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6반도체 잉곳 성장시 시드결정의 인상속도 최적화방법, 이를 적용한 반도체 잉곳 성장방법, 그에 따라 성장된 반도체 잉곳과반도체 웨이퍼 및 반도체장치 document_id 1019970054899

출원번호
1019970054899
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 24] 제 23 항에 있어서,상기 반도체 잉곳의 베이컨시-풍부영역의 직경은 일정한범위갖는것을특징으로 하는상기 반도체 잉곳. [청구항 25] 제 24 항에 있어서,상기 반도체 잉곳은 8인치 웨이퍼용 잉곳에 대하여 상기 베이컨시-풍부영역의 직경이 10 내지 16 cm범위내인것을특징으로 하는상기 반도체 잉곳. [청구항 26] 제 24 항에 있어서,상기 반도체 잉곳은 8인치 웨이퍼용 잉곳에 대하여 상기 베이컨시-풍부영역의직경이하인것을특징으로 하는상기 반도체 잉곳. [청구항 27] 제 24 항에 있어서,상기 반도체 잉곳은 8인치 웨이퍼용 잉곳에 대하여 상기 베이컨시-풍부영역의직경이상인것을특징으로 하는상기 반도체 잉곳. [청구항 28] 제 23 항에 있어서,상기 반도체 잉곳의 길이방향을 따라 형성된 상기 베이컨시-풍부영역의 주변으로는완전결정상태인것을특징으로 하는상기 반도체 잉곳. [청구항 29] 제 23 항에 있어서,상기 반도체 잉곳의 재질은 실리콘특징으로 하는상기 반도체 잉곳. [청구항 31] 제 30 항에 있어서,8인치 웨이퍼에 대하여 상기 베이컨시-풍부영역의 직경이 10 내지 16 cm범위내인것을특징으로 하는상기 반도체 웨이퍼. [청구항 32] 제 30 항에 있어서,8인치 웨이퍼에 대하여 상기 베이컨시-풍부영역의직경이하인것을특징으로 하는상기 반도체 웨이퍼. [청구항 33] 제 30 항에 있어서,8인치 웨이퍼에 대하여 상기 베이컨시-풍부영역의직경이상인것을특징으로 하는상기 반도체 웨이퍼. [청구항 34] 제 30 항에 있어서,상기 반도체 웨이퍼의 상기 베이컨시-풍부영역의 주변으로는완전결정상태인것을특징으로 하는상기 반도체 웨이퍼. [청구항 35] 제 30 항에 있어서,상기 반도체 웨이퍼의 재질은 실리콘특징으로 하는상기 반도체 웨이퍼. [청구항 37] 제 36 항에 있어서,8인치 웨이퍼에 대하여 상기 베이컨시-풍부영역의 직경이 10 내지 16 cm범위내인것을특징으로 하는상기 반도체장치. [청구항 38] 제 36 항에 있어서,상기 반도체 웨이퍼의 재질은 실리콘특징으로 하는상기 반도체장치. [청구항 39] 제 36 항에 있어서,상기 반도체 웨이퍼상에 일정한반도체소자형성된것을특징으로 하는상기 반도체장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
8인치 웨이퍼용 반도체 잉곳에서 베이컨시-풍부영역의 직경이 갖는 구체적인 범위는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    8인치 웨이퍼용 반도체 잉곳 내 베이컨시-풍부영역의 직경이 갖는 구체적인 수치 범위를 찾는 작업이다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 25에서 8인치 웨이퍼용 잉곳에 대한 베이컨시-풍부영역의 직경 범위를 명시한다.

    • 8인치 웨이퍼용 잉곳에 대하여 상기 베이컨시-풍부영역의 직경이 10 내지 16 cm범위내
  3. 3근거 선택evidence_selection

    질문에서 요구하는 '8인치 웨이퍼용 반도체 잉곳'과 '베이컨시-풍부영역의 직경 범위'에 직접 대응하는 청구항 25의 구절을 선택한다.

    • 8인치 웨이퍼용 잉곳에 대하여 상기 베이컨시-풍부영역의 직경이 10 내지 16 cm범위내
  4. 4논리 통합logical_integration

    청구항 25의 내용을 바탕으로 8인치 웨이퍼용 잉곳의 베이컨시-풍부영역 직경은 10 cm에서 16 cm 사이임을 확인한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    추출된 수치 범위를 사용하여 질문에 대한 답변을 구성한다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    최종 답변으로 10 내지 16 cm 범위를 제시한다.

최종 답변 (final_answer)
10 내지 16 cm 범위 내
핵심 해석 (core_interpretation)
8인치 웨이퍼용 반도체 잉곳의 품질 특성을 규정하기 위해 베이컨시-풍부영역의 직경을 10 내지 16 cm 범위로 한정한다.