문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 열처리부는, 평면배치에서 보면 상기 제 1 반송로에 오버랩하도록배치됨을특징으로 하는기판 처리 시스템.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기제 1 및 제 2 반송로는, 모두 수평방향으로 연장되고, 서로 평행하게설치됨을특징으로 하는기판 처리 시스템.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 제 1 반송로는 수평방향으로 연장되고, 상기 제 2 반송로는수직방향연장됨을특징으로 하는기판 처리 시스템.
[청구항 5]
제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,상기제 1 및 제 2 반송로는,모두직선상연장됨을특징으로 하는기판 처리 시스템.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 액처리부는, 상기 제 2 반송로에 의하여상기열처리부이격됨을특징으로 하는기판 처리 시스템.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 액처리부는, 상기 제 1 및 제 2 반송로에 의하여상기카세트재치부이격됨을특징으로 하는기판 처리 시스템.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,상기 컨파트먼트중 상부에 위치하는 상부 컨파트먼트내에는 기판을 가열하기 위한 가열처리장치가 설치되고, 상기 컨파트먼트중 하부에 위치하는 하부 컨파트먼트내에는 기판을 냉각하기 위한냉각처리장치설치됨을특징으로 하는기판 처리 시스템.
[청구항 9]
제 8 항에 있어서,상기 가열처리장치가 설치된 상부 컨파트먼트는, 상기 액처리부보다도 높은장소위치됨을특징으로 하는기판 처리 시스템.
[청구항 10]
제 8 항에 있어서,상기 상부 컨파트먼트내에는 복수의 가열처리장치가 인접하여 설치되고, 상기 하부 컨파트먼트내에는 복수의 냉각처리장치가 인접하여설치됨을특징으로 하는기판 처리 시스템.
[청구항 11]
제 1 항에 있어서,상기 액처리부는, 상하 다단으로 적층된 복수의 컨파트먼트와, 각 컨파트먼트내에 각각 설치되어 기판을 회전시키면서 기판에 처리액을 뿌리는액처리장치구비함을특징으로 하는기판 처리 시스템.
[청구항 12]
제 1 항에 있어서,상기 열처리부의 아래쪽에 위치하고 상기 제 1 반송로와 제 2 반송로 사이에 설치되어 상기 서브아암기구로부터 메인아암기구로 기판을 주고 받기 위한 주고 받는부구비함을특징으로 하는기판 처리 시스템.
[청구항 13]
제 12 항에 있어서,복수의 스테이지가 상기 주고 받는부에 설치되어 있고, 이들 복수의 스테이지가 상기 카세트 재치부의 카세트의 배열과 동일하게배치됨을특징으로 하는기판 처리 시스템.
[청구항 14]
제 12 항에 있어서,부는, 평면배치에서 보면 상기 열처리부에 오버랩하도록배치됨을특징으로 하는기판 처리 시스템.
[청구항 15]
제 1 항에 있어서,상기 서브아암기구는, 기판을 유지하기 위한 홀더와, 이 홀더를 z축을 따라서 이동시키는 승강구동수단과, 홀더를 z축 주위로 회전시키는 θ회전구동수단과, 홀더를 xy면내에서 전진후퇴시키는전진후퇴구동수단구비함을특징으로 하는기판 처리 시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판 처리 시스템에서 상부 컨파트먼트와 하부 컨파트먼트의 설치 위치 및 각각에 설치되는 장치의 기능은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판 처리 시스템 내 상부 및 하부 컨파트먼트의 설치 위치와 각 컨파트먼트에 설치된 장치의 기능을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 8을 통해 상부 컨파트먼트에는 가열처리장치가, 하부 컨파트먼트에는 냉각처리장치가 설치됨을 확인한다.
- 상기 컨파트먼트중 상부에 위치하는 상부 컨파트먼트내에는 기판을 가열하기 위한 가열처리장치가 설치되고, 상기 컨파트먼트중 하부에 위치하는 하부 컨파트먼트내에는 기판을 냉각하기 위한냉각처리장치설치됨
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3근거 선택
evidence_selection상부/하부 위치 관계와 각 장치의 기능을 명시한 청구항 8의 구절을 선택한다.
- 상기 컨파트먼트중 상부에 위치하는 상부 컨파트먼트내에는 기판을 가열하기 위한 가열처리장치가 설치되고, 상기 컨파트먼트중 하부에 위치하는 하부 컨파트먼트내에는 기판을 냉각하기 위한냉각처리장치설치됨
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4논리 통합
logical_integration상부 컨파트먼트는 상부에 위치하며 가열 기능을 수행하고, 하부 컨파트먼트는 하부에 위치하며 냉각 기능을 수행함을 결합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation상부 컨파트먼트는 상부에 위치하여 기판 가열을 위한 가열처리장치를 포함하고, 하부 컨파트먼트는 하부에 위치하여 기판 냉각을 위한 냉각처리장치를 포함한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 위치와 기능을 명확히 구분하여 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
상부 컨파트먼트는 상부에 위치하며 기판을 가열하기 위한 가열처리장치가 설치되어 있고, 하부 컨파트먼트는 하부에 위치하며 기판을 냉각하기 위한 냉각처리장치가 설치되어 있다.
핵심 해석 (core_interpretation)
기판 처리 시스템을 상하로 구분된 컨파트먼트로 구성하여, 상부에서는 가열 처리를, 하부에서는 냉각 처리를 수행하도록 기능적으로 분리 배치한 기술이다.