레지스트처리시스템및레지스트처리방법 document_id 1019970045939

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 주아암기구의 상호간에 설치되고, 한쪽의 주아암기구로부터 다른 쪽의 주아암기구로 기판을 받아넘기기 위한부를더욱 구비하고 있는레지스트 처리시스템. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,처리유니트마다 설치되고, 그 처리유니트에 속하는 가열처리장치 및 냉각처리장치를 향하여 전진후퇴이동이 자유로우며, 또한 z축방향으로 이동이 자유롭고, 그 처리유니트에 속하는 가열처리장치로부터 냉각처리장치까지 기판을 반송하기 위한 복수의 홀더를 가지는 서브아암기구더욱 구비하고 있는레지스트 처리시스템. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 서브아암기구는, 가열처리장치 및 냉각처리장치 각각에 대하여, 주아암기구와는 반입·반출방향과는 반대방향으로부터,기판을반입반출하도록있는레지스트 처리시스템. [청구항 5] 제 3 항에 있어서,가열처리장치의 콤파트먼트는 2개의 기판출입용 개구를 구비하고,냉각처리장치의 콤파트먼트는 2개의 기판 출입용의 개구구비하고 있는레지스트 처리시스템. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,복수의 처리유니트는 직렬정렬하고 있는레지스트 처리시스템. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 주아암기구의 상호간에 설치되고, 한쪽의 주아암기구로부터 다른 쪽의 주아암기구로 기판을 받아넘기기 위한부를더욱 구비하고 있는레지스트 처리시스템. [청구항 9] 제 7 항에 있어서,처리유니트마다 설치되고, 그 처리유니트에 속하는 가열처리장치 및 냉각처리장치를 향하여 전진후퇴이동이 자유로우며, 또한, z축방향으로 이동이 자유롭고, 그 처리유니트에 속하는 가열처리장치로부터 냉각처리장치까지 기판을 반송하기 위한 복수의 홀더를 가지는 서브아암기구더욱 구비하는레지스트 처리시스템. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 서브아암기구는, 가열처리장치 및 냉각처리장치 각각에 대하여, 주아암기구의 반입·반출방향과는 반대방향으로부터,기판을반입반출시키도록있는레지스트 처리시스템. [청구항 11] 제 9 항에 있어서,가열처리장치의 콤파트먼트는 2개의 기판 출입용 개구를 구비하고,냉각처리장치의 콤파트먼트는 2개의 기판출입용 개구구비하고 있는레지스트 처리시스템. [청구항 12] 제 7 항에 있어서,복수의 처리유니트는 직렬정렬하고 있는레지스트 처리시스템. [청구항 13] 제 1 항에 있어서,액처리장치, 가열처리장치 및 냉각처리장치가 상기 처리유니트의 각각설치된레지스트 처리시스템. [청구항 14] 제 7 항에 있어서,액처리장치, 가열처리장치 및 냉각처리장치가 상기 처리유니트의 각각설치된레지스트 처리시스템. [청구항 16] 제 15 항에 있어서,상기 냉각처리장치는, 상기 가열처리장치내에서 발생한 열이 열처리장치에 전달되는 것을 방지하기 위해 가열처리장치와 액처리장치를 열적차단하는레지스트 처리시스템. [청구항 17] 제 15 항에 있어서,상기 홀더는, 상기 처리유니트의 각각의 스택에 속하는 각 콤파트먼트를 향해서 전진후퇴이동이 자유롭고, 또한 z축 방향으로 이동이 자유로우며, 또한 z축 둘레로 θ 회전이동자유로운레지스트 처리시스템. [청구항 18] 제 15 항에 있어서,상기 1개의 처리유니트의 상기 스택은,상기 1개의 처리유니트의 상기 스택의 상방의 콤파트먼트에 설치된 복수의 가열처리장치와;상기 복수의 가열처리장치와, 상기 1개의 처리유니트의 상기 스택의 상기 액처리장치의 사이에 위치하는 콤파트먼트내에 설치된 복수의 냉각처리장치구비하는레지스트 처리시스템. [청구항 19] 제 15 항에 있어서,액처리장치, 가열처리장치 및 냉각처리장치가 상기 처리유니트의 각각설치되어 있는레지스트 처리시스템. [청구항 23] 제 20 항 내지 제 22 항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 복수유니트의 각 유니트 사이에는, 인접하는 유니트의 반송수단과의 사이에서 기판을 주고받기 위한 기판이 적재되는 기판적재부설치되어 있는레지스트 처리시스템.