 하측 기저부는 관련 장비의 접촉면부와 맞물게 형상지어진 장비 접촉면더 함유하는,웨이퍼 컨테이너. [청구항 6] 제2항에 있어서,쌍의 대향하여 내향으로 돌출하는 수직열의 위이퍼 가이들을 더 함유하고, 각각의 가이드가 각각의 복수의 슬롯에 상당하게 수직으로 사이띄어 배열돼 있고, 각 슬롯은 상이한 웨이퍼 선반에 상응하고, 웨이퍼 가이드들의 열이 각각의 직립의 측면 프레임부재들에 각각 배치있는,웨이퍼 캐리어. [청구항 7] 제6항에 있어서,웨이퍼 지지 기둥의 각 웨이퍼 접촉 선반이 각 웨이퍼를 접촉하여 지지하기 위한 상향으로 연장하는 비드함유하고 있는웨이퍼 컨테이너. [청구항 8] 제5항에 있어서,웨이퍼 컨테이너에 담겨지게 될 웨이퍼들이 원주의 가장자리를 가지고 있고, 각 웨이퍼 슬롯이 웨이퍼 앉힘위치를 가지고 있으며, 웨이퍼 컨테이너가 복수의 웨이퍼 멈추개를 가지고 있고, 각 멈추개는 상향으로 연장하는 비드들의 후향으로 배치되어, 상기 웨이퍼의 삽입중 상기 웨이퍼가 웨이퍼 앉힘위치를 지나 수평으로 죄쳐지는 경우 상기 위이퍼를 접촉하게 형상지어져 배치있는,웨이퍼 컨테이너. [청구항 9] 제2항에 있어서,지지기둥 상의 각 웨이퍼 접촉 선반이 웨이퍼를 접촉하여 지지하기 위한, 전향으로 배치되어 상향으로 면하며 후향으로 배치되어 상향으로 연장하는 비드함유하는웨이퍼 컨테이너. [청구항 10] 제5항에 있어서,상기 접촉 비드들의 각각이 가늘고 길며, 사실상 방사상 내향에 향해지고, 또 6밀리미터 미만의 길이있는웨이퍼 컨테이너. [청구항 11] 제3항에 있어서,기저부는 저부표면을 가지어 장비 접촉면을 포함하고, 제 1의 성형부는 정전기 소산 재료로 형성돼 있고, 컨테이너는 정전기 소산 재료로 형성된 로보트 플랜지를 또한 제공하며 로보트 플랜지, 웨이퍼 지지 기둥 및 도어 프레임이 장비 접촉면에의 도전성 경로있는웨이퍼 컨테이너. [청구항 12] 제1항에 있어서,의 성형부와 제 2의 성형부에 접속하여 상기 부들을 함께 고정하는 한쌍의 핸들더 함유하는,웨이퍼 컨테이너. [청구항 14] 제13항에 있어서,웨이퍼 지지들은 캐리어의 각 측면 상에 하나의, 대향하여 배치된 한쌍의 지지 기둥을 함유하고, 각 지지 기둥이 상측부으로부터 하측부까지 연장하여, 그 지지 기둥들은 상측부와 하측부에 도전적으로 접속되고, 그 지지 기둥들은 각각이 복수의 수직으로 배열된 상향으로 연장하는 돌기들을, 각 돌기에서 웨이퍼들의 하측과의사실상점접촉위해,있는웨이퍼 캐리어. [청구항 16] 제15항에 있어서,선반이 적어도 일부 전방에 앉힘수준에 상향으로 연장하는 비드들의 내향으로 배치된 전방 멈추개로 또한 이루어져 있어 상기 선반에 앉혀진 웨이퍼의 전방 움직임을 방해하고, 각 선반이 상향으로 연장하는 비드들의 후향으로 내향에 배치된 후방 멈추개를 또한 가지고 있어 상기 선반의 웨이퍼의 후방 움직임을 방해하며, 상기 전방 멈추개가 삽입수준에 연장하지 않아 웨이퍼들을 상기 전방 멈추개들과의 간섭 없이 삽입수준에서 삽입하고제거할수있는웨이퍼 캐리어. [청구항 17] 제15항에 있어서,좌측, 배면 및 우측 둘레에 연장하여 에워싸는 일체로 성형된 외측의 투명 겉껍데기더 함유하는,웨이퍼 캐리어. [청구항 18] 제15항에 있어서,상측부, 하측부 및 웨이퍼 지지 기둥들이 정전기 소산 재료로 따로 따로 성형되어 기계식으로 접속있는웨이퍼 캐리어. [청구항 19] 제18항에 있어서,웨이퍼 접촉 비드들이 가늘고 기다랗며 내향으로 배열있는웨이퍼 캐리어. [청구항 20] 제19항에 있어서,웨이퍼 지지 선반들의 각 기둥이 외측 겉껍데기와는 따로 형성되고 또 그 기둥들이 그 외측 겉껍데기부착되는웨이퍼 캐리어. [청구항 21] 제15항에 있어서,상측부와 저면부로 이루어져 좌측면, 배면 및 우측면 둘레에 연장하여 에워싸는 상측부와 저면부로 이루어진 일체로 성형된 외측의 겉껍데기더 함유하는,웨이퍼 캐리어. [청구항 22] 제21항에 있어서,선반들의 각 기둥이 외측의 겉껍데기와 따로 따로 형성되고 또 각 기둥이 정전기 소산 재료로 형성되고, 캐리어거 장비 접촉면을 가진 저면 기저부를 더 함유하며, 상기 저면 기저부는 외측 겉껍데기와 따로 따로 형성되어 정전기 소산 재료로 형성되며, 선반들의 각 기둥과 저면 기저가 전도적으로 접속있는웨이퍼 캐리어. [청구항 23] 제22항에 있어서,웨이퍼들은 앉힘위치가 삽입수준 아래에 있을 정도로 각각 앉힘위치를 각 선반 사있는웨이퍼 캐리어. [청구항 25] 제24항에 있어서,로보트 픽업을 손쉽게 하기 위해 장비 상에 위치된 로보트 픽업 핸들을 더 함유하고, 그 로보트 픽업 핸들이 정전기 소산 재료로 형성되어 그 장비 접촉면에 도전적으로 접속되고, 도어 프레임, 웨이퍼 지지 구조물, 장비 접촉면 등이 도전적으로 접속돼 있어 상기 도어 프레임, 상기 웨이퍼 지지 구조물, 및 상기 로보트 장비 접촉면에 접지에의 경로가 대비있는웨이퍼 캐리어. [청구항 26] 제24항에 있어서,도어 프레임이 정전기 소산 재료로 형성되어 장비 접촉면에 도전적으로 접속있는웨이퍼 캐리어. [청구항 27] 제24항에 있어서,좌측면과 우측면에 각각 부착된 한쌍의 핸들을 더 함유하고, 그 핸들들이 전전기 소산 재료로 형성되어 장비 접촉면에 도전적접속된웨이퍼 캐리어. [청구항 28] 제25항에 있어서,장비 접촉면, 웨이퍼 지지 구조물, 픽업 핸들들이 도전성 플라스틱 점퍼에 의해 일부 도전적으로 접속있는웨이퍼 캐리어. [청구항 31] 제30항에 있어서,부재가 캐리어를 운반하는 핸들로 이루어져 있는 웨이퍼 캐리어.※ 참고사항 : 최초출원 내용공개하는 것임