문맥 (context)
[청구항 1]
전기적으로 그라운드가 되어 있고, 상면부에 차단층이 형성된 실리콘웨이퍼
상기 실리콘웨이퍼상에 형성된 차단층위에 구성되어 음의 바이어스전압이 인가되는 음전극들
상기 음전극들에 각각 수직입설형성되어 있으며, 상단부에 파지편이 구비되어 있는 지지봉들
상기 지지봉들의 상부에 상기 실리콘웨이퍼와 평행하게 소정간격 이격되어 지지되어 있는 음파방사판
상기 파지편과 음파방사판 사이에 연결되어 상기 음파방사판이 진동할 수 있도록 상기 음파방사판의 모서리를 파지고정하고 있는 탄성체들; 및
상기 음파방사판과 대향하는 상기 실리콘웨이퍼의 차단층상에 형성돼 재생시키고자 하는 초음파신호가 인가되면, 음의 바이어스전압이 걸린 음파방사판과의 정전력에 의해 상기 음파방사판을 진동시키는 양전극층을 포함하는 초음파 트랜스듀서
[청구항 2]
제 1항에 있어서,상기 탄성체와 상기 음파방사판은 알루미늄과 같은동일재질구성됨을특징으로 하는초음파 트랜스듀서.
[청구항 3]
제 1항에 있어서,상기 탄성체와 상기 음파방사판은 유전율이 큰 재질들로 구성하여 전하를 흐르게 하면서 상기 음파방사판보다 탄성체의 탄성률을 보다 큰 재질로 구성하여진동시키는것을특징으로 하는초음파 트랜스듀서.
[청구항 4]
제 1항에 있어서,상기 음파방사판의 진동에 의해 방사된 내측의 초음파가 상기 양전극층에서 재반사되어 탄성체들의 공백을 통하여 외부로 유출돼 외부음파와 간섭을 일으키는 것을 억제하기 위해서 상기 음파방사판과 탄성체들은 전면적에 걸쳐 얇은박막형성하고있는것을특징으로 하는초음파 트랜스듀서.
[청구항 5]
제 4항에 있어서,상기 박막으로는 폴리머(polymer)계열이용됨을특징으로 하는초음파 트랜스듀서.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
초음파 트랜스듀서에서 양전극층에 초음파 신호가 인가되었을 때, 음파방사판이 진동하게 되는 물리적 원리는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation양전극층에 초음파 신호가 인가될 때 음파방사판이 진동하게 되는 물리적 원리를 청구항 문맥에서 찾아낸다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 양전극층의 동작과 음파방사판의 진동 사이의 관계를 설명하는 부분을 추출한다.
- 음의 바이어스전압이 걸린 음파방사판과의 정전력에 의해 상기 음파방사판을 진동시키는 양전극층
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3근거 선택
evidence_selection진동의 원인인 '초음파 신호 인가'와 그 결과인 '정전력에 의한 진동'을 명시한 구절을 선택한다.
- 음의 바이어스전압이 걸린 음파방사판과의 정전력에 의해 상기 음파방사판을 진동시키는 양전극층
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4논리 통합
logical_integration양전극층에 초음파 신호가 인가되면, 음의 바이어스전압이 걸린 음파방사판 사이에 정전력이 발생하여 음파방사판을 진동시킨다는 인과관계를 도출한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 직접적인 답변으로, 정전력에 의한 진동임을 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 근거를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
음의 바이어스전압이 걸린 음파방사판과의 정전력에 의해 진동한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 양전극층과 음전극(음의 바이어스전압이 걸린 음파방사판) 사이의 정전력을 이용하여 음파방사판을 진동시키는 초음파 트랜스듀서의 구동 원리를 기술한다.