반도체 장비용 웨이퍼 마운터 document_id 1019970055637

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기한 접착테이프공급부에는 접착성이 없는 보호테이프가 감겨진 접착테이프를 사용할 경우 접착성이 없는 보호테이프를 회수하도록 상기한 제3 로울러에 벨트로 연결되어 회전되는제5로울러더설치된것을특징으로 하는반도체 장비용 웨이퍼 마운터. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기한 접착테이프공급부의 제3 로울러와 제4 로울러 사이의 상하부에는이온아이져설치된것을특징으로 하는반도체 장비용 웨이퍼 마운터. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기한 접착테이프공급부의 제1 로울러는 외측에 회전판이 설치되고, 이 회전판에 스톱퍼를 서로 대칭으로 설치하되, 상기 스톱퍼의 일측은 힌지로 결합되고, 타측이 상기한 회전판의 양측면에 접촉되며, 중앙부에는 스프링이 설치되어 탄성력이 있는 것특징으로 하는반도체 장비용 웨이퍼 마운터. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,상기한 마운트부는 고정축의 하부에 실린더가 설치되고, 이 실린더는 안내가이드에 슬라이딩되도록 설치되며, 상기 고정구는 각각 중심부로 향하는 래크기어가 설치되고, 이 래크기어에 맞물리는 피니언기어가 중심부에 설치되며, 상기 고정구의 일측에는 볼스크류가 설치되고, 이 볼스크류에는 작동편이 결합되어 상기한 고정구에 설치되며 상기 볼스크류를 회전시키는 핸들이외측형성되어있는것을특징으로 하는반도체 장비용 웨이퍼 마운터. [청구항 6] 제 1 항 또는 제 5 항에 있어서,상기한 마운트부의 고정축은 상단부에 걸림홈이 형성되고, 이 걸림홈에 끼워져서 고정되는 걸림편이 상기한 웨이퍼안착패드의 외주연에 회동가능하게설치된것을특징으로 하는반도체 장비용 웨이퍼 마운터. [청구항 7] 제 1 항 또는 제 5 항에 있어서,상기한 마운트부의 안착판에는히터카트리지내장된것을특징으로 하는반도체 장비용 웨이퍼 마운터. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,상기한 마운트부의 테이블에는 흡착패드가 링 형상의 프레임에 대응하는 위치에 복수개 설치되고, 테이블의 측면에는 홈이 형성되며, 이 홈에 결합되는 볼이 스프링에 의해 탄력지게 본체에 돌출 설치되며, 상기한 테이블의 하부에는 실린더에 의해 승하강되는 로드가 설치되고, 이 로드의 상단부에는러버설치된것을특징으로 하는반도체 장비용 웨이퍼 마운터. [청구항 9] 제 1 항에 있어서,상기한 접착부는 본체 양측벽에 가이드레일이 설치되고, 이 가이드레일에 슬라이딩되도록 경사면을 구비한 가이드블럭이 설치되며, 상기한 가이드블럭에는 본드로울러와 손잡이가 결합된 회동블럭이 결합되는 한편, 상기한 본드로울러의 양측에는스프링설치된것을특징으로 하는반도체 장비용 웨이퍼 마운터. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기한 가이드블럭의 경사면에는다수개의마그네틱자석내장된것을특징으로 하는반도체 장비용 웨이퍼 마운터. [청구항 11] 제 1 항 또는 제 9항에 있어서,상기한 본드로울러의 소재는 도전성이 있는고무형성된것을특징으로 하는반도체 장비용 웨이퍼 마운터. [청구항 12] 제 1 항에 있어서,상기한 커팅부는 일측이 회동가능하게 설치된 뚜껑의 중앙부에 원형의 회동판이 회동되도록 설치되고, 상기한 제4 로울러의 선단 바로 앞에 위치되는 일측단에 제1 칼날이 횡으로 작동되도록 설치되며, 상기한 회동판에는 120°등분된 가이드홀이 형성되고, 이 가이드홀에는 두개의가압로울러및하나의제2칼날각각결합된것을특징으로 하는반도체 장비용 웨이퍼 마운터. [청구항 13] 제 1 항 또는 제 12 항에 있어서,상기한 제1 칼날과 제2 칼날은 원형의 칼날이 회전되도록 설치되고, 그 상부에는스프링설치된것을특징으로 하는반도체 장비용 웨이퍼 마운터.