반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치 document_id 1019970061934

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 수평조절수단은,상기 엘리베이터의 상측에 고정되는 수평조절판; 및상기 베이스의 밑면과 상기 수평조절판 상면 사이에 설치되고, 상기 보트와 수평상태로 정렬되도록 상기 베이스의 밑면과 상기 수평조절판 상면에 상하 신축가능하도록 설치되어 상기 베이스의 경사를 조절하는 다수개의 수평조절구동부; 및상기 수평조절구동부를 동작시키도록 구동력을 발생하는구동력발생부포함하여이루어지는것을특징으로 하는상기 반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 수평조절구동부는,상기 베이스에 연결되고, 내부에 수직방향의 암나사홀이 형성된 암나사부;상기 수평조절판과 상기 암나사부를 관통하여 나사결합되고, 정,역회전하며 회전 승하강운동을 하는 수나사부; 및상기 구동력발생부로부터 동력전달부를 통하여 전달받은 회전력을 적정회전수와 적정회전력으로 변환하여 상기 수나사부에 전달하는변속장치포함하여이루어지는것을특징으로 하는상기 반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 변속장치는,1개 이상의 변속기어조합포함하여이루어지는것을특징으로 하는상기 반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치. [청구항 5] 제 3 항에 있어서,상기 변속장치는,1개이상의밸트및풀리조합포함하여이루어지는것을특징으로 하는상기 반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치. [청구항 6] 제 3 항에 있어서,상기 변속장치는,1개 이상의 체인 및 스프로킷휠조합포함하여이루어지는것을특징으로 하는상기 반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치. [청구항 7] 제 3 항에 있어서,상기 변속장치는,1개이상의와이어및도르래조합포함하여이루어지는것을특징으로 하는상기 반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치. [청구항 8] 제 3 항에 있어서,상기 구동력발생부는,상기 제어부로부터 직류전원을 공급받아 회전구동력을 발생시키는직류모터포함하여이루어지는것을특징으로 하는상기 반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치. [청구항 9] 제 3 항에 있어서,상기 구동력발생부는,상기 제어부로부터 교류전원을 공급받아 회전구동력을 발생시키는교류모터포함하여이루어지는것을특징으로 하는상기 반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치. [청구항 10] 제 3 항에 있어서,상기 구동력발생부는,상기 제어부로부터 전원을 공급받아 회전구동력을 발생시키고, 내부에 기어조합을 내장하여 적정회전수와 적정회전력을 발생하는기어드모터인것을특징으로 하는상기 반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치. [청구항 11] 제 3 항에 있어서,상기 구동력발생부는,상기 제어부로부터 전원을 공급받아 정밀구동하는스텝모터인것을특징으로 하는상기 반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치. [청구항 12] 제 8 항 내지 제 10 항 중에 어느 한 항에 있어서,상기 제어부는,상기 센싱수단으로부터 상기 보트의 수평정보를 수신받아 수신된 정보를 미리 입력된 수평데이타와 비교하여 발생한 오차를 보정하도록 전원의 전압량 또는 전류량을 변환하고, 상기 직류 또는 교류 모터에 상기 전원을 인가하여제어하는것을특징으로 하는상기 반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치. [청구항 13] 제 11 항에 있어서,상기 제어부는,상기 센싱수단으로부터 상기 보트의 수평정보를 수신받아 수신된 정보를 미리 입력된 수평데이타와 비교하여 발생한 오차를 보정하도록 상기 전원을 양, 음의 펄스파로 변환하고, 상기 스텝모터에 상기 펄스파를 인가하여제어하는것을특징으로 하는상기 반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치. [청구항 14] 제 3 항에 있어서,상기 동력전달부는, 회전동력을 전달하는 회전축특징으로 하는상기 반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치. [청구항 15] 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 수평조절구동부는,상기 베이스 밑면의 x축선상 일측 단부에 설치되어 상기 베이스의 상하방향 경사를 조절하는 x축수평조절구동부; 및상기 베이스 밑면의 y축선상 일측 단부에 설치되어 상기 베이스의 상하방향 경사를 조절하는 y축수평조절구동부포함하여이루어지는것을특징으로 하는상기 반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치. [청구항 16] 제 2 항에 있어서,상기 수평조절구동부는,상기 구동력발생부로부터 유압을 공급받아 일방향 또는 양방향으로 신장 및 수축이 가능한유압실린더포함하여이루어진것을특징으로 하는상기 반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치. [청구항 17] 제 2 항에 있어서,상기 수평조절구동부는,상기 구동력발생부로부터 공압을 공급받아 일방향 또는 양방향으로 신장 및 수축이 가능한공압실린더포함하여이루어진것을특징으로 하는상기 반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치. [청구항 18] 제 2 항에 있어서,상기 수평조절구동부는,상기 구동력발생부로부터 공압 또는 유압을 공급받아 일방향 또는 양방향으로 신장 및 수축이 가능한튜브포함하여이루어진것을특징으로 하는상기 반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치. [청구항 19] 제 16 항 내지 제 18 항 중에 어느 한 항에 있어서,상기 구동력발생부는,공압 또는 유압을 형성하는유체펌프인것을특징으로 하는상기 반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치. [청구항 20] 제 16 항 내지 제 18 항 중에 어느 한 항에 있어서,상기 동력전달부는,상기 제어부의 제어를 받아 상기 공압 또는 유압을 상기 수평조절구동부에 전달하는유체송관인것을특징으로 하는상기 반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치. [청구항 21] 제 20 항에 있어서,상기 제어부는 내부 통로의 개폐에 따라서 상기 통로와 연결된 상기 유체이송관을 선택적으로 개폐함으로써 상기 구동력발생부의 구동력을 상기 수평조절구동부의 실린더에선택적전달하는것을특징으로 하는상기 반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치. [청구항 22] 제 1 항에 있어서,상기 센싱수단은,상기 베이스에 설치된수평계포함하여이루어지는것을특징으로 하는상기 반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치. [청구항 23] 제 1 항에 있어서,상기 센싱수단은,2쌍의 발광 및 수광센서를 상기 발광센서에서 조사되는 조사광이 서로 직각으로 교차하도록 수평하게 설치하고, 상기 발광센서에서 조사되는 조사광이 수평정렬이 요구되는 상기 보트에 근접되어 수평으로 조사되도록 하여 상기 보트 안착면의 수평오차를 감지하는광센서포함하여이루어지는것을특징으로 하는상기 반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치. [청구항 24] 제 1 항에 있어서,상기 센싱수단은,상기 베이스의 하면에 다수개가 설치되어 상기 웨이퍼의 적재시 각각의 하중압력을 감지하는압력센서포함하여이루어지는것을특징으로 하는상기 반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치. [청구항 25] 제 1 항에 있어서,상기 센싱수단은,상기 베이스에 수직으로 고정설치되고, 내장된 중력추 주위에 사방으로 접촉센서 또는 압력센서를 설치하여 중력방향을 감지함으로써 상기 보트의 수평오차를 감지하는수평감지센서포함하여이루어지는것을특징으로 하는상기 반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치. [청구항 26] 제 1 항에 있어서,상기 제어부에 연결되어 상기 센싱수단으로부터 수신된 상기 보트의 수평정보를 나타내는표시부더포함하여이루어지는것을특징으로 하는상기 반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치. [청구항 27] 제 1 항에 있어서,상기 제어부에 연결되고, 수평정렬작업 명령을 입력받아 명령코드로 변환하여 이를 상기 제어부에 전달하는입력부더포함하여이루어지는것을특징으로 하는상기 반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치. [청구항 28] 제 1 항에 있어서,상기 제어부는,상기 제어부에 내장된 프로그램에 의해 주기적으로 반복하여 상기 센싱수단으로부터 상기 보트의 수평정보를 인가받아 상기 수평조절수단에제어신호인가하는것을특징으로 하는상기 반도체 보트 이송용 자동 수평조절 엘리베이터장치.