문맥 (context)
[청구항1]
반도체소자 제조설비의 공정챔버내에서 웨이퍼를 일정한 각도로 회전시켜 공정위치로 이동시키는 반도체소자 제조설비의 스핀들포크조립체(spindle fork assembly)의 고정창치에 있어서,
포크가 연결된 고정원판에 부착되는 부슁키드(bushing keyed)와 상기 부슁키드를 스핀들축과 결합시켜주는 프렌지키드(flange keyed)를 하나로 통합하여일체형 부슁키드로 만들어 상기 일체형 부슁키드를 상기 스핀들축에 고정시키는 것을 특징으로 하는 반도체소자 제조설비의 스핀들포크조립체의 고정장치
[청구항2]
제 1 항에 있어서,상기 반도체소자 제조설비로는플라즈마활성화학기상증착장치인것을특징으로 하는상기 반도체소자 제조설비의 스핀들포크조립체의 고정장치.
[청구항3]
제 1 항에 있어서,상기 일체형 부슁키드를 상기 스핀들축에 고정시키는 방법은 상기 일체형 부슁키드 하단부에 관통구멍을 형성하고, 스핀들축에 너트형태의 홈을 형성하여볼트고정시키는것을특징으로 하는상기 반도체소자 제조설비의 스핀들포크조립체의 고정장치.
[청구항4]
제 1 항에 있어서,상기 일체형 부슁키드는세라믹재질인것을특징으로 하는상기 반도체소자 제조설비의 스핀들포크조립체의 고정장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
일체형 부슁키드를 스핀들축에 고정하는 구체적인 방법과 그에 필요한 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation일체형 부슁키드를 스핀들축에 고정하는 방법과 구성 요소를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 고정 방법에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 일체형 부슁키드를 상기 스핀들축에 고정시키는 방법은 상기 일체형 부슁키드 하단부에 관통구멍을 형성하고, 스핀들축에 너트형태의 홈을 형성하여볼트고정시키는것을특징으로 하는
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3근거 선택
evidence_selection고정 방법의 핵심 요소인 관통구멍, 너트형태의 홈, 볼트를 선택한다.
- 일체형 부슁키드 하단부에 관통구멍을 형성
- 스핀들축에 너트형태의 홈을 형성
- 볼트고정시키는것
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4논리 통합
logical_integration부슁키드의 관통구멍과 스핀들축의 홈을 이용해 볼트로 체결하는 구조임을 통합한다.
- 일체형 부슁키드 하단부에 관통구멍을 형성하고, 스핀들축에 너트형태의 홈을 형성하여볼트고정시키는것
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5결론 도출
conclusion_formulation일체형 부슁키드 하단부의 관통구멍과 스핀들축의 너트형태 홈을 활용하여 볼트로 고정한다는 결론을 도출한다.
- 일체형 부슁키드 하단부에 관통구멍을 형성하고, 스핀들축에 너트형태의 홈을 형성하여볼트고정시키는것
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 형태로 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
일체형 부슁키드 하단부에 관통구멍을 형성하고, 스핀들축에는 너트 형태의 홈을 형성하여 볼트로 고정하는 방법을 사용한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
일체형 부슁키드의 관통구멍과 스핀들축의 너트형 홈을 결합하여 볼트로 체결함으로써 고정한다.