문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 이송수단은, 회전자유롭고, 상기 내부처리장치 및 외부처리장치에 임의로 억세스가능한처리시스템.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 이송수단은, 상기 제 1 재치대와 상기 제 2 재치대에 대하여 경사진 방향으로 억세스가능한처리시스템.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 제 1 재치대 및 상기 제 2 재치대의 각각은, 상하동작하는 승강지지체와, 이 승강지지체에 그 일부가 고정부착된 지지대와, 이 지지대 상에 설치되어 상기 기판의 둘레가장자리부를 지지하는 복수의 둘레가장자리 지지부와, 상기 지지대의 중심부 부근에 설치된 복수의 지지핀으로 구성되며, 상기 기판은 그 중심부 근방이 상기 지지핀에 의하여 지지되고, 그 둘레가장자리부가 상기 둘레가장자리 지지부지지되는처리시스템.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 제 1 재치대는 상단에 위치하고 상기 제 2 재치대는 하단위치하는처리시스템.
[청구항 7]
제 6 항에 있어서,상기 이송수단은, 회전자유롭고, 상기 처리장치에 임의로 억세스가능한처리시스템.
[청구항 8]
제 6 항에 있어서,상기 이송수단은, 상기 제 1 재치대와 상기 제 2 재치대의 각각 2개의 재치테이블에 대하여 경사진 방향으로 억세스가능한처리시스템.
[청구항 9]
제 6 항에 있어서,상기 제 1 재치대 및 상기 제 2 재치대의 각각은, 상하동작하는 승강지지체와, 이 승강지지체에 그 일부가 고정부착된 지지대와, 이 지지대 상에 설치되어 상기 기판의 둘레가장자리부를 지지하는 복수의 둘레가장자리 지지부와, 상기 지지대의 중심부 부근에 설치된 복수의 지지핀으로 구성되며, 상기 기판은 그 중심부 근방이 상기 지지핀에 의하여 지지되고, 그 둘레가장자리부가 상기 둘레가장자리 지지부지지되는처리시스템.
[청구항 10]
제 6 항에 있어서,상기 제 1 재치대는 상단에 위치하고 상기 제 2 재치대는 하단위치하는처리시스템.
[청구항 11]
제 6 항에 있어서,상기 제 1 재치테이블은 상기 외부처리장치로부터 반입되는 기판을 일단 재치하고, 상기 제 2 재치테이블은 상기 외부처리장치로 반출되는 기판일단 재치하는처리시스템.
[청구항 13]
제 12 항에 있어서,상기 인터페이스부는, 상기 기판재치부와는 반대의 끝단부쪽의 부분에는 상기 기판에 대하여 주변노광처리를 행하는 주변노광처리장치가지는처리시스템.
[청구항 14]
제 13 항에 있어서,상기 주변노광처리가 종료하면, 상기 이송수단은, 상기 기판을 상기 주변노광장치로부터 반출하고 상기 기판을 상기 기판재치부의 상기 제 1 재치대재치하는처리시스템.
[청구항 15]
제 12 항에 있어서,상기 이송수단은, 회전자유롭고, 상기 내부처리장치 및 외부노광장치에 임의로 억세스가능한처리시스템.
[청구항 16]
제 12 항에 있어서,상기제 1 재치대와 상기 제 2 재치대에 대하여 경사진 방향으로 억세스가능한처리시스템.
[청구항 17]
제 12 항에 있어서,상기 제 1 재치대 및 상기 제 2 재치대의 각각은, 상하동작하는 승강지지체와, 이 승강지지체에 그 일부가 고정부착된 지지대와, 이 지지대 상에 설치되어 상기 기판의 둘레가장자리부를 지지하는 복수의 둘레가장자리 지지부와, 상기 지지대의 중심부 부근에 설치된 복수의 지지핀으로 구성되며, 상기 기판은 그 중심부 근방이 상기 지지핀에 의하여 지지되고, 그 둘레가장자리부가 상기 둘레가장자리 지지부지지되는처리시스템.
[청구항 18]
제 12 항에 있어서,상기 제 1 재치대는 상단에 위치하고 상기 제 2 재치대는 하단위치하는처리시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
처리시스템의 제 1 재치대 및 제 2 재치대는 어떠한 구성요소들로 이루어져 있으며, 기판은 해당 구성요소들에 의해 어떻게 지지되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제 1 재치대와 제 2 재치대의 구성요소를 파악하고, 기판이 이들에 의해 어떻게 지지되는지 기술하는 것이 과제이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4, 9, 17을 통해 재치대의 구성요소(승강지지체, 지지대, 둘레가장자리 지지부, 지지핀)와 기판의 지지 방식(중심부는 지지핀, 둘레가장자리는 둘레가장자리 지지부)을 추출한다.
- 상기 제 1 재치대 및 상기 제 2 재치대의 각각은, 상하동작하는 승강지지체와, 이 승강지지체에 그 일부가 고정부착된 지지대와, 이 지지대 상에 설치되어 상기 기판의 둘레가장자리부를 지지하는 복수의 둘레가장자리 지지부와, 상기 지지대의 중심부 부근에 설치된 복수의 지지핀으로 구성되며, 상기 기판은 그 중심부 근방이 상기 지지핀에 의하여 지지되고, 그 둘레가장자리부가 상기 둘레가장자리 지지부지지되는
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3근거 선택
evidence_selection재치대의 구성요소와 기판의 지지 메커니즘을 명시한 청구항 구절을 선택한다.
- 상기 제 1 재치대 및 상기 제 2 재치대의 각각은, 상하동작하는 승강지지체와, 이 승강지지체에 그 일부가 고정부착된 지지대와, 이 지지대 상에 설치되어 상기 기판의 둘레가장자리부를 지지하는 복수의 둘레가장자리 지지부와, 상기 지지대의 중심부 부근에 설치된 복수의 지지핀으로 구성되며, 상기 기판은 그 중심부 근방이 상기 지지핀에 의하여 지지되고, 그 둘레가장자리부가 상기 둘레가장자리 지지부지지되는
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4논리 통합
logical_integration재치대는 승강지지체, 지지대, 둘레가장자리 지지부, 지지핀으로 구성되며, 기판은 중심부는 지지핀에 의해, 둘레는 둘레가장자리 지지부에 의해 지지된다는 논리를 결합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 답변하기 위해 구성요소 목록과 지지 방식을 정리하여 결론을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
제 1 재치대 및 제 2 재치대는 각각 상하동작하는 승강지지체, 승강지지체에 일부가 고정부착된 지지대, 지지대 상에 설치되어 기판의 둘레가장자리부를 지지하는 복수의 둘레가장자리 지지부, 그리고 지지대의 중심부 부근에 설치된 복수의 지지핀으로 구성된다. 기판은 그 중심부 근방이 지지핀에 의해 지지되고, 둘레가장자리부는 둘레가장자리 지지부에 의해 지지된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
재치대의 구성요소인 승강지지체, 지지대, 둘레가장자리 지지부 및 지지핀을 통해 기판의 중심부와 둘레를 동시에 안정적으로 지지하는 구조를 나타낸다.