문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,러브부재의 접촉부(33a,54a,73a) 및 비접촉 둘레 가장자리부(33b,54b,73b)는, 3차원으로 만곡된 볼록면 형태형성되어 있는기판세정장치.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,러브부재의 접촉부(33a,54a,73a) 및 비접촉 둘레 가장자리부(33b,54b,73b)는, 반구 또는 이와 유사한 반구면 형태형성되어 있는기판세정장치.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,러브부재의 비접촉 둘레 가장자리부(33b,54b,73b)는, 상기 접촉부(33a,61a,73a)와 일체형성되어 있는기판세정장치.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,러브부재의 비접촉 둘레 가장자리부(54b)는, 복수의분할부재로 이루어진기판세정장치.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,러브부재는 세정액을 침투시키는 스폰지부(33,54,61,73)를 가지며, 이 스폰지부를 통하여 세정액이 기판의 피세정면공급되는기판세정장치.
[청구항 7]
제 6 항에 있어서,상기 스폰지부(71)는, 상기 세정액 공급수단으로부터 세정액이 공급되는 내측 스폰지부재(72)와, 이 내측 스폰지부재의 바깥쪽에 설치되어 기판의 피세정면에 접촉되고, 상기 내측 스폰지부재(72)보다 연질의 외측 스폰지부재구비하는기판세정장치.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,러브부재(54)는, 세정액을 침투시키는 복수의 스폰지부(54a,54b)와, 이들 복수의 스폰지부의 상호간에 설치된 복수의 섬유다발 브러시부구비하는기판세정장치.
[청구항 9]
제 1 항에 있어서,러브부재(29)는, 스크러브부재를 유지하는 홀더(34)와, 이 홀더에 연결되어 스크러브부재를 축주위로 자전시키는 회전축더욱 구비하는기판세정장치.
[청구항 10]
제 9 항에 있어서,상기 스핀척(21)에서 떨어진 곳에 위치하여, 비사용시의 상기 세정브러시부(29,50,71)가 대기하고 있는 동안에, 스크러브부재로부터 오물을 제거하는 청정화수단더욱 가지는기판세정장치.
[청구항 11]
제 10 항에 있어서,상기 청정화수단(24,24a)은, 세정액이 공급되는 세정탱크(39)와, 자전하는 스크러브부재가 눌려 접촉하여 스크러브부재로부터 오물을 제거하는 크리너부재구비하는기판세정장치.
[청구항 12]
제 11 항에 있어서,상기 크리너부재는, 세정탱크 내에 경사져서 설치된 경사판인기판세정장치.
[청구항 13]
제 11 항에 있어서,상기 크리너부재는, 세정탱크 내에서 스크러브부재가 끼워 넣어진 오목부(48a)를 가지는 오목 블럭인기판세정장치.
[청구항 14]
제 11 항에 있어서,상기 청정화수단은, 세정탱크 내의 세정액에 초음파를 인가하는 초음파 발진자더욱 가지는기판세정장치.
[청구항 15]
제 1 항에 있어서,세정액 공급기구는, 세정액의 공급압력을 가변 조정하는 압력조정밸브더욱 가지는기판세정장치.
[청구항 16]
제 1 항에 있어서,기판의 피세정면의 종류에 따라 기판에 대한 스크러브부재의 누름력이 조정되도록 상기 가압조정기구(80)를 제어하는 제어수단더욱 가지는기판세정장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판세정장치의 스폰지부(71)가 내측 스폰지부재(72)와 외측 스폰지부재로 구성될 경우, 각 부재의 설치 위치와 경도(연질성) 관계는 어떠한가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation스폰지부(71)가 내측 스폰지부재(72)와 외측 스폰지부재로 구성될 때, 각 부재의 설치 위치와 경도 관계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 7에서 스폰지부(71)의 구성 요소인 내측 스폰지부재(72)와 외측 스폰지부재에 대한 설명을 추출한다.
- 상기 스폰지부(71)는, 상기 세정액 공급수단으로부터 세정액이 공급되는 내측 스폰지부재(72)와, 이 내측 스폰지부재의 바깥쪽에 설치되어 기판의 피세정면에 접촉되고, 상기 내측 스폰지부재(72)보다 연질의 외측 스폰지부재구비
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3근거 선택
evidence_selection내측 스폰지부재의 위치(세정액 공급측)와 외측 스폰지부재의 위치(내측의 바깥쪽, 피세정면 접촉측) 및 경도(외측이 더 연질)를 나타내는 구절을 선택한다.
- 내측 스폰지부재(72)와, 이 내측 스폰지부재의 바깥쪽에 설치되어 기판의 피세정면에 접촉되고, 상기 내측 스폰지부재(72)보다 연질의 외측 스폰지부재
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4논리 통합
logical_integration내측 스폰지부재는 세정액이 공급되는 안쪽에 위치하며, 외측 스폰지부재는 내측의 바깥쪽이자 기판과 접촉하는 위치에 있으며, 외측 스폰지부재가 내측보다 더 연질(연질성)임을 논리적으로 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation내측 스폰지부재는 세정액 공급측에 위치하고, 외측 스폰지부재는 내측의 바깥쪽(기판 접촉면)에 위치하며, 외측 스폰지부재가 내측 스폰지부재보다 더 연질이다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 위치와 경도 관계를 명확히 정리하여 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
내측 스폰지부재(72)는 세정액이 공급되는 위치에 설치되고, 외측 스폰지부재는 내측 스폰지부재의 바깥쪽에 설치되어 기판의 피세정면에 접촉하며, 외측 스폰지부재가 내측 스폰지부재보다 더 연질이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
기판 세정을 위해 세정액 공급측의 내측 스폰지부재와 기판 접촉측의 연질인 외측 스폰지부재를 이중 구조로 구성하여 세정 효율을 높이는 기술이다.