백래시 방지용 너트조립체 및 이를 적용한 반도체소자 운반용엘리베이터장치 document_id 1019970061205

[청구항1] 내부에 스크류가 관통되어 기어물림되도록 암나사가 형성된 상부너트 내부에 스크류가 관통되어 기어물림되도록 암나사가 형성된 하부너트 상기 상부너트와 하부너트의 사이에 설치되고, 상기 상부너트와 하부너트에 양방향으로 복원력을 가하는 탄성수단; 및 상기 상부너트, 상기 하부너트, 상기 탄성수단을 내장하는 하우징 을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 백래시 방지용 너트조립체 [청구항2] 제 1 항에 있어서,상기 탄성수단은,특정형상의 상하굴곡부가 형성된판스프링인것을특징으로 하는상기 백래시 방지용 너트조립체. [청구항3] 제 1 항에 있어서,상기 탄성수단nan은코일스프링인것을특징으로 하는상기 백래시 방지용 너트조립체. [청구항4] 제 1 항에 있어서,상기 탄성수단은,일측이 각각 상기 상부너트 및 상기 하부너트에 고정된토션바스프링인것을특징으로 하는상기 백래시 방지용 너트조립체. [청구항5] 제 1 항에 있어서,상기 탄성수단은,중심에 관통홀이 형성된스프링와셔인것을특징으로 하는상기 백래시 방지용 너트조립체. [청구항6] 제 1 항에 있어서,상기 탄성수단은,꺽쇠형상의접철스프링인것을특징으로 하는상기 백래시 방지용 너트조립체. [청구항7] 제 1 항에 있어서,상기 탄성수단은,원통형으로 둥글게 말린스프링핀인것을특징으로 하는상기 반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치 [청구항8] 제 1 항에 있어서,상기 탄성수단은,공기압이용하는것을특징으로 하는상기 백래시 방지용 너트조립체. [청구항9] 제 1 항에 있어서,상기 탄성수단은,유압이용하는것을특징으로 하는상기 백래시 방지용 너트조립체. [청구항10] 제 1 항에 있어서,상기 탄성수단은,탄성재질로 제작된원형링형탄성체인것을특징으로 하는상기 백래시 방지용 너트조립체. [청구항11] 제 10 항에 있어서,상기 탄성재질은,고무계열인것을특징으로 하는상기 백래시 방지용 너트조립체. [청구항12] 제 10 항에 있어서,상기 탄성재질은,합성수지류인것을특징으로 하는상기 백래시 방지용 너트조립체. [청구항13] 제 12 항에 있어서,상기 탄성재질은,테프론계열인것을특징으로 하는상기 백래시 방지용 너트조립체. [청구항14] 제 1 항에 있어서,상기 상부너트와 상기 하부너트를 연결하여 회전이 일치되도록 회전고정시키는고정수단더포함하여이루어지는것을특징으로 하는상기 백래시 방지용 너트조립체 [청구항15] 제 14 항에 있어서,상기 고정수단은,상기 상부너트와 상기 하부너트의 양측면에 장방형으로 형성된 키홈에 삽입되어 상기 상부너트와 상기 하부너트를 연결하는키포함하여이루어지는것을특징으로 하는상기 백래시 방지용 너트조립체 [청구항16] 회전동력을 발생하는 동력발생부 상기 동력발생부에서 발생한 회전동력을 전달하는 동력전달부 상기 동력전달부로부터 회전력을 전달받아 회전하는 스크류 내부에 상기 스크류가 관통되어 기어물림되도록 암나사가 형성된 상부너트와, 내부에 상기 스크류가 관통되어 기어물림되도록 암나사가 형성된 하부너트와, 상기 상부너트와 하부너트의 사이에 설치되고, 상기 상부너트와 하부너트에 양방향으로 복원력을 가하는 탄성수단 및 상기 상부너트, 상기 하부너트, 상기 탄성수단을 내장하는 하우징을 구비하여 이루어지는 백래시 방지용 너트조립체; 및 상기 하우징에 연결되어 승하강하는 엘리베이터부 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체소자 운반용 엘리베이터장치 [청구항17] 제 16 항에 있어서,상기 동력발생부는,모터포함하여이루어지는것을특징으로 하는상기 반도체소자 운반용 엘리베이터장치. [청구항18] 제 16 항에 있어서,상기 동력전달부는,다수개의 기어를 맞물림시킨기어조합포함하여이루어지는것을특징으로 하는상기 반도체소자 운반용 엘리베이터장치. [청구항19] 제 18 항에 있어서,상기 기어는,평기어인 것특징으로 하는상기 반도체소자 운반용 엘리베이터장치. [청구항20] 제 16 항에 있어서,상기 엘리베이터의 승하강거리를 감지하는 센싱수단; 및상기 센싱수단으로부터 승하강신호를 인가받아 동력발생부에 제어신호를 인가하여 상기 동력발생부에서 발생되는 회전동력을 조절하는제어부더포함하여이루어지는것을특징으로 하는상기 반도체소자 운반용 엘리베이터장치. [청구항21] 제 20 항에 있어서,상기 센싱수단은;상기 스크류의 회전수을 감지하는광센서포함하여이루어지는것을특징으로 하는상기 반도체소자 운반용 엘리베이터장치. [청구항22] 제 16 항에 있어서,상기 제어부는,상기 엘리베이터부에 안착된 웨이퍼가 카셋트에서 1매씩 로딩 및 언로딩될 수 있도록 상기 센싱수단으로부터 승하강신호를 인가받아 상기 카셋트의 피치에 따라 순차적으로 상기 동력발생부에 제어신호를 인가하여구동시키는것을특징으로 하는상기 반도체소자 운반용 엘리베이터장치.